通过低加速电压观察/分析新世界
扫描电子显微镜从发明至今已有70多年的历史。从W-SEM到现在的FE-SEM，在现代的应用越来越追求样品极表面信息的观察和分析。当透射电子显微镜最低加速电压已低至扫描电子显微镜加速电压范围之内的同时，FE-SEM做为性能最高的扫描电子显微镜的代表也在不断追求低加速电压下更高的性能。 本讲即为一次配合许多实例讨论利用低加速电压SEM的原因，优势和实现低加速电压下高空间分辨率观察和分析的技术与手段。 主要内容有： 1.为什么需要低加速电压SEM 2．实现低加速电压观察原理和技术 3．低加速电压下的分析
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2019-03-12
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