全自动化学机械抛光机

全自动化学机械抛光机

参考价：面议
型号： spp
产地： 日本
品牌： OKOMATO
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上海瞻驰科技有限公司
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SPP-600S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便。


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