手持特种设备

蒸汽发生器高温蒸汽恒温系统Chemtron 蒸汽发生器可广泛用于医疗、制药、生物、化工、食品加工等热能专用配套设备等行业，尤其适用 于恒温蒸发，是取代传统锅炉的新型全自动高效节能环保蒸汽发生器的shou选装置。已经被广泛应用于各生物， 制药，食品领域，以及国内各大高校和科研院所，可用于大型反应系统的加热恒温使用。产品特点 * 高水位指示灯报警功能 * 为避免水质硬度过高，影响整机的使用寿命，可选配使用软水处理器 * 国内特种设备制造许可证（压力容器）* 国内特种设备制造许可证（锅炉）技术参数订货号型号加热功率额定蒸发量额定工作压力额定蒸汽温度水容积电压kWt/hMpa℃LV8609015SG15180.0250.7171243808609030SG30480.0650.717129380标准产品jin提供高温高压蒸汽，如果需要适用蒸汽加热并准确恒温外部体，需根据应用需要定制 PLC 蒸汽恒 温控制模块。

特种探头拉曼光谱检测系统拉曼光谱是物质的指纹谱，通过拉曼光谱可以获取物质的声子谱、电- 声相互作用、晶格振动非简谐信息，测量物质融化曲线及固/ 液相变、结构、组成、状态等。常规的显微拉曼只能用于实验室测试，无法满足在线测试需求。北京卓立汉光仪器有限公司结合多年的拉曼光谱仪研制经验开发出特种光纤探头拉曼解决方案，可以用于特殊场景的在线分析。性能优势可满足高温高压实验环境下测试需求可满足固、液、气等多种类型的样品侵入式测试需求光纤结构，系统稳定耐用系统方案与配置技术参数激光器532nm，100mw785nm，350mw 光谱仪VPH 透射光栅光谱仪拉曼频移：200-4000cm-1； 光谱分辨率：优于 10cm-1VPH 透射光栅光谱仪拉曼频移：350-2400cm-1 光谱分辨率：优于 10cm-1CCD 探测器具有高像元分辨率的 CCD 芯片，分辨率 2000*256可见近红外拉曼专用 CCD，深制冷温度至 -60℃，读出噪声5 电子 / 像元 特种探头工作距离：3 mm 和 7 mm 可选，其他可定制工作温度：0-325℃，可定制最大压力：6000psi配置信息光谱仪型号Omni-iSpecT532A1Omni-iSpecT785A1拉曼频移波长宽度0-4100cm-1 /532-680nm-200-2400cm-1/770-965nmF/#F/1.8F/2.3焦距（入射 / 出射）85/85mm100/100mm光栅1800l/mm VPH1200l/mm VPH CCD 相机背感光深耗尽 CCD 有效像素 2000×256 像素尺寸 15um探测面尺寸 30×3.8mm背感光深耗尽 CCD 有效像素 2000×256 像素尺寸 15um探测面尺寸 30×3.8mm可调入射狭缝10um-6mm10um-6mm分辨率（典型值）@50um 狭缝0.17nm5cm-1@585nm，7cm-1 保证值0.25nm3cm-1@912nm，5cm-1 保证值光纤适配器XY 可调光纤适配器光纤接口：SMA，10mm 圆柱XY 可调光纤适配器光纤接口：SMA/ MPO/10mm 圆柱快门选配选配 内置长波通滤光片选配直径 50mm，最低波数 186cm-1选配直径 50mm，最低波数 309cm-1重量5kg5.8kg特种探头探头激发波长405, 514, 532, 633, 670, 671, 785, 808 nm. 其 他 可 选光谱范围100-4000 cm-1 @ 标准 ( 不同激光器范围不同 )样品端光斑大小~100 um @ 100 um 芯径激发光纤工作距离9mm/3mm@ 标准；12,15,18mm 可选数值孔径0.22 @ 标准探头尺寸2.25” 长 x 0.96”宽 x 0.58”高1.3” 直径 x 4.5”长探头材质超硬氧化铝，316 不锈钢；可根据需求定制探头柄尺寸3/8” 直径 x 3” 长度3/8” 直 径 x 2” 长 度可根据需求定制探头密封阀丁腈橡胶密封环，其他可定制探头密封材质全氟醚橡胶密封环，可根据需求定制滤光片效率O.D 6操作温度0-325 ⁰ C最大操作压力6000 psi光纤配置100/100 um 标准配置，其他可选光纤长度5m@ 标准；可根据需求定制接口类型FC 或者 SMA其他可定制探测器有效像素2000 x 256像元尺寸15 x 15 μm最短光学门宽30 x 3.8 mm读出噪声4.5 e-响应范围200-1100nm应用分享气体在线分析Casella A [1] 采用特种探头拉曼技术对二氧化钚废气流动进行在线监测，用于评估制备铀、钚等高纯金属时的氟化反应进程。目前公认的氟化反应使用具有毒性和腐蚀性的HF，很大程度限制了探针和接口材料的选择。下图为实时监测氟化反应废气装置示意图，采用光纤探头拉曼，激光通过阻挡HF 气体的透明窗口聚焦监测。此外该系统可以用于监测其它反应产物和环境中的气体等。图 光纤拉曼在线监测结构图图 不同参数下的拉曼光谱图图 反应气体的拉曼光谱强度- 时间关系图和热刨面图化学蚀变过程监控Parruzot B[2] 等人采用光纤探头拉曼光谱技术原位监测玻璃蚀变过程，实验时不锈钢密封的光纤拉曼探头需浸泡在恒温硼酸/ 硼酸盐溶液中，拉曼光谱监测溶液的pH 值和硼酸浓度变化，构建预测模型。通过光纤拉曼原位在线检测，可以实现近实时定量分析，也避免了环境实验干扰，如蒸发、SA/V 变化、污染物、温度等因素。图 实验装置（中）和溶液pH 值、硼酸浓度的拉曼光谱图（左、右）图 拉曼光谱模型图，DI（超纯水溶剂，A-D）SB（加硼酸盐溶剂,E-H），A,B,E,F 是拉曼光谱与时间三维图；C,G 是硼酸浓度模型图；D,H 是PH 值模型图 化学蚀变过程监控Lu W [3] 等人应用光纤拉曼原位监测微芯片反应器中金属- 有机物Co-MOF-74 生长过程，实验时FIR 和WAVS 提供物质的原子坐标和晶格信息，拉曼和MIR 提供分子结构信息并获得成核生长曲线。图 MOF 拉曼光谱随时间变化曲线，采用平面波密度泛函理论计算引用文献[1] Casella A, Carter J, Lines A, et al. In stream monitoring of off-gasses from plutonium dioxide fluorination[J]. Actinide Research Quarterly,2019: 31-35.[2] Parruzot B, Ryan J V, Lines A M, et al. Method for the in situ measurement of pH and alteration extent for aluminoborosilicate glasses using Raman spectroscopy[J]. Analytical chemistry, 2018, 90(20): 11812-11819.[3] Lu W, Zhang E, Qian J, et al. Probing growth of metal–organic frameworks with X-ray scattering and vibrational spectroscopy[J]. Physical Chemistry Chemical Physics, 2022.

1. 产品概述LMEC-300&trade 是鲁汶仪器针对特种金属膜层刻蚀而推出的 12 英寸集成设备，应用于新兴存储器件的制备。此类器件的核心功能单元含有成分复杂的金属叠层，例如磁存储器的磁隧道节（MTJ）、相变存储器中的合金相变层、阻变存储器中的阻变叠层。其副产物不易挥发，图形化挑战很大。 LMEC-300&trade 反应离子刻蚀与离子束刻蚀协同工艺，可规避 RIE 路径的侧壁沾污问题，也可突破 IBS 路径的工艺线宽局限。薄膜沉积腔室可以不脱离真空环境为器件覆盖钝化层，避免侧壁金属氧化、水化，从而改善可靠性。这种 RIE、IBS与原位钝化工艺集成方案，使 LMEC-300&trade 成为新兴存储器件关键工艺的优选。2. 系统特性设备集成了 Chimera® N 反应离子刻蚀（RIE）腔室、Pangea® A 离子束塑形（IBS）腔室、Basalt® A 原位（in-situ）沉积腔室，工艺不离开真空环境对于磁隧道结等难于形成挥发性产物的金属/合金叠层，该设备可实现等离子体刻蚀、干法清洗和原位钝化保护的功能可提供不同工艺解决方案，满足磁存储器（MRAM）、相变存储器（PCRAM）、阻变存储器（ReRAM）、磁传感器等器件的图形化需求可选配硬掩模刻蚀腔室 Chimera® A，形成从金属硬掩模到器件功能层的一体化刻蚀方案适用于12英寸晶圆