十六烷基三甲氧基硅烷

三甲基氯硅烷工艺装置主要由溶解釜、加料釜、反应釜、接收罐、碱液釜和渣浆釜等组成。 其主要仪表及管阀件均采用高性能产品，装置非标采用耐腐蚀材质。PLC 系统采集确保操作人员安全。 装置的整体水平要求自动化程度高，数据精确度及重复性好，安全可靠 并能长周期稳定运行

产品概述应用• 涂上化学增粘剂的超薄保形单层涂层• 精确控制MEMS器件和micro LED防粘解决方案的表面疏水性• 为光学和AR / VR应用提供高度均匀的丙烯酸酯或环氧型粘合剂涂层和界面层• 对于纳米压印光刻（NIL）应用，应涂防粘涂层以延长冲压工具的使用寿命• 在生命科学中，应用硅烷表面单层在固体底物和生物分子（包括DNA和蛋白质）之间实现稳定的共价键连接• 薄的自组装单层（SAM）涂层，用于半导体应用中的选择性沉积特点• 单个过程模块的两个负载端口EFEM或两个过程模块的四个负载端口EFEM的选项• 大容量腔室最多可容纳五十个200/300 mm晶圆• 涂层温度高达250°C，温度均匀度≤1.5％，并进行多区域控制• 多达5条汽化线，具有精确的质量流量和热控制• 远程下游等离子发生器产生反应性原子氧，以去除反应室中的有机残留物优点• 低压工艺减少了对导致晶片翘曲和损坏的高工作温度的需求• 优异的化学沉积均匀性； 接触角控制在+/- 3度内• 兼容多种有机硅烷，包括氨基，环氧，烷基和氯硅烷• 集成的等离子腔室清洁过程有助于保持运行过程的一致性• 环保，与湿法化学工艺相比，化学/溶剂用量明显减少技术参数硬件集成EFEM：具有2个（两个）负载端口的1类（ISO 3）EFEM模块可互换的处理200mm和300mm晶圆的能力晶圆图FOUP和PM机架的能力，可进行交叉开槽和双槽保护晶圆尺寸：可配置200或300 mm晶圆，或用作具有双重处理功能的桥接工具容量：仅200mm配置：50个晶圆200mm / 300mm选项配置：25个晶圆仅300mm配置：50个晶圆蒸汽输送：多达5条汽化线，具有精确的质量流量和热控制箱体材质：316L不锈钢工艺气体输入：2个标准（3个可选），预热整合等离子体：13.56 MHz软件操作系统：基于Windows的配方管理，符合SECS / GEM。符合SEMI标准：E30，E39，E40，E87，E90，E94性能环境清洁度：1级（ISO 3）工作温度范围：50-250°C温度均匀度：稳定后±1.5％腔室压力控制：200 mT至100 T化学用法：典型工艺1 – 10 mL正常运行时间： 95％

仪器简介：IROX Diesel是一款用于柴油分析检测的中红外傅立叶变换光谱仪: 它有带有大量基准样品校正的数据库，内置相应的分光室，与IROX 2000一样操作简单，易于使用。 这款仪器同样采用了出色的数学计算模型，包含簇类分析（CA）和多线性相关分析（MLR），可以测定柴油燃料的一些重要理化指标，如：十六烷值，十六烷指数和蒸馏特性等。快速、简便、客户可以现场校正的优点使得整个测试轻松简单，用时不超过4分钟。 谱图的解析度高达4 cm-1，保证数据达到很高的精度，3分钟即得结果。 IROX DIESEL的更新拓展了一个新应用: 柴油燃料中FAME（生物柴油）含量的测定 新应用: 柴油中FAME（生物柴油）含量的测定 IROX-Diesel更新后，可以检测普通柴油中共混的长链脂肪酸单烷基酯类的含量（或FAME）。 FAME (生物柴油) 是从植物油脂中提炼出来的，例如油菜籽、大豆，再溶于甲醇，并使用催化剂催化反应生成脂肪酸烷基酯类化合物。 普通柴油中低浓度的FAME(≤9%m)在1745 cm-1处有很强的红外吸收峰，而存在更高浓度的FAME时(9 to 40%m)则在1195 cm-1处也会产生弱吸收峰. 这样，我们就可以通过对这些特征吸收峰谱图进行二次求导计算，进而准确地测量FAME的浓度。 经过修正后的数学方法和软件处理极大改进并提高了十六烷改进剂、稠环芳烃（PNA）、十六烷值和十六烷指数测量的准确性: 通过计算十六烷改进剂和PNA的附加谱图峰的二阶导数，可以增强测试数据的准确性，比官方方法结果的稳定性和重现性更好。 IROX DIESEL 出厂时已对柴油中的FAME测定进行过校正: 取决于红外谱图中采用的2个特征吸收峰的浓度范围 低浓度范围时(0.2 - 7.0%): 吸收峰在1745 cm-1 高浓度范围时(7.0 - 30%): 吸收峰在1195 cm-1 对于未知标样的校正过程也很简单，而且校正常数可以自动计算。技术参数：显示 大液晶屏显示，带背光 预热时间 10 min 响应时间 3 min 数据通讯 RS-232 串口 常用电源 100/120/230 V AC, 50/60 Hz 65 W 野外测试应用 12 V / 4A DC (vehicle battery) 宽 x 高 x 深: 200 x 320 x 220 mm (7.8" x 12.6" x 8.7") 重量 11 kg (24 lbs) 选配件: 推荐使用打印机和计算机 MINIWIN IROX-PC 软件: 数据结果存储, 上传/下载相关谱图, 参看红外光谱谱图.. 柴油分析仅需3分钟! 数据准确性与标准偏差 测试参数 范围 重复性 标准偏差 (SD) 十六烷值 25 - 75 0,8 0,6-0,9 十六烷指数 30 - 70 0,4 0,4-0,6 十六烷改进剂 0–5000ppm - 90 ppm 总芳香烃 0–60 wt.% 0.5(@25%) 0.4 稠环芳烃 0–40 wt.% 0.4 (@5%) 0.3 FAME (柴油燃料中的生物柴油) 0–40 m% - 0.04(@2 v%) 　 　 0.16(@5 v%) 　 　 0.53(@10 v%) 　 　 1.20(@20 v%) 蒸馏特性 T85,T90,T95 - - 密度 - ±0.001 g/cm3 -主要特点：十六烷值 (correlation to ASTM D 613) 十六烷指数 (correlation to ASTM D 976) 十六烷改进剂 总芳香烃 (correlation to ASTM D 5186) 柴油中FAME(生物柴油)含量的测定 稠环芳烃 (correlation to ASTM D 5186) 蒸馏特性: T85, T90, T95 (correlation to ASTM D 86) 内置安东帕密度计（Anton Paar）可以实现物质浓度的互换（volume% 到 mass%） 自动温度控制 自动样品吸入，自动测量... 无需样品预处理: 只要简单将样品导管浸入样品瓶，再启动运行RUN键 操作简单，无需复杂的技术培训 样品量少: 7ml 测量时间: 3 分钟 谱图数据库可现场校正，操作快速、简单，每个样品导入时间不超过4分钟 可选配件6-位样品进样器 便携式设计，适用现场测试应用 (可选车载电源转换器) 电脑/打印机接口 MINIWIN IROX 电脑控制软件