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氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体,借助质谱仪对氦气的高度敏感性来检测真空系统或部件的泄漏。工作时,氦气被喷射在待测物体的外表面,如果有泄漏,氦气会通过泄漏点进入真空腔内,质谱仪通过离子化、质量分析等过程快速识别出特定质量数为4的氦离子,并转换为电信号输出,从而精确定位和定量分析泄漏率。这种检测方法因其高效、准确而在工业检测中广泛应用。
ZXL-840型氦质谱检漏仪一、 产品介绍ZXL-840型,分体设计。主机部分和机械泵部分可以方便的拆装。方便维护和更换抽气泵。 二、主要配置 1. 德国普发进口检漏仪专用分子泵2. 中韩合资品牌百仪优成机械泵3. 配置标准漏口4. 美国AD放大器5. 采用质谱专用模块 三、主要技术指标1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s3. 启动时间:≤5min4. 响应时间:≤1.0s5. 检漏口的最高压力:1000Pa6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A7. 工作环境:5-35℃8. 相对湿度:≤80%9. 外形尺寸:550(w)×420(D)×900(H)10. 重量:62kg[color=r