| 型号： | URE-2000/30D 型（定制）紫外光刻机 |
| 产地： | 四川 |
| 品牌： | 中科光电 |
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URE-2000/30D 型（定制）紫外光刻机
产品技术规格
2．外形尺寸：约 1400mm（长）900mm(宽) 1800mm（高）
3．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设 备构成
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