测量显微镜

红外显微镜配件专门为微电子研发和制造而设计的显微镜，它是一款科研级显微热成像仪，在微米尺度给出电子器件和芯片的温度分布，能够非接触式地测量电子器件的温度分布，查找热点hotspots。红外显微镜配件对于分析和诊断半导体器件热表现非常有用，可用于探测热点和缺陷 电子元件和电路板故障诊断 测量结温 甄别芯片键合缺陷 测量热阻封装 确立热设计规则等领域，可以有效地检测微尺度半导体电路的热问题和MEMS器件的热问题。就MEMS的研发而言：空间温度分布和热响应时间这两个参数对于微反应器,微型热交换器,微驱动器,微传感器之类的MEMS器件非常重要。到目前为止，还有非接触式的办法测量MEMS器件的温度，红外成像显微镜能够给出20微米空间分辨率的热分布图像，是迄今为止测量MEMS器件热分布的有力工具。红外显微镜配件光学载物台：坚固而耐用，具有隔离振动的功能；聚焦位移台：用于相机的精密聚焦和定位；X-Y位移台：用于快速而精密地把测量区域定位到相机的视场中； 热控制台： 具有加热和制冷功能，用于精密器件的温度控制；红外显微镜配件应用*半导体IC裸芯片热检测 *探测集成电路的热点（hotspots）和短路故障*探测并找到元件和电路板上缺陷 *测量半导体结点温度（结温）*辨别固晶/焊线/点胶缺陷*测量封装热阻 *确立热设计规则 *激光二极管性能和失效分析*MEMS热成像分析*光纤光学热成像检测*半导体气体传感器的热分析*测量微交换器的热传输效率 *微反应器的热成像测量*微激励器的温度测量*生物标本温度分析 *材料的热性能检测*红外显微镜热流体分析 热分析软件红外显微镜配件分析软件。 这种软件能够帮助您非常容易而快速地获得温度信息，同时，它可以产生实时的（real time）带状图、拍摄并回放图像序列以及在图像上选择任何大小形状的区域，从而为您提供不同视角和建设性的数据分析手段。

电动显微镜载物台配件集成了测量系统，实现显微镜和样品的精确定位，提供75x50mm的行程范围，最小步进高达0.05微米，定位进度高达1微米，是全球领先的自动显微镜载物台品牌。电动显微镜载物台配件特点集成高精度测量系统实现全球最高定位精度和测量精度具有定位测量功能德国圆角的平面人体工程学设计显微镜载物台插入配件可更换设计，具有多种stage inserts 选配，满足显微镜应用电机/编码器电缆前右部连接，符合操作人员习惯集成电子位移台识别系统，自动识别扫描台及其控制器配备高精度特定型号控制，可享受全球5年超长质保电动显微镜载物台配件参数行程范围：100x100mm行进速度：最大240mm/s重复定位精度：精度：+/-1um分辨率：0.05um (最小步进）正交性：驱动电机：2两相步进电机位移台开口：160x116mm材质：高级铝表面处理：氧化涂层，黑漆自重：~2.6kg电动显微镜载物台配件适合显微镜品牌和型号Leica DM1000Leica DM2000Leica DM2500Leica DM2500 MLeica DM3000Nikon Eclipse E400Nikon SMZ1000Nikon SMZ1500Nikon SMZ800Olympus BX40Olympus BX41Olympus BX41MOlympus BX50Olympus BX51Olympus BX51MOlympus SZX10Olympus SZX12Olympus SZX16Olympus SZX7Olympus SZX9电动显微镜载物台配件系列集成融入了测量系统，专业为显微镜自动样品定位和精密样品定位应用设计，专业为全球主流显微镜品牌配套，独具的测量系统功能是全球领先的超精密定位测量系统，极大提高测量精度，采用全球领先的德国长期润滑系统，确保长期使用而不需维护.

瑞士Lyncee Tec SA www.lynceetec.com 瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜&ldquo DHM（Digital Holographic Microscopy）是划时代性的高科技技术产品，科学史上第一次, 数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。 DHM 1000 Family将波长630nm的半导体激光分成照射到试料的光和参照光两部分来使用。共包括两大品种，一种是试料反射光与参照光进行干涉的&ldquo 技术参数： 测量原理： 反射式数字全相术干涉显微镜 （R1000系列） 或 穿透式数字全相术干涉显微镜（T1000 系列） 取像型式： 强化与量化的相位对比影像 光源： 单波长雷射光源 样品台： 手动3 轴, x, y, z 各可位移25毫米 选配：较大位移的样品台 选配：软件自动控制的2轴或3轴样品台 照相机： 1392 x 1040 像素, 8 bits 可选物镜： 1.25x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 63x, 100x 选配：长工作距离物镜, 油浸渍物镜 物镜安装： 单物镜安装, 双物镜的滑动块或四物镜的转盘安置 计算机： 应为DHM配置含最新的Pentium? 处理器和视窗XP 专业版个人电脑为佳, 显示则需19寸, 1280 x 1024 像素的显示屏 软件： Lyncee Tec专利的&ldquo 袋熊"经典软件, 是利用C++ 和 .NET技术,专为在视窗XP?的3维表面成型, 曲面测量, 步进高度与粗度测量写成的. 选配工作模式： 垂直扫描与频闪观测模式 性能 垂直的分辨率（＊） 瞬间：0.2° （在空气中0.2奈米） 空间：0.6° （在空气中0.6奈米） 垂直数字聚焦范围 视区50倍深度（取决于物镜） 垂直测量范围： 对平滑样品, 取决於测量区域的深度 340 奈米 （用选配的垂直扫描模式, 范围可以测得更高） 横向的分辨率 （＊＊）: 取决于物镜： 用油浸渍的物镜（1.4 NA）, 最低可测到300奈米， 可视区域： 取决于物镜可达到4.40毫米 横向取样： 1024 x 1024 像素 （全像照相） 撷取影像速率 实时影像：15 fps （512 x 512 像素）, 4 fps （1024 x 1024像素） 离线重建：15 fps （1024 x 1024） （10000 fps速率为选配） 样品照明： 低至 1?W/cm2 最大样品尺寸： H x W：200毫米 x 123毫米 （R1000系列） 50毫米 x 150毫米 （T1000 系列） 工作距离： 取决于物镜：从 0.30毫米 至 20毫米 取样反射率 （R1000系列）： 低至小於1% 撷取时间： 单一影像撷取, 低至小於 1微秒 （无扫描机械装置, 无相位移） 主要特点： 实时监测影像 获取与重建速率（标准15 fps, 大于15 fps为选配） 非常快速, 使得影像可以实时监看. 观看动态事件的过程和活细胞的相互作用现象由此变为可能. 坚固 & 稳定 非常短的取像时间 （数微秒） 使得此设备在测量时, 几乎不受外在的振动影响, 用防震台面也变得不需要. DHM? 的坚固与稳定性, 允许非常微弱, 缓慢的变形或移动, 需稳定性非常好或时间超常的测量. 高分辨率 沿着垂直 （Z） 轴的分辨率,小于1奈米. 横向的分辨率 （在XY平面） 取决于物镜的数值孔徑 （用油浸渍的物镜可测得300奈米）, 像传统的光学显微镜. 非接触式 & 完全非侵入式测量 低功率可见光的样品照明 （至少低于共焦式显微镜10"000倍）, 与试片表面不接触, DHM? 可以保存你样品完整的特性. 此外, 生物试片可以直接观看不需染色, 因此可以防止化学性或物理性的危害. 值得有效的解决方案 DHM? 的安装费与操作费用都非常低廉. 适应性与弹性使它们在高分辨率显微镜领域非常有竞争性. 这些特性使DHM?在研发和制程品管上, 成为非常值得, 有效的工具. 友善的操作 无须样品准备, 无须特别的环境 （温度, 真空, ...）, 样品不需高精准度的位置与方向摆放, DHM? 简化技术, 让使用者可以非常容易并快速的获得准确的测量. 功能强大三维空间处理软件 可以用相同的仪器, 不同的操作模式去延伸你的应用范围. DHM-提供了无与伦比特有的数字工具, 改善了仪器使用的容易性与耐用性, 也增加了测量的准确性与稳定性. 标准和先进的量测接口, 使外在控制可在欢乐和弹性的环境中达成. 瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜&ldquo DHM（Digital Holographic Microscopy）是划时代性的高科技技术产品，科学史上第一次, 数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。DHM 1000 Family将波长630nm的半导体激光分成照射到试料的光和参照光两部分来使用。共包括两大品种，一种是试料反射光与参照光进行干涉的&ldquo R1000 series&rdquo ，另一种是试料透过光与参照光进行干涉的&ldquo T1000 series&rdquo 。照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件&ldquo Koala Software&rdquo 。 应用： 其主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm× 4mm，可以15视野/秒的速度进行测量。因此，1cm见方的试料几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。 此次的产品最大可将观察速度扩展至1万视野/秒。由于摄影速度快，因此不需除震台，可用来检测流水线上的产品。 u 材料科学 u MEMS/MOEMS 微型词典系统 u Micro-optics 显微光学 u Semiconductor 半导体 u Nanotechnology纳米技术 u 生命科学 u Cellular biology 细胞生物 u Biochips生物芯片 u Bio-sensors生物传感器