型号: | 108C |
产地: | 英国 |
品牌: | Cressington |
评分: |
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108C 镀碳仪
品牌: TED PELLA 108C是用于扫描电镜能谱分析的最先进的镀碳仪之一。
主要特性
独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
108C 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽 真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该 蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源 可以通过脉冲或连续的方式操作。
可选择手动或自动方式操作。
自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方 式操作,并通过旋钮控制输出电压。
可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于 0.1nm。在 15nm 至 25nm 的碳膜厚度范围 内,重现性可优于 5%。
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