热扫描探针系统

上世纪五十年代末期，诺奖得主、物理学鬼才理查德费曼在加州理工学院的物理年会上，作了题为《There' s Plenty of Room at the Bottom》的报告，具前瞻性地提出了他对于纳米尺度操作及控制的框架性想法，并由此开启了无数科研工作者在纳米尺度上探究物质奥秘并通过相关的纳米技术来改变、造福人类的道路。同样是在上世纪五六十年代，采用平面处理工艺批量制备晶体管的策略出现，由此开启了集成电路产业的飞速发展。摩尔博士在六十年代中期提出了著名的摩尔定律“当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目，约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍”。而其中元器件数量的增多，是通过不断缩小元器件的关键尺寸来实现的。不论是在纳米尺度上进行探索，或是与人们生活息息相关的集成电路产业发展，都需要制备各种各样的纳米结构、纳米功能单元或纳米器件。而在制备各类纳米结构的过程中，为重要的操作就是通过光刻来实现在不同的材料上定义图案区域。目前，在工业上，先进的EUV光刻机具备7 nm技术节点的制备工艺中所需的图形加工能力，但其单值高，比一架F-35战斗机的价格还会高出不少。对于科研工作者来说，目前通常采用的基于光学曝光原理的科研光刻设备（科研的无掩模曝光系统、掩模对准式曝光系统等），能够实现的图形加工分辨率一般在微米尺度或亚微米尺度。而随着研究对象尺度的不断减小，对纳米尺度结构构筑的需求，上述基于光学曝光原理的科研光刻系统显然是不能够完全满足的。基于聚焦电子束、离子束的各类图案化加工设备，比如电子束光刻系统、聚焦离子束系统等，能够有效满足科研中对于纳米尺寸的图形加工需求。然而，由于电子束流和离子束流需要聚焦，这类设备通常由较为复杂的电子光学系统构成，因此价格相较于上述科研光学光刻设备要高出很多（即使是科研的电子束曝光系统，其单值也远超科研的光学曝光设备）。另一方面，聚焦电子束、离子束系统的复杂性也对操作人员和设备维护人员提出了较高的要求。 图1 热扫描探针光刻系统诱导材料局部变化的三种机制 在科研领域中，扫描探针光刻（thermal scanning probe lithography）是另一种颇受关注的图案化工艺方案，能够实现纳米（甚至原子的）图案制备的需求，其核心思路是通过纳米针诱导材料表面局部的改性来实现图案化。纳米针诱导材料表面改性的机制有很多种，包括力学、电学、热学、扩散等等，也由此产生了许多不同的扫描探针光刻技术。在诸多的扫描探针光刻技术中，热扫描探针光刻技术（thermal scanning probe lithography，t-SPL）是近年来发展起来的一种可快速、可靠、高精度地实现纳米图案化工艺，其技术核心是利用加热针的热能来诱导局部材料的改性。通常，热是材料转化中较为普遍的驱动因素，在很多材料中能诱导结晶、蒸发、熔化等改性现象。在纳米尺度上，由于只有很小的体积被加热，所以材料改性的特征时间是以纳秒量来计算的。因此，加热几微秒就足以改变针下的材料。对于刻写速度而言，悬臂梁的机械扫描运动成为图案化工艺速度方面的主要限制。然而，凭借扫描探针领域良好的技术积累，目前可以实现高达20 mm/s的刻写速度，能够满足大多数科研上的图案化制备工艺需求。同时在微纳图案结构的加工精度及分辨率方面，热扫描探针光刻技术可以实现特征线宽在10 nm以下的微纳结构的制备。图2 利用热扫描探针光刻进行热敏抗刻蚀剂的图案化工艺后，结合各类工艺实现的微纳结构及器件案例 作为一种高精度图案化工艺设备，近些年来热扫描探针光刻技术得到飞速发展，然而很多研究人员还比较陌生。着眼于此，洛桑联邦理工的S. T. Howell博士以及瑞士Swisslitho的F. Holzner博士撰写了综述《Thermal scanning probe lithography—a review》（已于2020年4月6日刊载在NPG旗下期刊Microsystems & Nanoengineering，详细信息可参考链接https://doi.org/10.1038/s41378-019-0124-8），Howell等人向大家详细介绍了热扫描探针光刻的历史、原理、图案转移工艺以及在基于新型低维材料的微纳电子器件、自旋电子器件、光子学微纳结构、微纳流控、微纳机电等领域的应用案例。图3 利用热扫描探针光刻进行定域材料转换的应用案例 另一方面，不同于很多新型光刻策略还停留在实验室中，瑞士Swisslitho公司已经成功将热扫描探针光刻技术商品化，名为NanoFrazor。在国内外的诸多用户当中，已有不少基于NanoFrazor制备的结构而开展的研究，相关结果也都发表在了Science、Nature、PRL、等高水平期刊上。图4 热扫描探针诱导的增材工艺的应用案例

研究背景为了探索待测物微纳米表面形貌，探针扫描成像技术一直是理论研究和实验项目。然而，由于扫描探针受限于传统加工工艺，在组成材料和几何构造等方面在过去几十年中没有显著的研究进展，这也限制了基于力传感反馈的测量性能。 如何减少甚至避免因此带来的柔软样品表面的形变，以实现对原始表面的精确成像一直是一个重要议题。 Nanoscribe设备加工的“减震器“纳米探针近日，东南大学生物科学与医学工程学院、生物电子学国家重点实验室顾忠泽教授和赵祥伟教授等人在Nature热门子刊Nature Communications上报道了一种新的扫描探针设计和加工方案，使用德国Nanoscribe公司的微纳3D打印系统制作一种基于层次堆叠单元的低密度三维微纳结构，旨在利用谭政自身机械特性来减少探针-样品的过度机械作用。在该工作中，研究人员借鉴生物组织的多孔结构在能量吸收，传导和缓释的有效作用，提出了低密度的结构可控机械材料（Materials with Controlled Microstructural Architecture, MCMA）, 作为探针本体的构筑设计，并且通过 Nanoscribe公司先进的微纳米增材技术进行激光直写制备。微结构缓冲材料与扫描成像系统的创新集成为尖端成像方案开辟了林一条道路，促进了基于3D激光直写制备的多功能扫描探针成像系统的发展。Nanoscribe公司的系列产品是基于双光子聚合原理的高精度微纳3D打印系统，双光子聚合技术是实现微纳尺度3D打印最有效的技术，其打印物体的最小特征尺寸可达亚微米级，并可达到光学质量表面的要求。Nanoscribe Photonic Professional GT2使用双光子聚合(2PP)来产生几乎任何3D形状：晶格、木堆型结构、自由设计的图案、顺滑的轮廓、锐利的边缘、表面的和内置倒扣以及桥接结构。Photonic Professional GT2 结合了设计的灵活性和操控的简洁性，以及广泛的材料-基板选择。因此，它是一个理想的科学仪器和工业快速成型设备，适用于多用户共享平台和研究实验室。了解更多双光子微纳3D打印技术和产品信息请咨询Nanoscribe中国分公司纳糯三维科技（上海）有限公司Photonic Professional GT2 双光子微纳3D打印设备Quantum X 灰度光刻微纳打印设备

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09:30 采购金额： 250.00万元 采购单位： 暨南大学 采购联系人： 伍先生 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 广州顺为招标采购有限公司 代理联系人： 李小姐 代理联系方式： 立即查看 详细信息 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购（GZSW21156HG3017）招标公告 广东省-广州市 状态：公告 更新时间：2021-07-16 招标文件: 附件1 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购（GZSW21156HG3017）招标公告 2021年07月16日 14:48 公告信息： 采购项目名称 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 暨南大学 行政区域 广东省 公告时间 2021年07月16日 14:48 获取招标文件时间 2021年07月16日至2021年07月23日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:30 至 17:30（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥310 获取招标文件的地点广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司） 开标时间 2021年08月06日 09:30 开标地点 广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）, 预算金额 ￥250.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 伍先生 项目联系电话 020-83592216-822 采购单位 暨南大学 采购单位地址 广州市黄埔大道西601号 采购单位联系方式 020-85220010 代理机构名称广州顺为招标采购有限公司 代理机构地址 广州市环市中路205号恒生大厦B座501室 代理机构联系方式 李小姐 020-83592216 附件： 附件1 项目概况 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 招标项目的潜在投标人应在广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）获取招标文件，并于2021年08月06日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：GZSW21156HG3017 项目名称：暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 预算金额：250.0000000 万元（人民币） 采购需求： 1、标的名称：扫描探针显微镜 2、标的数量：1套 3、简要技术需求或服务要求：符合招标文件要求4、其他：无 合同履行期限：交货期：国产设备在合同签订后30天内完成交货及安装、调试达验收合格标准；进口设备在合同签订后60天内完成交货及安装、调试达验收合格标准。, 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无（本项目不属于专门面向中小企业的项目） 3.本项目的特定资格要求：1、投标人应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2019或2020年度经会计师事务所审计的财务状况报告或提供基本户开户行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》）或证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供投标截止日期前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应证明材料））； （5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》））；（6）法律、行政法规规定的其他条件（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》））。2、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动（以国家企业信用信息公示系统www.gsxt.gov.cn查询结果为准）。3、为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。4、投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；且不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。5、本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2021年07月16日 至 2021年07月23日，每天上午9:00至12:00，下午14:30至17:30。（北京时间，法定节假日除外） 地点：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司） 方式：1、现场报名；2、邮件报名（请与工作人员联系，联系电话：020-83592216）。 售价：￥310.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2021年08月06日 09点30分（北京时间） 开标时间：2021年08月06日 09点30分（北京时间） 地点：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）, 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.符合本项目资格要求的供应商以公开报名方式确认其投标资格。请凭单位法定代表人（或负责人）授权委托书到采购代理机构报名（如需邮寄，请与工作人员联系，标书售后不退，国内邮购须另加 60 元人民币）。 2.采购信息发布及结果公告网站： 中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）、 ____（____）、 广州顺为招标采购有限公司网站（http:// www.gzswbc.com）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：暨南大学 地址：广州市黄埔大道西601号 联系方式：020-85220010 2.采购代理机构信息 名 称：广州顺为招标采购有限公司 地 址：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室 联系方式：李小姐 020-83592216 3.项目联系方式 项目联系人：伍先生 电 话： 020-83592216-822 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：扫描探针 开标时间：2021-08-06 09:30 预算金额：250.00万元 采购单位：暨南大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：广州顺为招标采购有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购（GZSW21156HG3017）招标公告 广东省-广州市 状态：公告 更新时间： 2021-07-16 招标文件: 附件1 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购（GZSW21156HG3017）招标公告 2021年07月16日 14:48 公告信息： 采购项目名称 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 暨南大学 行政区域 广东省 公告时间 2021年07月16日 14:48 获取招标文件时间 2021年07月16日至2021年07月23日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:30 至 17:30（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥310获取招标文件的地点 广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司） 开标时间 2021年08月06日 09:30 开标地点 广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）, 预算金额 ￥250.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 伍先生 项目联系电话 020-83592216-822 采购单位 暨南大学 采购单位地址 广州市黄埔大道西601号 采购单位联系方式 020-85220010 代理机构名称 广州顺为招标采购有限公司 代理机构地址 广州市环市中路205号恒生大厦B座501室 代理机构联系方式 李小姐 020-83592216 附件： 附件1 项目概况 暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 招标项目的潜在投标人应在广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）获取招标文件，并于2021年08月06日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：GZSW21156HG3017 项目名称：暨南大学实验技术中心扫描探针显微镜采购 预算金额：250.0000000 万元（人民币） 采购需求：1、标的名称：扫描探针显微镜 2、标的数量：1套 3、简要技术需求或服务要求：符合招标文件要求 4、其他：无 合同履行期限：交货期：国产设备在合同签订后30天内完成交货及安装、调试达验收合格标准；进口设备在合同签订后60天内完成交货及安装、调试达验收合格标准。, 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无（本项目不属于专门面向中小企业的项目） 3.本项目的特定资格要求：1、投标人应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2019或2020年度经会计师事务所审计的财务状况报告或提供基本户开户行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》）或证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供投标截止日期前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应证明材料））； （5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》））；（6）法律、行政法规规定的其他条件（提供书面声明（可参照招标文件“第五部分 投标文件格式”《诚信声明函》））。2、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动（以国家企业信用信息公示系统www.gsxt.gov.cn查询结果为准）。3、为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。4、投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；且不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。5、本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2021年07月16日 至 2021年07月23日，每天上午9:00至12:00，下午14:30至17:30。（北京时间，法定节假日除外） 地点：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司） 方式：1、现场报名；2、邮件报名（请与工作人员联系，联系电话：020-83592216）。 售价：￥310.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2021年08月06日 09点30分（北京时间） 开标时间：2021年08月06日 09点30分（北京时间） 地点：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室（广州顺为招标采购有限公司）, 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.符合本项目资格要求的供应商以公开报名方式确认其投标资格。请凭单位法定代表人（或负责人）授权委托书到采购代理机构报名（如需邮寄，请与工作人员联系，标书售后不退，国内邮购须另加 60 元人民币）。 2.采购信息发布及结果公告网站： 中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）、 ____（____）、 广州顺为招标采购有限公司网站（http:// www.gzswbc.com）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：暨南大学 地址：广州市黄埔大道西601号联系方式：020-85220010 2.采购代理机构信息 名 称：广州顺为招标采购有限公司 地 址：广州市环市中路205号恒生大厦B座501室 联系方式：李小姐 020-83592216 3.项目联系方式 项目联系人：伍先生 电 话： 020-83592216-822