何泽慧

堀场HORIBA IG-340光泽仪 新款光泽仪IG-340可用于现场，大屏幕易于读取数据。IG-340使用常见的60°测量角度，从低光泽度的物体表面到高度抛光的纹理都可进行精确测量。适用测量不同材料的光泽度：石材，木材，皮革，橡胶，玻璃，金属，塑料，并应用于从地板维护，汽车抛光到石材和建筑材料外观检查的各种领域。防护等级IP42 *可以进行室外光泽度测量，并可以在有滴水的地方使用。 特点■轻便，易操作■大屏幕显示■环境等级■内部存储器，存储测量值和平均值■简单的数据输出堀场HORIBA IG-340光泽仪技术参数测量范围0.0 - 100.0显示范围0.0 - 199.9数值超过100.0时会显示[OVER]重复性* 1±0.6 (±0.5% of full scale ±1 digit)* 2测量区域6 × 12 mm 椭圆范围测量几何参数60°光源LED (880 nm)操作温度0 - 40℃相对湿度35 to 85%RH (无凝结)环境等级IP42电源2节AA电池尺寸61 × 62 × 176 mm重量不超过320 g (含电池和保护盖)功能• 自动关机 (10 分钟)• 内存：100个读数，200个平均数据，含日期和时间• 通过USB将数据输出到电脑（批量输出内存数据，WIN10操作系统）*3配件*4• 带有综合校准片的保护盖• 软质包装盒• 镜片清洁布*1：相同测试条件下短时间内连续重复测量，数据会发生变化。*2：全量程100.0*3：请使用数据线*4：不包含电池和数据线

WD4000晶圆几何形貌量测系统是通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。可兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。WD4000晶圆几何形貌量测系统自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000晶圆几何形貌量测系统可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 无图晶圆厚度、翘曲度的测量细磨片25次测量数据Sa曲线图部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

新型CM-25cG是汽车行业内用于测量汽车内饰的标准机型CM-2500c的换代产品。CM-25cG是一款更小巧轻便的便携式分光测色计，采用了45°c:0°几何光学结构并配备高性能60°光泽传感器。此款仪器所使用的45°c:0°几何光学结构以能够提供与视觉感知极度相关的色值而闻名。这一点可以通过完全排除纹理表面的镜面光效果来实现。内置光泽传感器可精确地测量表面光泽度。在秉承了上一代机型的高性能同时，CM-25cG可匹配或超越很多行业（包括汽车内饰材料和高能见度纺织品（EN471）或涂料行业）的色彩和光泽度测量标准。CM-25cG与其上一代CM-2500c机型完全兼容，其完善的环形照明光学系统（定义为45°c：0°）无论测量方向如何，均可达到较高的精度和重复性，尤其是在纹理或结构化表面。CM-25cG不仅可测量色彩，同时还可测量60°光泽度，并且，CM-25cG不仅可测量标准MAV尺寸（7mm），还可测量3mm直径小面积测量区域。CM-25cG非常轻便，配备了易于阅读的彩色显示屏，使用户既可通过数字也可通过图形来阅读和管理测量数据。为了获得更准确的样品定位，CM-25cG成为了在45°:0°几何光学结构上配备了真正的观察窗的仪器。