| 型号： | GNX-200 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | OKOMATO |
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1.适用晶圆 晶圆尺寸： 4，6，8”
晶圆厚度： 100~1400μm（支持减薄到100um薄片工艺）
2.研磨方法 向下进给式研磨，测量厚度控制
3.操作方法 全自动、半自动、手动
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