反射线谱仪

5月30日，浙江省计量院“锗γ射线谱仪校准装置”顺利通过现场考核，后续将开展相关设备的量值溯源工作。锗γ谱仪是常用的辐射环境监测仪器，广泛应用在放射性环境检测、核应急和核事故处理中，其计量性能直接影响监测结果的准确可靠，关乎核电安全、生态环境安全和公众健康，所以迫切需要建立相应的标准装置来对锗γ射线谱仪进行量值传递和质量控制。该标准的建立，不仅可以满足辐射环境监测设备的量值溯源工作，同时可以为保护核电安全和生态环境安全提供有力的技术支撑。

x射线多层膜在静态和超快x射线衍射中的应用x射线光学组件类型根据x射线和物质作用的不同原理和机制，目前主流的x射线光学组件可以大致分为四类：以滤片、窗片、针孔光阑为代表的吸收型组件；基于反射，全反射原理的各种镜片以及毛细管、波导等反射型器件，还有基于折射原理的各种复折射镜。而本文的主题多层膜镜片，其底层原理和晶体、光栅、波带片一样，都是基于衍射原理。吸收型反射型折射型衍射型滤片窗口针孔/光阑镜片：kb、wolter、超环面镜… … 毛细管：玻璃毛细管、金属镀层毛细管复折射镜：抛物面crl、菲涅尔crl、马赛克crl、… … 晶体光栅多层膜波带片多层膜的原理和工艺一般来说，反射型镜片存在“掠射角小、反射率低”的问题。而多层膜镜片则是通过构建多个反射界面和周期，并使反射界面等周期重复排列，相邻界面上的反射线有相同的相位差，就会发生干涉，如果相位差刚好为2pi的整数倍，则会干涉相长，得到强反射线。从布拉格公式可以看出：多层膜就是通过对d值的控制，来实现波长选择的人工晶体。而在工艺实现方面，目前制备x射线多层膜镜的主要工艺有：磁控溅射、电子束蒸镀、离子束蒸镀。一般使用较多的是磁控溅射或离子束镀膜工艺，即在基板上交替沉积金属和非金属层，通过选择材料，控制镀膜的厚度及周期的选定，实现对硬x射线到真空紫外波段的光的调制。上图为来自德国incoatec的四靶材磁控溅射镀膜系统。可实现多种膜系组合的高精度镀膜。[la/b4c]40 多层膜b-kα（183ev）用多层膜，d：10nm单层膜厚：1-10nm0.x nm的镀膜精度tem: 完美的镀层界面frank hertlein, a.e.m. 2008上图为40层la-b4c多层膜的剖面透射电镜图像和选区电子衍射，弥散的衍射环说明膜层是非晶结构。同时可以明显看到：周期为10nm的膜层界面非常清晰和规则。这套镀膜系统可获得0.x nm的镀膜精度。多层膜的特点示例—单色和塑形多层膜最显著的特点和优势在于可以通过基底的面型控制和镀层的膜厚控制，将x光的塑形和单色统一起来。当然，这是以精度极高的镀膜工艺为前提。下图的数据展示了进行梯度渐变镀膜时，从镜片一端到另一端镀膜的周期设计数值 vs. 实际工艺水平。可以看到：长度为150mm的基底上，单层镀膜膜厚需要控制在3.8-5.7nm，公差需要在1%以内。相当于在1500公里的长度上，厚度起伏要控制mm水平。这是非常惊人的原子层级的工艺水平。frank hertlein, a.e.m. 2008通过面型控制来实线x射线的塑形；通过极高精度的膜厚控制实现2d值渐变—继而实现单色；0.x nm尺度的镀膜误差——需要具备原子层级的工艺水平！多层膜的特点示例—带宽和反射率除了可以通过曲面基底和梯度镀膜实现对x光的塑形和单色，还可通过对膜层材料、膜厚、镀膜层数等参数的设计和控制，来实现带宽和反射率的灵活调整。如窄带宽的高分辨多层膜，以及宽带宽的高积分反射率多层膜。要实现高分辨：首先要选择对比度较低的镀膜材料，如be、c、b4c、或al2o3；其次减小膜的厚度，多层膜的厚度降为10~20å；最后增加镀膜层数，几百甚至上千。from c. morawe, esrf多层膜的特点示例—和现有器件的高度兼容左侧: [ru/c]100, d = 4 nm r 80% for 10 e 22 kev中间: si111 δorientation0.01°右侧: [w/si]100, d = 3 nm r 80% for 22 e 45 kevdcmm at sls, switzerland, m. stampanoni精密、灵活的膜层设计和镀膜控制镀膜材料的组合搭配；d/2d值的设计和控制；带宽和反射率的灵活调整。和现有器件的高度兼容多层膜主流应用方向目前，多层膜的主流应用方向和场景主要有：粉末、x射线荧光、单晶衍射以及同步辐射的单色、衍射、散射装置搭建。粉末衍射x射线荧光单晶衍射同步辐射基于dac的原位高压静态x射线衍射典型的静高压研究中，常利用金刚石对顶砧来获得一些极端条件。在极端的高压、高温下，利用x射线来诊断新的物相及其演化过程是重要的研究手段。x-ray probe利用金刚石对顶砧可以获得极端条件(数百gpa, 几千°c) 利用x射线探针来诊断和发现新物相；由于对x光源、探测器以及实验技术等方面的苛刻要求，尤其是需要将微束的x光，精准的穿过样品而不打到封垫上。长期以来，基于dac的x射线高压衍射实验只能在同步辐射实现。但同步辐射有限的机时根本无法满足庞大的用户需求。不能在实验室进行基于dac的x射线高压衍射实验和样品筛选，一直是广大高压科研群高压衍射实验室体的一大痛点。以多层膜镀膜工艺为技术核心，将多层膜镜片与微焦点x光源耦合，我们可以为科研用户提供单能微焦斑x射线源，使得在实验室实现高压衍射成为可能。下图是利用mo靶（左）和ag靶（右）单能微焦斑x射线源获得的dac加载下的lab6样品的衍射图。曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mm。可以看到：300s曝光获得的衍射数据质量是可接受的。特别地，对于银靶，由于其能量更高，可以压缩倒易空间，在固定的2thelta角范围内，可以获得更多的衍射信息，这对于很多基于dac的静高压应用来说非常有吸引力。dac加载下的lab6样品的衍射数据：多层膜耦合mo靶（左）和ag靶（右）曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mmbernd hasse, proc. of spie vol. 7448, 2009 (doi: 10.1117/12.824855)基于激光驱动超快x射线衍射在利用激光驱动的x射线脉冲进行超快时间分辨研究中，泵浦探针是常用的技术手段。脉宽为几十飞秒的入射激光经分束后，一路用于激发超快x射线脉冲，也就是探针光；另一路经倍频晶体倍频作为泵浦光。通过延时台的调节，控制泵浦激光和x射线探针到达样品的时间间隔，可实现亚皮秒量级时间分辨的测量。而在基于激光驱动的超快x射线衍射实验中，如何提升样品端的光通量？如何获得低发散角的单色光束？如何抑制飞秒脉冲的时间展宽？如何同时兼顾以上的实验要求？都是需要考虑的问题。很多时候还需要兼顾多个技术指标，所以我们非常有必要对各类光学组件和x射线飞秒脉冲源的耦合效果和特点有一个比较清晰的认知。四种光学组件和激光驱动x射线源的耦合效果对比首先我们先对弯晶、多层膜镜、多毛细管和单毛细管四种组件的聚焦效果有个直观的了解。以下是将四种光学组件和激光驱动飞秒x射线源耦合，然后进行了对比。四种光学组件在聚焦和离焦位置的光斑：激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs源尺寸：10um 打靶产额：4*109 photons/s/sr这是四种组件的理论放大倍率和实测聚焦光斑的对比。可以看到：弯晶和多层膜的工艺控制精度很高，实测光斑和理论值比较接近。而毛细管的大光斑并不是工艺精度的误差，而是反射型器件的色差导致的，不同能量的光都会对聚焦光斑有贡献，导致光斑较大。而各种组件的工艺误差，导致的强度不均匀分布，则是在离焦位置处的光斑中得到较为明显的体现。ge(444)双曲弯晶多层膜镜片单毛细管多毛细管放大倍率1270.7收集立体角 (sr)+---++反射率--+++-有效立体角 (sr)---+++1维会聚角 (deg)+---++耦合输出通量(ph/s)---+++聚焦尺寸 (μm)2332155105光谱纯度好好差差时间展宽 (fs)++++--激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs打靶产额：4*109 photons/s/sr等级: ++ + - --利用针孔+sdd，在单光子条件下，测量有无光学组件时的强度和能谱，可以推演出相应的技术参数。这里我们直接给出了核心参数的总结对比。其中，大多数用户最为关注，同时也是对于实验最为重要的，主要是有效立体角、输出光通量、光谱纯度和时间展宽。可以看到：典型的有效收集立体角在-4、-5sr的水平，而在样品上的输出光通量在5-6次方每秒这样的水平。但是需要指出的是：毛细管并不具备单色的能力，虽然有效立体角大，但输出的是复色光。对于时间展宽的比较，很难通过实验手段获得测量精度在几十到百飞秒水平的结果，所以主要通过理论分析和计算来获得。对于同为衍射型组件的ge(444)双曲弯晶和多层膜镜片，光程差引入项主要是x光在组件内的贯穿深度。对于ge(444)，8kev对应的布拉格角约为70度，x光的衰减长度约为28um，对应的时间展宽约90fs。对于多层膜镜片，因为它属于掠入射型的衍射组件，x光的衰减长度在um量级，对应的时间展宽甚至可以到10fs水平，因此这里的数据相对比较保守的。而对于毛细管这种反射型器件，光程差引入项主要是毛细管的长度差。对于单毛细管，光程差在10fs水平，对于多毛细管，位于中心区域和边缘的子毛细管长度是有较大的差异的，光程差可达ps水平。小结1. 弯晶：单色性好、时间展宽较小、有效立体角小、输出通量低；2. 多层膜：单色性好、时间展宽较小、有效立体角大、kα输出通量高；3. 单毛细管：复色、时间展宽很小、有效立体角大、复色光通量高；4. 多毛细管：复色、时间展宽较大、有效立体角最大、复色光通量最高。每一种光学组件都有其适用的场景，对于非单色的超快应用，如超快荧光、吸收谱，毛细管可能更为合适，而对于追求单色的超快应用，如超快衍射，多层膜是比较好的选择，兼顾了单色性、时间展宽和有效立体角（输出通量）三个核心指标！如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。北京众星联恒科技有限公司致力于为广大科研用户提供专业的x射线产品及解决方案服务！

Fred Schamber，定量能量色散X射线光谱分析领域的早期先驱之一，并在其一生中为该领域做出了重大贡献，于2024年2月25日去世。Fred在费米实验室获得健康物理学博士学位后，进入了X射线显微分析领域。1972年，他加入Jon McCarthy在Tracor Northern的团队，带来了他在低辐射计数方面的经验。在Tracor Northern，他们帮助开发了一些早期的经典能量色散X射线显微分析产品，包括TN产品线和Flextran仪器控制计算机语言。Flextran成为许多第三方工具的基础，如桑迪亚实验室（Sandia Lab）的SANDIA TASK8，它提供了早期的扫描电镜自动化功能，以及道尔和钱伯斯的ZAF80，它提供了矩阵校正算法。人们很容易忘记20世纪70年代初的计算机是多么原始。Fred描述了他们是如何使用缝纫针和磁珠手工制造磁芯存储器的，以构建4K位的RAM块。他描述了他们如何将阴极射线屏幕侧放，因为人们认为这种形状因子更适合显示光谱。TN产品线是首批使用彩色显示器的产品之一。磁芯存储器尽管如此，在拥有不到20K RAM且循环时间低于1MHz的计算机上，他们还是能够收集、处理和量化X射线光谱。在这样一个大小和速度的计算机上，代码需要同时考虑时间和字节效率。他对于如何从特征信号中分离连续信号的难题的回答，至今仍是从EDS光谱中提取k比的最快、最准确的方法。他使用所谓的“顶帽”滤波器来去除高频和低频信号，从而能够从未知和标准信号中提取特征信号，并对它们进行线性拟合。当他第一次在早期EPASA会议上展示他的算法时，有观众质疑他声称能够从EDS光谱中提取定量数据的能力。当然，Fred是正确的，一两年后，他就说服了他的批评者。后来，在Tracor-Northern，他领导了一个秘密研发小组，开发了一种比竞争对手领先多年的仪器——ADEM（自动化数字电子显微镜）。Fred后来承认，ADEM可能有点过度设计。它有一个巨大的腔室和一个坚固的五轴电动平台。在模拟电子是主流的时代，它是一个完全基于数字和软件的仪器。每个子系统都由自己的微控制器控制，这在当时是一种昂贵且罕见的配置。在波长光谱仪还需要手动定位的时代，ADEM提供了在软件控制下的电子控制定位器。由于计算机控制和Fred在TN产品线自动化方面的经验，ADEM在计算机自动化电子显微镜方面表现出色。它经常被用于分析环境颗粒物样本，如粉煤灰。TN-5500，新一代Tracor Northern EDS分析仪在Tracor Northern工作了18年后，Fred于1990年与Rich J. Lee联手成立了RJ Lee集团的仪器部门。在这里，Fred领导了个人扫描电子显微镜（Personal SEM）的开发。其愿景是将个人电脑革命带来的创新、尺寸和成本降低应用于扫描电子显微镜领域。个人扫描电子显微镜是一款简单、经济、性能适中的扫描电子显微镜。从第一天起，个人扫描电子显微镜就被设计为计算机自动化操作。由于扫描控制器和计算机之间的紧密集成，可以实现快速、高效的粒子搜索和测量算法。RJ Lee集团的科学家担任设计顾问和测试版测试员。多年来，个人扫描电子显微镜及其后续产品成为自动化粒子分析的首选仪器，包括法医学中的枪击残留物分析。个人扫描电子显微镜能够到达其他扫描电子显微镜难以到达的地方，比如铁水铸造厂和飞机库。ASPEX开发了一种特殊的“箱中扫描电子显微镜”，用于波斯湾军事飞机库中，在超过90华氏度的高温下表征喷气发动机磨损碎片。RJ集团仪器部门后来成为RJ Lee Instruments，并最终成为ASPEX。ASPEX随后被FEI收购，而FEI又被赛默飞世尔科技公司（Thermo Fisher）收购。原本在匹兹堡郊外德尔蒙特市的生产活动被移至捷克共和国。ASPEX Extreme，用于现场部署的SEM由于Fred在多个领域的杰出贡献，他被授予显微分析学会（Microanalysis Society）的院士称号。所有认识他的人都会怀念他！