三轴平台

Sandwich系列重负载隔振平台产品概述欧库睿因主动隔振台：为各型科学仪器实现主动隔振！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。 ■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz 时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。 VarioBasic 40搭配成像椭偏仪 i4 Large搭配3D轮廓仪欧库睿因Sandwich系列 重负载隔振平台重负载主动隔振平台，最大负载1200kg,可放置于光学平台或大型设备下方，具有良好的负载以及主动隔振性能。Sandwich 800-4.0Sandwich 1000-4.0Sandwich 1000-6.0Sandwich 1000-8.0尺寸：800x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm载重：0-600kg0-600kg0-900kg0-1200kg

MacroBlock三轴挠性平台 Related Products 特性挠性设计确保了连续平稳的移动紧凑型设计：桌面到移动载物台的高度：62.5毫米桌面到配件光轴的距离：75毫米无滑动配件避免摩擦挠性设计避免了油脂的使用，并且增强了长期稳定性MicroBlock&trade 三轴移动平台提供的连续平稳移动使得该装置几乎适用于所有的微定位应用。新颖的挠性设计可以产生三个互相垂直的线性移动自由度，从而避免了传统轴承传递平台的静摩擦和摩擦造成的严重的限制。润滑剂是定位装置偏移的主要来源之一，套嵌式挠性平台允许该平台在不需要任何润滑剂的情况下无限制的使用。延伸到平台顶部安装面的中间的键槽允许系统在保证准直的前提下快速重装。Thorlabs还为该MicroBlock系统提供了很多配件。MBT616平台具有紧凑的差动调节器，在300微米的微调范围内提供了50纳米的精度（理论值）。 MBT602平台是经济型的三轴挠性平台，包括一个节距为0.5毫米的翼形螺钉调节器。带固定差分调节器的3轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计：157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x6.31英寸x2.46英寸），包含驱动器在内增强的长期稳定性所有调节器都固定在底板上，消除串扰包含压电电缆和反馈电缆NanoMax平行挠性平台当MAX300系列平行挠性平台应用于亚微米精度的对准应用时，其优势是显而易见的。使用传统的多轴层叠式平台时，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。相反，把NanalMax系列平台的每个驱动器都直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。 Common SpecificationsTravel4.0 mmLoad Capacity (Max)2.2 lbs (1 kg)Coarse Adjustment Range0.5 mm/revFine Adjustment50 µ m/rev (300 µ m Range)Piezo Specifications (MAX314 and MAX315 Only)Piezo Voltage Range0 - 75 VPiezo Range20 µ mPiezo Resolution (Theoretical)20 nm (5 nm with Strain Gauge)Piezo Bidirectional Repeatability200 nm Open Loop,5 nm Closed LoopPiezo Absolute On-Axis Accuracy1.0 µ m精密差分驱动器差分驱动器提供4毫米的粗调行程和300微米的细调行程，其分辨率为每转50微米。在精密行程调整器上的刻度为要求绝对定位的应用提供了一个清晰的参考点。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直镜，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，可将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。3轴NanoMax平台，带差分驱动和闭环压电驱动器Zoom 闭环压电驱动器 20微米压电驱动行程 5纳米细调分辨率MAX341采用直接嵌入在平台主体内部的闭环压电驱动器，能提供20微米的行程和5纳米的定位分辨率（闭环控制）。它有三个应变计位置传感器，将提供与压电元件的位置成线性关系的反馈电压信号。该信号可以用来补偿迟滞、蠕变和压电元件本身存在的热漂移。如果用闭环控制器（比如BPC203，MPZ601，或者TPZ001和TSG001结合）驱动，压电驱动器就能以闭环模式控制，可以把定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，迟滞、蠕变和压电器相关的漂移能通过闭环控制来监测和补偿。此外，当平台与NanoTrak控制器（BNT001 ，MNA601，或者TNA001）耦合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，它既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外部压力引起的耦合效率的降低。3轴NanoMax平台，差分驱动，压电驱动器Zoom 开环压电驱动器 20微米压电驱动行程 20纳米细调分辨率MAX315采用开环压电驱动器（该驱动器直接集成在平台主体内），提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。兼容的控制器有MDT693A，BPC203，MPZ601，和TPZ001。此外，当平台与NanoTrack控制器（BNT001，MNA601，或TNA001）结合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外在压力引起的耦合效率的降低。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带步进电机的三轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计增强的长期稳定性所有调节器都连接到一个共同的底面和侧面内附压电和反馈电缆NanoMax平行挠性平台拥有专利的MAX300系列平行挠性设计的优势是显而易见的，特别是在要求亚微米或更高分辨率的对准应用中。通常，在多轴层叠式平台中，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。把每个NanalMax系列平台驱动器直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。Item #MAX300 SeriesTravel4.0 mmStepper Motor TypeDRV001Backlash7 µ mMax Acceleration4 mm/sec2Max Velocity2.5 mm/secMin Achievable Incremental Movement60 nmBidirectional Repeatability500 nmAbsolute On-Axis Accuracy1.0 µ mHome Location Accuracy± 1.5 µ m步进电机驱动器与MAX341和343平台一起出售的DRV001控制器具有60纳米的步长和高达4毫米/秒的速度，同时还提供500纳米的双向重复性。带陶瓷头高精度限位开关为电机复位提供了高重复性。这对依赖于高重复的零点定位的自动对准应用非常重要。闭环内置压电驱动器MAX341和MAX342采用直接嵌入在平台主体内部的压电驱动器，提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。MAX341还有三个应变计位移传感器，提供与压电元件的位移成正比的电压信号。这个信号用于补偿迟滞，蠕变，和所有压电元件固有的热漂移。如果用闭环控制器（如BPC203，MPZ601，或TPZ001和TSG001 组合）驱动，压电驱动器能用反馈模式控制，将定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，还能通过闭环控制监测和补偿迟滞，蠕变和压电陶瓷相关的热漂移。把附加的压电扩展器和DRV001步进电机驱动器组成一个系列的模块设计，能增加压电陶瓷的移动量。此外，当平台与BNT001，MNA601或者TNA001NanoTrak控制器结合使用时，这个系统将成为一个强大的自动准直器，既能保证光通量，又能消除温度漂移或其它外在压力引起的耦合效率降低。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直包，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，用于将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。带移动平台的压电控制器 Related Products 该MDT630A是一个预配置的、压电型运动控制系统，配有驱动电子设备，用户界面软件，3轴挠性平台，精密手动调节器和连接到系统需要的所有缆线。该压电控制器是我们的流行MDT693A三通道压电驱动器，它具有以下特性： 高输出电压（3至150伏）高电流驱动能力（60 毫安）高精度，低噪声输出单个通道控制或主扫描控制图形用户界面软件 请注意，MDT693A可通过开关选择输入电压为115或230 V，并附带一根美制电源线。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板 Related Products 特性高负载能力：9.7磅（4.4千克）所有磨损面都采用硬化钢构造带凹槽的顶板确保配件的对准提供多种配件左手系或右手系的版本可供选择可升级到压电辅助的测微头Item #RB13DTravel X-Y-Z1/23 (13 mm)BearingsCross RollerMax Load9.7 lbs (4.4 kgs)Coarse Adjustment Range13 mm TravelCoarse Adjustment Pitch0.5 mmFine Adjustment Range300 µ m TravelFine Adjustment Pitch0.05 µ mX-Y-Z整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，使得该三轴移动平台能在13毫米的行程范围内满足许多定位应用的要求。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。差分测微头用于RB13D的TDRV304差分测微头利用独特的机制，将外部旋钮相对较大的位移转换成中心细调主轴相对较小的位移。这种设计另外的好处就是具有一致的平滑感，且不受负载的影响。提供有两个大的旋钮，一个用于粗调，另一个用于差分调节，因此增加该单元的整体灵敏度。粗调旋钮提供13毫米的总位移、1微米的分辨率，而微分旋钮提供300微米的总位移、50纳米的分辨率。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类应用中。定制配置对于需要精确控制的应用，可用压电辅助差分测微头(DRV517)取代手动驱动器。除了上文所述的标准测微头调节器，这种驱动可提供30微米的行程，分辨率为10纳米。我们也提供左手系配置，或者不带驱动器的版本，用户可以自己安装第三方的驱动器。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板Zoom结合了钢质和铝质构造的RollerBlock&trade 移动平台是一系列光电子应用的理想选择。交叉滚珠轴承设计提供了9.7磅（4.4千克）的垂直负载，同时仍能保持由高精度驱动器提供的亚微米级的分辨率。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 Related Products 特征高负载能力所有磨损面都采用硬化钢构造提供多种配件左手系或者右手系可供选择可升级成压电驱动的测微头Item #RB13MTravel1/2&Prime (13 mm)BearingsCross RollerMax. Load9.7 lbs (4.4 kgs)Standard Micrometer13 mm travel (10 µ m Graduations)带有手动测微头的RollerBlock&trade XYZ移动平台结合钢和铝构造的RollerBlock&trade 移动平台广泛适用于光电系统，交叉的滚动轴承设计使得其垂直负载能力达9.7磅（4.4千克），高精度的驱动器使精度达到亚微米级。小心地放置RollerBlock&trade 中的交叉滚动轴承，保证轴承表面不受污染。与使用表面外露轴承的底座相比，这大大提高了产品的使用寿命。 xyz整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，在整个13毫米的行程范围内，能够实现较好的定位特性。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类型的应用中。定制Thorlabs提供左手系构造的平台，或者不带驱动器的版本。光纤发射系统：基本解决方案 Related Products Zoom 特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612发射系统具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom 特性带有快速释放压块的顶部装载光纤旋转器360° 旋转，精度为2° 4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT621发射系统具有我们的高分辨率驱动器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。旋转式光纤架可提供平稳的转动，其摆动可以忽略。当使用保偏光纤时，该系统提供一种简单的方法优化通过PM光纤耦合的信号的消光比。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。光纤发射系统：专业解决方案 Related Products 特性挠性设计确保平滑，无摩擦地连续移动紧凑型设计：包括驱动器157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x 6.31英寸 x 2.46英寸）增强的长期稳定性调节器皆固定在底座，消除了串扰NanoMax平行挠性平台3轴NanoMax挠性平台是光纤耦合应用的理想选择。该完整的光纤输入系统可满足很多最普遍的实验室应用的需求。下文详细介绍了每种输入系统。有关这些套件所包含的平台的更多具体细节请查看NanoMax三轴挠性平台的介绍。 配件易对准 顶部平台的中心键槽可快速重新配置系统而保持配件对准。提供各种各样的附件，可安装显微镜物镜、准直设备、波导、光纤以及其他设备。此外，多重转接板可将NanoMax系列平台安装到各种其他的Thorlabs旋转和长行程线性平台上。MAX300挠性平台的这些特点使其成为要求高稳定性和重复性的对准应用的可靠平台。用于裸光纤的单模光纤发射系统Zoom特性适合裸光纤，透镜光纤，带涂覆层光纤独特的，可变的，六角形安装架，适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的夹钳臂平移调节范围是4毫米包括300 微米精调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 Included with the MAX350DMAX313D3轴挠性平台，带固定差动驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线裸单模光纤的MAX351光纤输入系统具有高分辨微分调节器，适合将自由空间激光优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径只有3 µ m的可见光。可快速释放的光纤固定器有6个安装面，每个面可接合一个不同尺寸的光纤。增加光缆应变消除有助于防止系统意外损伤，该特点可节省大量时间。该预先安装好的系统是一个理想的输入装置，可快速适合许多应用。X，Y和Z轴之间耦合，使调节过程中的稳定性最大当对准应用要求亚微米的分辨率，或者更好分辨率时，我们具有专利的MAX300系列平行挠性移动设计的优点就非常明显。对于多轴堆叠式平台，触动2个驱动中不是参考&ldquo 地面&rdquo 的任一个都将导致装置的不必要的移动。NanoMax&trade 系列平台的任一个驱动直径参照平台底座，即可消除该负面影响。固定的微分驱动提供4毫米粗调和300微米的细调（每次转动的分辨率为50纳米）。粗移和精移轨道上刻有标度，是要求绝对位移应用的清晰的参考点。 FC连接跳线到Grin透镜的单模光纤发射系统Zoom特性用于FC连接的单模光纤跳线适合直径为1毫米至3毫米的Grin透镜3轴平移的调节范围为4毫米包括300微米细调，分辨率为50纳米 MAX355D附带组件MAX313D3轴挠性平台，带差分驱动AMA009固定角度支架HGI003GRIN透镜固定架HFB004FC连接光纤固定架HFS001应力释放缆线该系统由我们的MAX313D三轴挠性平台配合FC适配器和Grin透镜架组成。对于光纤输入系统，使用嵌套式挠性板替代传统的线性轴承具有很多优点。首先，挠性机制可得到近乎完美的平滑连续移动。其次，该平台结构不需要润滑油。传统轴承的较小瑕疵，或者润滑油里的污染物都能产生局部粗糙的斑点，导致斑点处的移动分辨率显著降低。无需润滑剂也可最大程度减小平台蠕动。带快速释放光纤旋转器的保偏光纤发射系统Zoom特性4毫米行程高分辨率差分调节器高精密光纤旋转器，360° 的离心率为10微米（中心偏移量）适合任意带RMS螺纹的物镜 MAX361D附带组件MAX3133轴挠性平台，带有差分驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFR007快速释放光纤旋转器MAX361D光纤发射系统是为保偏裸光纤设计的，由最高性能的挠性平台和3个高分辨率双平台测微头构成。这样的组合能真正达到亚微米定位控制所要求的高分辨率和高稳定性。该系统的HFR007光纤旋转器刻有分度为5° 的刻度。此外，快速释放光纤压块可快速便捷地顶部装载光纤。HFR007增加了优化PM光纤消光比所需的旋转自由度。使用我们最新一代的3轴移动平台，新的MAX361保偏光纤输入系统相对线性轴承的设计，以及其他不太先进的3轴挠性平台具有大量改进。该底座式移动台使用我们具有专利的高稳定挠性设计，具有独特的特点，即3个调节器都坚固地连接到平台主结构的固定部件上。同类产品或者由3个层叠式的独立平台构成，或至少设计成三个驱动器中的两个随平台的可移动部件平移的单个集成系统。当驱动器被操作者的手接触时，这种3个驱动器中有2个&ldquo 浮动&rdquo 的设计会引起有害的移动（以串扰的形式）。这种机械系统噪声使其不能达到真正的纳米定位。自动对准单模裸纤发射系统Zoom特性裸纤，带透镜光纤或套管光纤的理想选择独特可变六角形安装架适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的压臂4毫米平移调节范围包括300 微米细调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 MAX373D包含的组件MAX311D带差动驱动的3轴挠性平台，和带反馈的内部压电驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线MAX373D光纤发射系统具有高分辨率差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。可快速释放的光纤安装架有六个安装面，每个面可安放一根不同尺寸的光纤。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤输入系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。采用内部闭环压电驱动器进行自动对准MAX373D利用3个应变位移传感器产生电压信号，该电压与压电元件的位移成线性关系。利用该电压信号，可弥补压电元件固有的磁滞，蠕变或热漂移效应。此外，位移传感器与我们的NanoTrak&trade 自动对准系统一起使用，可精确地优化光学系统的耦合效率。一旦对准，在随后的操作过程中，位移传感器可用来稳定系统的位置。参考上面的NanoTrak标签可知NanoTrak应用背后的理论。光纤对准套件我们供应平台和NanoTrak控制器，及其所有缆线。MAX373DK1和MAX373D1/M都是完全自动对准套件，并带有用于红外波长的铟镓砷（InGaAs）探测器。 硅探测器是单独用于可见光波长。对于不需要自动对准的应用，平台的压电驱动器可由我们的BPC20X系列台式压电控制器控制。

三轴倾斜平台 OMXC114C 产品特点：材质：6061-T6 铝合金 产品介绍：OMTOOLS 三轴倾斜平台 OMXC114C可提供倾斜和旋转调整，以对准光学组件。它具有运动学特性，带有硬化和抛光的钢球枢轴以及作用于硬化钢制底座上的弹簧预加载的球头调节装置。它提供了完整的三轴角定位自由度并且使用测微头实现了倾斜调整和旋转调整，使得组件可以定向到与任意平面平行。当与XYZ三维位移台一起使用时，它可以提供六个自由度，从而实现完全的定位功能。 型号倾斜角度范围俯仰角度范围旋转角度范围灵敏度负载OMXC114C±4°±4°±4°2”67N