中科院科研装备研制

热丝CVD金刚石设备鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。可用于太阳能薄膜电池的研发与生产。 工件尺寸圆形平面工作的尺寸：最大φ600mm。矩形工作尺寸的宽度1000mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1500mm）。配置水冷样品台。可单面镀膜也可双面镀膜。热丝电源功率可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）设备安全性-电力系统的检测与保护-设置真空检测与报警保护功能-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护-设置水压检测与报警保护装置-设置水流检测报警装置设备构成真空室构成双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。热丝热丝材料：钽丝、或钨丝热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰问题）。样品台可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。工作气路（CVD）工作气路根据用户工艺要求配置：下面气体配置是某一用户的配置案例。H2(5000sccm，浓度100%)CH4(200sccm，浓度100%)B2H6（50sccm，H2浓度99%）Ar(1000sccm，浓度100%)真空获得及测量系统控制系统及软件关于鹏城半导体鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体），由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿与市场前沿的交叉点，寻求创新引领与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。公司核心业务是微纳技术与高端精密制造，具体应用领域包括半导体材料、半导体工艺和半导体装备的研发设计和生产制造。公司人才团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队；还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有20多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体装备的研发、生产、调试以及半导体材料与器件的中试、生产、销售的能力。公司已投放市场的部分半导体设备|物理气相沉积（PVD）系列磁控溅射镀膜机、电子束镀膜机、热蒸发镀膜机，离子束溅射镀膜机、磁控与离子束复合镀膜机|化学气相沉积（CVD）系列MOCVD、PECVD、LPCVD、热丝CVD、ICPECVD、等离子刻蚀机、等离子清洗机|超高真空系列分子束外延系统（MBE）、激光分子束外延系统（LMBE）|OLED中试设备（G1、G2.5）|其它金刚石薄膜制备设备、硬质涂层设备、磁性薄膜设备、电极制备设备、合金退火炉|太阳能薄膜电池设备（PECVD+磁控溅射）团簇式太阳能薄膜电池中试线团队部分业绩分布完全自主设计制造的分子束外延（MBE）设备，包括自主设计制造的MBE超高真空外延生长室、工艺控制系统与软件、高温束源炉、高温样品台、Rheed原位实时在线监控仪（反射高能电子衍射仪）、直线型电子枪、膜厚仪（可计量外延生长的分子层数）、射频源等关键部件。真空度达到2×10-8Pa。设备于2005年在浙江大学光学仪器国家重点实验室投入使用，至今仍在正常使用。设计制造磁控溅射与等离子体增强化学气相沉积法PECVD技术联合系统，应用于团簇式太阳能薄膜电池中试线。使用单位中科院电工所。设计制造了金刚石薄膜制备设备，应用于金刚石薄膜材料的研究与中试生产设备。现使用单位中科院金属研究所。设计制造了全自动磁控溅射设备，可加水平磁场和垂直磁场，自行设计的真空机械手传递基片。应用于高密度磁记录材料与器件的研究和中试。现使用单位国家光电实验室。设计制造了OLED有机半导体发光材料及器件的研究和中试成套装备。现使用单位香港城市大学先进材料实验室。设计制造了MOCVD及合金退火炉，用于GaN和ZnO的外延生长，实现LED无机半导体发光材料与器件的研究和中试。现使用单位南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心。设计制造了磁控溅射研究型设备。现使用单位浙江大学半导体所。设计制造了电子束蒸发仪研究型设备。现使用单位武汉理工大学。团队在第三代半导体装备及工艺方面的技术积累2001年 与南昌大学合作设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延GaN和ZnO。2005年 与浙江大学光学仪器国家重点实验室合作设计制造了第一台完全自主知识产权的分子束外延设备，用于外延光电半导体材料。2006年 与中国科技大学合作设计超高温CVD 和MBE。用于4H晶型SiC外延生长。2007年 与兰州大学物理学院合作设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术）。2015年 中科院金属研究所沈阳材料科学国家（联合）实验室合作设计制造了金刚石薄膜制备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜。2017年-优化Rheed设计，开始生产型MBE设计。-开始研制PVD方法外延GaN的工艺和装备，目前正在进行设备工艺验证。2019年 设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备。2021年 MBE生产型设计。2022年 大尺寸金刚石晶圆片制备（≥Φ6英寸）。2023年 PVD方法外延氮化镓装备与工艺攻关。

上海锦玟仪器设备有限公司专注于研发生产的步入式植物生长箱是具有光照、控温，控CO2，加湿功能的高精度冷热恒温设备，为用户提供一个理想的人工气候实验环境。它可用作植物的发芽、育苗、组织、微生物的培养；昆虫及小动物的饲养；水体分析的BOD的测定以及其它用途的人工气候试验。是生物遗传工程、医学、农业、林业、环境科学、畜牧、水产等生产和科研部门理想的试验设备。产品功能： 该产品适用于植物的生长和组织培养，种子发芽、育苗、微生物的培养试验；昆虫小动物的饲养；水质监测的BOD测定；药材、木材、建材的老化及使用寿命测试等，以及其他用途的光照，恒温、恒湿的专用试验设备。结构特色：具有光照、控温，控CO2,加湿功能的高精度冷热恒温设备。采用先进的微电脑可编程技术控温，可设置多种参数(包括温度、湿度、光照度,CO2)模拟自然气候。多种模式控制可调，操作简便。产品特点：1. 无霜式：彻底避免了国内产品无化霜功能所产生的温湿度漂移及进口产品在化霜过程中产生的温湿度大幅度波动给用户带来的不便。2.带热气旁通的制冷技术，循环风机转速三级可调，符合欧美产品的特点。可连续长时间运行，温湿度不漂移 。 3. 置于门内部及箱体顶部和隔板式灯架的照明装置符合欧美产品的特点，光照度可调，温度及光照可模拟全天候自然规律设定。4. 配有7寸触摸屏，采用微电脑模糊PID控制技术的智能型可编程控制器，具有30段程序设置可循环。可设定预约时间、温湿度和光照级别, 具有可视报警提示标志和声音报警功能。箱内采用超声波加湿方式。5.采用进口电容式湿度传感器，德国原装ABB Pt100铂电阻温度传感器 ，德国进口EBM冷凝风机，泰康进口品牌压缩机，箱底选用聚氨酯材质的万向脚轮可以自由转向和锁定。6. 外箱门拉手采用德美风格90℃旋转四点式锁定，具有强制封闭功能。在关闭箱门的过程中箱内无任何振动，不会将箱内的微小测试品震倒。内部配置304﹟不锈钢内胆 7.在箱子的一侧配有40mm带软硅胶塞的测试孔，以方便用户监测。8.钣金加工采用德国进口数控机床和激光加工技术与模具化相结合。外箱采用粉末喷塑技术，箱底采用矩形方钢一体焊 接结构，保证箱体整体强度达到国际同类产品标准。9. 安全保护装置制冷系统： 配有压缩机过热、压缩机过流、压缩机超压、冷凝风机过热保护装置试验箱： 配有可调式超温、试验空间温度熔断丝、空气调节通极限超温、风机电机过热10.保护装置其它： 配有总电源相序和缺相保护、漏电保护、过载及短路保护装置10.备注：所有控制元器件均采用欧姆龙或者德力西。产品实拍：

MINDWARE生理心理行为数据同步平台MINDWARE生理心理行为数据同步平台Mindware 生理多导仪由美国Mindware 科技有限公司研制开发，是采集ECG、EMG、EOG、皮温、皮电，脉搏，呼吸、各种力和角度、阻抗心动图（ICG）和脉动性血流变化等信号的理想设备，也具有同步、异步及键盘事件采集大量数字事件能力，为实验室的数据采集提供一个强大灵活，简单易用与可升级性的系统。Mindware 的BiologicalNexus（BioNex）系统由高质量的数据采集器，准确的放大器，简单易用的BioLab 软件，可同步的音频/视频录制（A/V 采集）及事件和刺激I/O 组成，为实验室提供完整的解决方案。BioNex 系统的主机有两种型号：Bionex 2-Slot 和Bionex 8-Slot。Mindware 共有6 个信号采集模块和2 个音频/视频模块，各模块可以任意组合，满足各种生理研究需求。BioLab 是BioNex 产品线的软件接口，可以快速建立和运行，并提供数据的线性滤波、缩放、信号处理、实时趋势和信号分析，其与Mindware 先进的信号处理系统兼容。MindWare 新一代便携式生理多导仪可提供8 个通道的生理信号采集，包括三轴加速度，实现对自动平衡，心脏功能，呼吸和活动等的高效监测。由于该设备通过内置存储卡可以实时存储采集到的生理信号，记录长时间的数据而不必频繁地将数据导出到台式机，摆脱了有线连接的束缚,便携性更强。因此不仅可以用于实验室研究，还可以用于自然环境中行走下的研究，应用领域更广泛，并提高您研究的外部效度。BioLab 是Mindware 全新的数据采集、分析和实验室集成平台，其可快速高效地从Mindware 的硬件设备（包括台式和便携式设备）获取各种生理信号（EDA，EOG，EMG 等）创建基于生理数据的音/视频记录（mpg 格式），并与第三方设备（如眼动仪）及视频和音频信号实现数据同步。这种实验室一体化方案通过灵活的触发方式，三个独立事件记录模式和D/A 控制轻松集成实验室的相关设备。在线数据筛选、比例缩放选择和实时趋势图显示让实时分析轻松快捷。BioLab 灵活性高，可接受现有实验室设备提供的标准NTSC 视频信号或数字视频、音频信号。该软件与MindWare 强大的信号处理软件无缝兼容，让数据采集和分析变得更加便捷，为科学研究节省大量时间。 深圳华研科技研发有限公司，员工团队始于2009年便开始致力于人因工程、工效学、行为科学、心理学、体育科学等领域的科研实验室产品研发销售并提供整体实验室建设解决方案。我们与世界上许多技术型的科研仪器公司建立了长期合作贸易关系，同时设立了产品研发事业部，专注于研发行为（动作捕捉、行为分析、眼动分析等）数据的管理采集分析系统。旨在为高等院校、科研机构提供优质、专业的实验室产品服务。 十年砥砺前行，我们已经积累了包括中科院心理所、北京体育大学、清华大学、哈尔滨工业大学、西安科技大学、西南大学等百余所高等院校、科研院所。每年我们都会协助相关领域、学科的领导和进口设备厂家人员在中国进行学术交流和产品培训等活动。 我们服务内容包含了：交通安全与驾驶行为模拟实验室、安全人机研究实验室、认知评估实验室、人因工程、功效学实验室、可用性测试实验室、运动心理科学实验室、广告评估和消费行为科学实验室、用户体验与交互行为研究实验室、环境模拟心理评估实验室等。