专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。最近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升级。 特点 高分辨率扫描透射电子显微镜成像 HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜头(*)) HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头) 明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm(w/o球差校正仪) 高速,高灵敏度能谱分析:探针电流× 10倍 元素面分布更迅速及时 低浓度元素检测 操作简化 自动图像对中功能 从样品制备到观察分析实现无缝连接 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容 配有各种选购件可执行各种评估和分析操作 同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布(*) 和DF/EELS面分布(*)图像。 低剂量功能(*)(有效降低样品的损伤和污染) 高精度放大校准和测量(*) 实时衍射单元(*)(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案) 采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)(*),具有自动倾斜图像获取功能。 ELV-3000即时元素面分布系统(*)(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)(*) 选购件技术指标 HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜项目描述图像分辨率w/o球差校正仪保证 0.204nm(当放大倍数为4,000,000时)w球差校正仪保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)保证 0.136nm(HAADF图像) 保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头(*))放大倍数100倍 至 10,000,000倍加速电压200 kV, 120 kV (*)成像信号明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像) 暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像) 二次电子图像(SE图像) 电子衍射(*) 特征X射线分析和面分布(能谱分析)(*) 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)(*)电子光学系统电子源肖特基发射电子源冷场致发射器(*)照明透镜系统2-段聚光镜镜头球差校正仪(*)六极镜头设计扫描线圈2-段式电磁感应线圈原子序数衬度收集角控制投影镜设计电磁图像位移± 1 &mu m试片镜台样品移动X/Y轴 = ± 1 mm, Z轴 = ± 0.4 mm样品倾斜单轴-倾斜样品杆:± 30° (标准镜头), ± 18° (高分辨率镜头(*))真空系统 3个离子泵,1个TMP极限真空10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)图像显示个人电脑/操作系统PC/AT兼容, Windows® XP监视器19-inch液晶显示器面板图像帧尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素扫描速度快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)自动数据显示记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间 (*) 选购件
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