三离子束切割仪

Technoorg Linda Co. Ltd. 1990 年创立于匈牙利布达佩斯。专注于高质量的样品制备设备和相关解决方案的开发与制造。多年来一直在材料科学、电子显微镜和光学领域提供创新的产品和服务。为了满足客户的质量要求，Technoorg Linda 自 2004 年起实施了符合 ISO 9001 标准要求的质量管理体系。近期，Technoorg Linda 公司首席执行官 András Szigethy 接受了匈牙利知名杂志《Innotéka》的采访： András Szigethy： 卡塔琳卡里科（Katalin Karikó）（2023 年诺贝尔生理学或医学奖获得者）和费伦茨克劳斯（Ferenc Krausz）（2023 年诺贝尔物理学奖获得者）的成功使匈牙利自然科学研究名声大噪。然而，除了学术上的成功，我们很少听说匈牙利的科技公司代表着很高的标准，并决定了特定行业的发展步伐。但是，在电子显微镜样品制备领域，Technoorg Linda 的离子束样品制备产品 30 多年来一直被认为是该领域质量较高的设备。热敏样品的制备“如今，必须在纳米范围内寻找进一步发展高科技的潜力，这决定了设备技术的范围。”András Szigethy 解释道。研究人员需要基于全新的想法来确定发展方向。这十年的标志性产业不仅对人民福祉和环境发展产生影响，而且对国家和各大洲的基本战略也具有决定性影响。这些领域包括半导体制造和电池行业。Technoorg Linda 公司的目标是寻找并解决这些行业中出现的问题，提供方案。其专业领域是在不影响原始状态的情况下，探索待研究的材料和原子结构。András Szigethy， Technoorg Linda 首席执行官我们怀着无尽的兴奋展望未来 —— 首席执行官继续说道。近年来，Technoorg Linda 作为样品制备的解决方案，成功实现了离子束技术出现在一个未知的新领域。成功的关键是有针对性的开发 —— 考虑到扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）的市场需求。电池隔膜横截面图像及其阳极或阴极的处理绝非易事（图1）。在保证材料质量的前提下，这类样品的微观结构无法通过传统的样品制备方法（切割、抛光）检测到。作为高孔隙率有机聚合物薄膜样品，具有绝缘性能，同时也是热敏感样品，无法使用高热切割方法。高温会熔化样品，阻碍研究人员对样品真实结构的观察。因此，电池行业需要新的解决方案。图1.将多晶三元材料通过离子研磨仪切割后，可以观察到颗粒内部的真实情况。（来源：Technoorg Linda）凭借 30 多年的专业经验，Technoorg Linda 开发了用于扫描电子显微镜样品无损加工工艺。通过 Ar 离子束的能量在材料表面进行微观改性，从而实现高精度、高效率，无机械损伤的样品表面处理。除此之外，设备甚至不使用冷却，从而形成了完全独特的解决方案，技术远远领先。图2电池隔膜横截面扫描电子显微镜图像。具有两种不同微观结构的聚烯烃相，可以清晰地观察到明显差异（来源：Technoorg Linda）Technoorg Linda 战略“自公司成立以来，我们一直在寻找挑战，我们不断学习、创新，从而扩大 Technoorg Linda 在这一特定领域的专业知识和经验。毕竟，如果没有正确制备样品，就不可能获得高精度、高分辨率的显微图像。对我们来说，这些行业：比如芯片或电池制造，代表着进步；我们不是要追赶，而是要走在他们前面，为他们提供新的机会。我们的团队很幸运地继承了上一代人的职业道德和公司政策，注重团队精神、前瞻性思维和积极寻找挑战。我们的目标是让 Technoorg Linda 这个名字成为高品质、易学且高效的样品制备的代名词。”“Technoorg Linda 产品为所有需要了解材料真实结构的研究人员提供了完整的工作流程和样品制备解决方案，无论是地质、冶金还是陶瓷领域。例如，从聚焦离子束 (FIB) 制成的薄片中去除镓、多孔样品无尘制备、对水或氧敏感样品表面的处理和后续的运输以及处理多层样品表面的横截面。得益于这种思维方式，我们的产品可以在世界许多大学、研究中心和工业实验室中找到。”复纳科学仪器（上海）有限公司作为Technoorg Linda 在中国的合作伙伴，我们为客户提供全方位的产品培训、技术支持和售后服务。当前在国内市场专注于引进并推广 SEM/TEM/FIB 样品制备系列设备。其中，SEMPrep2 离子研磨仪主要用于扫描电镜（SEM）样品制备，UniMill 离子减薄仪主要用于透射电镜（TEM）样品制备，Gentle Mill 离子精修仪主要用于改善 FIB 处理后的样品。

仪器信息网讯 2012年8月29日，在北京国际材料工艺设备、科学仪器展(CIAMITE 2012)召开之际，卡尔蔡司举行了AURIGA COMPACT聚焦离子束电镜系统新品全球首发仪式。来自科研院所高校150多位专家学者参加了此次新品发布会。 　　 卡尔蔡司AURIGA COMPACT发布会现场 卡尔蔡司负责人与嘉宾共同启动新品发布仪式 　　聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)系统是利用电镜将液态金属离子源产生的离子聚焦成尺寸非常小的离子束，在电场的作用下离子束与样品产生物理碰撞，来达到切割(蚀刻)样品的目的。聚焦离子束电镜是指在离子束切割的同时利用电子束观察影像，同时也可配备能谱进行样品表面的元素分析。离子束显微镜也可以为透射电镜制作厚度达十几纳米的样品薄片。 　　卡尔• 蔡司新推出的AURIGA系列聚焦离子束显微镜是由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，具备高分辨率成像功能。AURIGA系列包含AURIGA Compact、AURIGA、AURIGA 60、AURIGA Laser四款产品。此次发布的AURIGA Compact FIB-SEM系统可以对材料实现高分辨三维纳米尺度成像和精确的材料加工及纳米组装。 　　AURIGA Compact GEMINI透镜设计可以在FIB切割的同时同步高分辨成像，样品的倾斜不会影响电子光学性能。AURIGA Compact具有的稳定性和效率，足以支持自动采集成百上千的EBSD剖面图谱。CrossBeam工作站的ASP系统支持自动制备TEM样品和进行断面切割。卡尔蔡司独有的X2技术，可以制备面积较大薄片样品，厚度小于10nm。 　　 卡尔蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生 　　卡尔蔡司中国区总裁兼CEO Maximilian Foerst先生在致辞中表示，这次活动对于卡尔蔡司非常重要，这是卡尔蔡司首次在中国举行新产品全球首发仪式，同时也证明了中国的客户和市场对于卡尔蔡司非常重要。去年，卡尔蔡司集团的收入超过了42亿欧元，其中卡尔蔡司中国公司的收入超过15亿人民币，并且建立了拥有超过30位研发人员的研发中心。随后Maximilian Foerst介绍了卡尔蔡司集团以及卡尔蔡司中国公司的总体发展情况。 　　 北京科技大学新金属材料国家重点实验室主任吕昭平教授 　　卡尔蔡司全球首台AURIGA® Compact FIB-SEM系统落户北京科技大学新金属材料国家重点实验室，实验室主任吕昭平教授在致辞中表示，研究材料有四个重要因素：材料制备、组织结构、性能和服役，材料学研究的主要内容是将这些方面联系起来 而组织结构是研究的核心。材料科学的发展与分析手段息息相关，得益于像卡尔蔡司这样的公司在显微分析手段和关键技术上的突破。 　　在新品发布会期间，卡尔蔡司显微镜中国区副总裁张育薪先生接受了仪器信息网简短采访。 　　 卡尔蔡司显微镜中国区副总裁张育薪先生 　　仪器信息网：请您谈谈，电子显微最近有哪些技术发展趋势? 　　张育薪：近期电子显微技术发展趋势都是围绕“追求自动化、更高分辨率、操作简单以及软件界面更清楚，为客户节省更多的时间”。此次发布的针对常规用户的AURIGA Compact，在这方面都有很好的体现，同时为客户带来3D测试效果。这些方面，基本上已经体现了目前电镜追求的发展方向。 　　仪器信息网：请您谈谈国内电镜市场情况，近几年哪些领域对于电镜需求比较大? 　　张育薪：近期，中国政府推出了十二五战略发展规划，涉及到新能源、新材料、制药等，很多方面都会用到电镜，所以国内的市场不是简单的销售市场，而是全方位的大市场。整个纳米技术的发展对电镜市场有很大推动作用。就市场规模而言，每年都有变化，我个人估计2011年国内电镜市场规模在20亿人民币左右，其中约60%左右是扫描电镜。 　　仪器信息网：相对于其他的电镜厂商，卡尔蔡司的技术优势体现在哪些方面? 　　张育薪：卡尔蔡司是全球唯一一家同时拥有光镜和电镜及相关显微镜技术的公司，我们能够给客户提供一个完整的解决方案，一次性达到客户的要求。很多需要电镜的用户大多数需要光镜来进行筛选，光镜用户也有不断提高分辨率的要求，这两类产品互为补充。 　　Instrument：电镜产品的价格一直居高不下，随着配件不同，价格变化非常大，您是如何看待这方面的问题? 　　张育薪：大部分电镜产品是与科研有密切的关系，这样的高端设备都是一台一台的生产，很难像民品那样集成化、规模化生产，这是其价格高的主要原因。另外，越是高端的产品，对于售后支持依赖性越强，客户在购买产品的时候，都应该把这些考虑进去，没有完善的售后，再好的产品也很难发挥应有的作用，我们对于价格的理解是客户得到的应该是包括各种服务在内的“完整产品”，而不只报价上的数字。 　　 AURIGA COMPACT聚焦离子束系统

p strong 仪器信息网讯& nbsp /strong 人类对于微观世界的认知有着漫长的历史。自300年前第一台显微镜问世以来，人们便开启了探索微观世界的大门。随着科学技术的发展，光学显微镜、透射电子显微镜和扫描电镜逐渐作为工具被人们熟知，并且，应科学发展的需求，各项技术均在不断的创新与发展。如今，作为材料分析的重要工具，电镜技术已广泛应用于材料、化工、医学、生物等多个领域。 br/ /p p 　　整体而言，电镜技术发展到今天，在技术上获得极大的发展，主要表现在几个方面，来自武汉大学电子显微镜中心主任王建波对此进行了简单介绍：第一，核心技术空间分辨率越来越高，借助辅助的技术手段，已经可以提供多尺度和多维度的信息 第二，计算机技术介入电镜领域，带来速度上的飞跃。正是结合了计算机技术，漂移校正变得简单，数据处理、记录、转移等方面速度变快，大大提高了分析的速率 第三，多种新型探测技术如CMOS等技术的出现，使电镜技术的动态响应范围、分析速度等获得革命性提高 第四，电场、光场、力场等外场技术的联用，可联合表征某些曾经无法定量的样品 第五，计算机模拟技术使得定量结果由模糊变得精确 第六，与其他技术联用，使电镜技术逐步变成一个综合性设备 第七，透射电镜样品的制备工具得以发展。透射电镜、X衍射仪等是强有力的表征工具，需要强大的样品制备工具与其相匹配。 /p p 　　随着电镜技术对样品制备能力要求的提升，在现在的电镜行业，谈及微纳加工仪器，聚焦离子束(FIB)技术不可不谈。该技术通过能离子轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入和改性。目前先进的FIB系统为双束，即离子束和电子束(FIB-SEM)系统，也就是在SEM微观成像实时观察下，用离子束进行微纳加工，具有离子注入、离子溅射、TEM试样制备等多种功能。早在多年前，该技术在市场上已经商品化。 /p p 　　电镜技术研究正处于一个健康发展时期。就扫描电镜而言，业界人士认为，未来其研究方向主要有三点。首先，原位研究，包括气体、液体、加热和力学等研究方法 其次，电子束旋进和三维重构及全息技术的方法学研究 最后，商业化的多种表征手段集成到一台仪器上，这也是目前电镜行业仪器厂商热衷的方式之一。 /p p 　　作为聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)主流供应商之一， TESCAN 和WITec公司在2014年联合推出了显微镜新品RISE Microscopy，即扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用系统，用以对样品进行综合表征：电子显微镜是一个很好的表征样品表面形貌、成分、结构的可视化技术平台，而共焦拉曼成像是表征样品化学和分子组成的成熟光谱方法。目前该技术已经在上海交通大学分析测试中心— TESCAN China联合实验室使用。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/66abe88c-76a1-41b2-a6ec-e1a9d798a6bb.jpg" title=" 联合实验室.jpg" / /p p 　　2017年5月18日，上海交通大学分析测试中心-TESCAN China联合实验室揭牌仪式，上海交通大学分析测试中心主任张兆国(左五)、TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Klima(右五)共同为联合实验室揭牌，并签署合作协议。 /p p 　　据TESCAN(中国)市场部经理顾群介绍，目前，上海交大分析测试中心已经配置多台TESCAN公司电镜及FIB系统，包括一台超高分辨扫描电镜-聚焦离子束-飞行时间二次离子质谱联用系统(UHR FE-SEM-FIB-TOF-SIMS)。“这是一个综合平台。电镜主要用来观察待测物质的表面形貌，附加能谱仪分析待测物质除轻元素和痕量元素之外的成分，若配以TOF-SIMS设备，则轻元素及痕量分析的功能就得以完善。”顾群表示，“FIB技术可对指定待测样品位置进行精细切割剥离，被剥离的样品将进入TOF-SIMS进行元素分析，而切割出的新界面将通过EDS和EBSD进行三维成分、结构和取向分析。” /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/ac6246ad-4c57-4be1-9025-9b793a70d717.jpg" title=" 电镜.jpg" / /p p style=" text-align: center " 上海交大分析测试中心的UHR FE-SEM-FIB-TOF-SIMS /p p 　　“我对FIB技术非常感兴趣，借助FIB技术，电镜观察微观结构可由二维向三维方向发展，并且可以为透射电镜制作超薄样品，尤其是复合材料样品。FIB技术应该说是今后发展的一个主流方向。” 上海交大分析测试中心副研究员何琳如是说。 /p p 　　“除与TOF联用之外，FIB与拉曼光谱的联用系统也放在了联合实验室。如果将FIB与可配附件全部联用，则可实现对每个微区同时采集成分、结构等精细信息。材料表征结果比较全面。”顾群讲到。但与此同时，顾群还表示，因仪器设备原理差异，目前的技术条件下，某些产品还无法整合。到目前为止，TESCAN的FIB技术可配置的技术还包括阴极荧光等设备。 /p p 　　据外媒发布的研究报告显示，近些年，行业的快速增长提升了显微镜在印刷、涂料、失效分析和元素检测方面的应用需求，纳米技术领域对先进技术、高分辨率显微镜的需求也不断增长，汽车行业对所用材料深入分析给电镜技术和应用带来机遇，而新兴的生命科学领域对电镜技术的需求也越来越多。综上，电镜技术正面临着多个新兴行业对技术和应用方案开发的机遇和挑战。 /p p 　　为应对新兴行业用户对解决方案的需求，更好的为用户提供技术支持，2017年5月18日，TESCAN(中国)上海应用中心举行了开幕仪式，正式投入使用。多位来自高校、科研院所、企事业单位的用户参加了本次开幕仪式。据了解，TESCAN(中国)每年定期派遣中国地区售后服务人员前往捷克总部参加技术培训，并且捷克总部也在中国派遣了一名技术工程师，负责为中国客户解决技术和应用问题。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c93a45b5-c78d-43d2-a527-219fe9033526.jpg" title=" 揭牌.jpg" / /p p style=" text-align: center " TESCAN(中国)上海应用中心揭幕 /p p style=" text-align: center " (左起：TESCAN董事，首席战略官 Kopriva Radomir、TESCAN董事会主席兼CEO Jaroslav Klima、捷克领事馆总领事馆馆长Richard Krpac、TESCAN(中国)总经理冯骏) /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c7bb2821-7128-4912-8e8a-520342b3cc16.jpg" title=" 合影.jpg" / /p p style=" text-align: center " 与会人员合影 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/1dfadb27-527a-4d84-a2a2-a93d7aa4f2fc.jpg" title=" 应用实验室.jpg" / /p p style=" text-align: center " 参观应用中心 /p p 　　开幕式上，胜科纳米(苏州)有限公司的郑海鹏告诉仪器信息网工作人员：“场发射扫描电镜由于其成像清晰，同时可以对微区进行定点的成分分析和形貌表征，配以某些特殊配件，可以帮助我们更好的开展失效分析和材料分析工作。TESCAN的扫描电镜人机交互体验较好。” /p p br/ /p