钌红电镜专用

喜讯2019年8月，国内套奥地利GETec公司扫描电镜专用原位AFM探测系统（AFSEM）在中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅教授课题组顺利交付使用。奥地利GETec公司扫描电镜专用原位AFM探测系统现场安装培训 纳米新探索 奥地利GETec公司发布的AFSEM是一款紧凑型，适用于真空环境的AFM产品，能够轻松地与SEM结合为一体，大地扩展SEM样品成像和分析能力，实现了AFM和SEM的功能性互补。AFSEM技术与SEM技术的结合，是人们对纳米新探索的重要工具之一。 GETec AFSEM 系统安装示意图及实物图中国科学研究院硅酸盐研究所曾老师课题组主要从事材料显微结构表征技术研究，在扫描电镜使用操作方面具有丰富的经验。本次交付的AFSEM系统结合了课题组已有的美国FEI电镜Versa™ 3D 双束扫描电镜，该强有力地结合，可将SEM已有的样品表面分析成像功能扩展到AFM探测领域，同时也将帮助曾老师课题组在材料显微结构方面的研究，我们也祝愿曾老师在未来的科研工作中取得累累成果。同时，GETec公司也非常关注此次安装，同期9月，奥地利政府经济商会访问团在上海大学参与政府组织的学术研讨活动，会后邀请其国内外专家人士参观曾老师课题组，并顺利举办有关GETec技术应用研讨会，将奥地利公司及研究机构与上海大学及研究机构紧密联系在一起。研讨会上，奥地利GETec公司介绍了AFSEM的新发展并讨论其应用。 奥地利GETec公司国内举办研讨会及现场仪器操作演示

2015年4月3日下午，校长周绪红专程到虎溪校区调研重庆大学电镜中心，常务副校长张四平、虎溪校区党工委书记田明、校长助理夏之宁及材料学院相关负责人陪同调研。 　　调研中，材料学院院长黄晓旭从建设目标、特色与优势、发展历程、人才队伍和设备水平、资金投入情况等方面汇报了电镜中心的建设情况，重点介绍了电镜中心购置的目前世界上最先进的球差校正透射电镜和三维原子探针 材料学院唐文新教授介绍了承担国家自然科学基金委重大科研仪器设备研制专项项目，自主研发三维透射电镜和像差校正超快自旋极化低能电子显微镜的最新进展及良好前景。 　　周绪红充分肯定了电镜中心的建设进展，对电镜中心高层次人才培养与引进、高端设备购置和开发与高水平研究相互促进的发展模式给予了高度评价，并强调电镜中心要加强人才队伍的培养和建设，充分发挥出高端设备的使用效能。周绪红表示，重庆大学电镜中心是学校近年来重点建设、重点投入、力争打造世界最高水准实验设备平台的重大建设项目，对促进我校材料、物理、化学、生物、机械、信息、电气等相关学科的发展具有重要意义，学校高度重视，还将进一步加大力度支持电镜中心建设和发展，希望电镜中心再接再厉，早日建成设备、技术、人才队伍均达到国际一流水平、运行高效、成果丰硕的国际一流电镜中心。

仪器信息网讯 近日，武汉精测电子集团股份有限公司（上海精测半导体技术有限公司母公司，下称“精测电子”）表示，上海精测半导体技术有限公司以椭圆偏振技术为核心开发的适用于半导体工业级应用的膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统，已经取得长江存储、广州粤芯等国内半导体客户的批量重复订单；电子显微镜相关设备已完成首台套的交付。eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备是上海精测半导体自主研发的扫描电子显微缺陷复查和分类设备，它具有领先的高分辨率电子束成像能力和自动缺陷分类能力，据描述，该设备是国内首台拥有完全自主知识产权的半导体前道检测设备据悉，2020年12月23日，上海精测半导体技术有限公司宣布推出首款半导体电子束检测设备：eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备，并于当日正式交付国内客户，助力半导体产业国产化。该设备是基于扫描电子显微镜技术的复查和分类的设备，应用于集成电路制造过程，可对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类，满足10x nm集成电路工艺制程的需求。随着半导体集成电路工艺节点的推进，作为晶圆厂制程控制主力设备的光学缺陷检测设备的解析度已无法满足大规模生产和先进制程开发需求，必须依靠更高分辨率的电子束复检设备的进一步复查才能对缺陷进行清晰地图像成像和类型的甄别，从而为半导体制程工艺工程师优化制程工艺提供依据。eViewTM采用了自主开发的扫描电子显微镜技术，具有超高的的分辨率，适用于10x nm及以下集成电路制程的工艺缺陷自动检测。除了高分辨率电子束成像能力外，利用自主开发的基于深度神经网络（DNN）的人工智能算法进行缺陷自动识别与分类，突破常规的基于机器学习的分类算法，极大提高晶圆缺陷分类的准确度。并采用全新的超低电压EDSX射线探测技术,突破常规设备EDS使用电压的限制，实现轻量元素的高分辨率解析能力。据3月11日公开的《武汉精测电子集团股份有限公司向特定对象发行A股股票募集说明书（注册稿）》，上海精测半导体技术有限公司研发及产业化建设项目偏重于电子束检测应用、聚焦离子束与电子束双束应用、光学关键尺寸测量技术、面向大尺寸 OLED 屏的超快精细激光切割及其检测技术等方向，重点建设半导体检测设备研发及产业化基地，侧重产业园投入及在现有半导体检测设备研发及制造基础上进行工艺优化和技术升级。其研发及产业化建设项目所生产的半导体检测设备及平板显示检测设备主要面向半导体晶圆的检测和量测，部分面向 OLED 检测。其中电镜相关产品类型包括Review SEM 电子束量测设备、FIB SEM 电子束量测设备，应用于半导体电子束检测。涉及新产品研发情况，相关产品具体类别、主要功能及目标客户：项目达产后正常年不含税收入 129200 万元，其具体构成详见下表：Review Sem 电子束量测设备为公司的新产品，其定价采取“成本加成”的定价模式，根据产品生产成本、费用及合理的利润来确定该产品的价格。FIB SEM 电子束量测设备为全新产品，其销售价格是参考其他公司同类型产品中标公告的中标金额（700 万元/套至 826 万元/套），并结合未来市场需求情况而制定。在半导体测试领域，上海精测已成功开发高性能集成电路制造前道量检测进口替代设备，自主研发的集成式膜厚测量设备于 2020 年实现来自国内一线存储客户的订单，未来上海精测持续增加研发投入研发光学检测设备（纳米薄膜椭偏测量装备、光学关键尺寸（OCD）测量装备、硅片应力测量装备）和电子光学检测设备（CD-SEM扫描电子显微镜关键尺寸测 量装备 、Review-SEM 全自动晶圆缺陷复查设备、FIB-SEM 双束系统），实现研发设备的产业化，打破集成电路高端检测设备被国外厂家垄断的局面，填补国内空白，实现进口替代，为之后研发暗场颗粒检测、精密套刻测量、多束电镜、透射电镜等前沿技术和设备提供坚实基础；另一方面，公司将充分利用资本市场功能及优势，采取多元化方式，积极做大做强公司半导体测试板块，提升竞争力。技术可行性半导体产业化过程，设备先行，半导体前道检测设备是制约我国半导体制造产业的“卡脖子”难题，以美国科磊半导体为代表的国际巨头占据了全球量测检测设备大部分的市场。在政府引导和下游市场需求的双重推动下，越来越多的国产设备企业投入到半导体测试领域。上海精测注册成立后，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，在光学领域自主开发针对集成电路微细结构及变化的OCD测量、基于人工智能深度学习的OCD三维半导体结构建模软件等核心技术，在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，填补了国内空白。此外，公司在半导体光学、半导体电子光学及泛半导体领域积极进行项目研发，在半导体单/双模块膜厚测量设备、高性能膜厚及 OCD 测量设备、半导体硅片应力测量设备、FIB-SEM 双束系统、全自动晶圆缺陷复查设备、激光切割设备等方面积累了大量经验，形成了一定技术沉淀。生产及管理可行性目前，上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，进一步加快上海精测在半导体检测领域相关技术的引进、消化和吸收，使上海精测具备集成式膜厚测量设备（200/300mm 硅片）、用于 200mm 硅基 Micro-OLED 制程膜厚测量设备、高产率 300mm 硅片膜厚检测机等产品的研发及生产能力，同时进一步降低生产成本，提高产品竞争力。上海精测以椭圆偏振技术为核心开发的适用于半导体工业级应用的膜厚量测设备以及光学关键尺寸量测系统，已经取得国内一线客户的批量重复订单；电子显微镜相关设备预计在 2020 年年底前推向市场，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及扩展的过程中。关于上海精测半导体技术有限公司上海精测半导体技术有限公司成立于2018年7月，主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。上海精测半导体技术有限公司通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化，快速做大做强；并倚靠母公司精测电子在平板显示检测领域已经在国内市场取得领先的市场地位，提高相关专用设备产品在集成电路市场的竞争力，旨在将公司打造成为全球领先的半导体测试设备供应商及服务商。------------------------------------拓延：关于举办首届中国电镜产业化发展论坛的通知一、会议时间4月23日下午13:30-17:00（ACCSI 2021召开同期）ACCSI 2021大会官网：https://www.instrument.com.cn/accsi/2021二、会议地点江苏无锡融创万达文华酒店三、组织单位主办单位：中国电子显微镜学会 仪器信息网四、会议形式定向邀请、圆桌会议、半开放形式五、会议主题主题：首届中国电镜产业化发展论坛内容：围绕“当前环境下，中国电镜产业化如何快速发展”，议题内容主要涵盖以下三部分内容：1）产业化/创业历程，2）发展现状，3）发展痛点及发展建议/倡议/合作机会等六、 目标参会人群及规模政府及协会学会领导，电镜业界专家/学者、实验室主任、技术/研发负责人；电镜企业及周边企业董事长、总经理、总工、市场总监、研发总监等，规模约80人。　　　七、会议议程（拟定，以年会官网最终信息为准）ACCSI2021分论坛：首届中国电镜产业化发展论坛议程安排（4月23日下午）主持人：中国电子显微镜学会 理事长 韩晓东中国科学院电工研究所 副所长 韩立议题内容分享人致辞中国电子显微镜学会 理事长 韩晓东开篇报告：中国电子显微镜产业发展现状及展望中国科学院电工研究所 副所长 韩立议题发言：中科科仪电镜产业化历程北京中科科仪股份有限公司 电镜事业部总经理 孟祥良议题发言：透射电镜原位系统产业化进展介绍百实创(北京)科技有限公司 总经理 李海鑫开放讨论：国产电镜产业化现状？处于什么阶段？有哪些痛点？… … 全体邀请嘉宾仪器信息网专家委电镜专业组成立仪式、颁发专家聘书仪器信息网高层议题发言：与中国科学家的产业化合作（拟）待定议题发言：高通量扫描电镜产业化与展望聚束科技(北京)有限公司 总经理 何伟开放讨论：哪些先进经验？如何取长补短？… … 全体邀请嘉宾议题发言：高时空分辨TEM研发及新技术发展中国科学院物理研究所 研究员 李建奇议题发言：如何让国产电镜更好地赋能各行各业？国仪量子（合肥）技术有限公司 营销中心副总经理 付永强开放讨论：成果转化、产业化？合作机会？… … 全体邀请嘉宾小结主持人晚宴八、联系方式首届中国电镜产业化发展论坛：杨编辑，15311451191，yanglz@instrument.com.cnACCSI 2021大会: 杜老师, 13671073756 李老师, 15611023645附：关于2021第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）2021第十五届中国科学仪器发展年会(ACCSI2021)将于2021年4月21-23日在无锡市召开。ACCSI定位为科学仪器行业高级别产业峰会，经过14年的发展，单届参会人数已突破1000人，被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯论坛”。ACCSI2021以“创新发展，产业共进”为主题，力求对过去一年中国科学仪器产业最新进展进行较为全面的总结，力争把最新的产业发展政策、最前沿的行业市场信息、最新的技术发展趋势、最新的科学仪器研发成果等在最短的时间内呈现给各位参会代表。会议期间将颁发 “年度优秀新品”、 “年度绿色仪器”、“年度行业领军企业”、“年度十大第三方检测机构”、“年度售后服务厂商”、“年度网络营销奖”“年度人物”等多项行业大奖，引领科学仪器产业方向。会议日程（拟定，以年会官网最终信息为准）时间日程会议内容4月21日9:00-20:00参会注册14：00-17:00第三届仪器CMO圆桌峰会4月22日9:00-12:00大会特邀报告13:30-15:30i100峰会：中国科学仪器发展高峰论坛16:00-18:00仪器及检测风云榜颁奖盛典4月23日分论坛9:00-17:00第六届中国质谱产业化发展论坛第五届检验检测产业峰会9:00-12:00实验室智能化论坛量子精密测量产业化发展论坛生命科学仪器发展与精准医疗产业对接圆桌论坛石墨烯检测与标准发展论坛科学仪器及检测人才发展论坛13:30-17:00生命科学仪器创新成果转化圆桌论坛环境监测热点技术及市场论坛首届中国电镜产业化发展论坛中药分析与质量控制创新发展论坛近红外光谱产业化发展论坛贵金属及珠宝检测技术发展论坛参会咨询报告及参会报名：010-51654077-8124 13671073756 杜老师 15611023645李老师赞助及媒体合作：010-51654077-8015 13552834693魏老师微信添加accsi1或发邮件至accsi@instrument.com.cn （注明单位、姓名、手机）咨询报名。报名链接：https://insevent.instrument.com.cn/t/mK报名二维码扫描二维码立即报名