台阶测试标准

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  • 台阶仪 400-801-8356
    德国布鲁克DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术,更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。 台阶仪DektakXT能实现: 1、 使用温度条件:10-30℃; 2、无可匹敌的性能,台阶高度重现性低于4埃 3、Single-arch设计提供扫描稳定性 4、的“智能电子器件”设立了新低噪音基准 5、新硬件配置使数据采集时间缩短 6、64-bit,Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度高了10倍 7、频率,操作简易 8、直观的Vision64用户界面,操作简易 9、针尖自动校准系统 10、布鲁克(Bruker)以实惠的配置实现高的性能 11、单传感器设计,提供单一平面上低作用和宽扫描范围 建立在40多年的探针轮廓技术的知识和经验薄膜测试仪,在基于微处理器的轮廓仪,和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪,内置真彩高清光学摄像机,及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 当需要台阶高度、表面粗糙度、测量时,人们就会借助Dektak。引进DektakXT,Bruker能让您进一步获得表面测量数据采集和分析速度 直接驱动扫描平台,Dektak XT减少了扫描间的时间,而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下,DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外,DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64,它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面,简化了实验操作设置,自动完成多扫描模式,让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。
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  • 影像专用台阶规专门用来计量影像测量仪,测量仪属于高效率的、新型的精密测量仪器,被广泛应用于航空航天、国防军工、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业,是计量室和生产车间不可缺少的科学计量和工业计量设备 影像专用台阶规规符合JJF 1318-2011影像测量仪校准规范附录A各项指标。是各计量所院建标必备产品。
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  • 探针式轮廓仪新标杆-升级到最优性能 德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰,更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT一定能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。薄膜测试—确保高产在半导体制造中严密监测沉积和蚀刻比率均匀性,薄膜应力,能节省大量时间和金钱。薄膜的不均匀或太大的应力会导致地产及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地设置和运行自动多点测试程序来检验晶片薄膜的精确厚度,达到纳米级别。DektakXT无与伦比的重现性提供给工程师精确的薄膜厚度和应力测试,来精确调节蚀刻和沉积以提供收益表面粗糙度检测—确保性能DektakXT适合很多产业(包括汽车、航空和医疗设备)的精密机器零部件的表面粗糙度常规鉴定。例如,矫形植入物的背面的羟磷灰石涂层粗糙度会影响植入后的粘结力和功效。利用DektakXT进行表面粗糙度的快速分析能力判断晶质生产是否达到预期,植入物能否通过产品要求。使用Vision64数据库的pass/fail标准,质量管理部门能轻松判断植入物是重做或者确保其质量太阳能光栅线分析—降低制造成本在太阳能市场,Dektak是测量单晶硅和多晶硅太阳能面板上导电银栅线临界尺寸的首选。银线的高度、宽度和连续性与太阳能电池的能量引导紧密相关。生产的理想状态是恰如其分地使用银,以具有最好的导电性,而不浪费昂贵的银。Dektak XT 通过软件分析来实现,报告银栅线的临界尺寸,以确定出现导电性所需的精确分量。Vision64的数据分析方法和自动功能有助于该验证过程的自动化。微流体技术—检测设计和性能Dektak XT是唯一能在大垂直范围(高达1mm),测量感光材料达到埃级重现性的探针轮廓仪。MEMS和微流体技术行业的研究者能使用Dektak XT来进行鉴定测试,确保零件符合规格。低作用测量功能NLite+轻触感光材料来测量垂直台阶和粗糙度40多年不断创新建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上—第一部薄膜测试仪,在第一部基于微处理器的轮廓仪,和第一部300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的“第一”。新的DektakXT是首部single-arch设计的探针轮廓仪,首部内置真彩高清光学摄像机,及安装64-bit并行处理架构已获得最佳测量及操作效率的探针轮廓仪全球有超过一万台设备,品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度的精确、可靠测量时,人们就会借助Dektak。引进DektakXT,Bruker能让您进一步获得可靠及高效的表面测量提高数据采集和分析速度利用独特的直接驱动扫描平台,Dektak XT减少了扫描间的时间,而没有影响分辨率和北京噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度。在保证行业领先的质量和重现性前提下,DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64,它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内最有效的直观用户界面,简化了实验操作设置,自动完成多扫描模式,让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。实现测量的可重现性DektakXT的领先设计使其在测量台阶高度重现性方面具有优异的表现,台阶高度重现性可优于4埃。使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更加稳固,降低了对不利环境条件的敏感性,如声音和震动噪音应用行业:触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量台阶仪Dektak XT能实现:无可匹敌的性能,台阶高度重现性低于4埃Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准新硬件配置使数据采集时间缩短40%64-bit,Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度提高了10倍频率空前,操作简易直观的Vision64用户界面,操作简易针尖自动校准系统,无与伦比的价值布鲁克(Bruker)以实惠的配置实现最高的性能单传感器设计,提供单一平面上低作用和宽扫描范围
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  • 布鲁克台阶仪探针
    Bruker台阶仪探针布鲁克台阶仪(探针式表面轮廓仪)探针,是布鲁克台阶仪(探针式表面轮廓仪)探针。 品 名 台阶仪探针 2µ m 台阶仪探针 12.5µ m台阶仪探针 25µ m型 号838-031-5838-031-3838-031-4品 名台阶仪探针 10µ m台阶仪探针 100nm台阶仪探针 5µ m型 号838-031-6838-030-938-030-1品 名台阶仪探针 2.5µ m型 号838-031-2
  • VLSI标准样片
    VLSI标准样片公司致力于向全球半导体及相关产业提供量测标准样片和相关服务。VLSI目前提供的标准样片可以用来校准各种高精度量测仪器,并且可以溯源到NIST。 特点: ◆支持ISO或TS质量体系认证; ◆可以溯源到NIST; ◆更高的可靠性; ◆更小的不确定度。 应用: ◆颗粒标准样片:用于校准颗粒检测仪; ◆薄膜厚度标准样片:用于校准膜厚仪; ◆台阶高度标准样片:用于校准表面轮廓仪; ◆线宽标准样片:用于校准扫描电镜或原子力显微镜; ◆电阻标准样片:用于校准电阻量测仪; ◆太阳能参考电池片:用于校准光电转换效率量测仪。
  • AFM原子力显微镜计量校准片
    问题:当原子力显微镜做样品成像时,很难知道表面是否准确的表征?也许会受针尖的顶端破碎或钝影响。破损或钝的探针针尖会使测量结果有显著差异,如粗糙度或表面结构等等。要确保用户在使用探针时要有适当的提示,必须直接扔掉旧探针或定期使用SEM电镜检测,这两种方法都非常的浪费探针或耗时。 解决方案:BudgetSensors Tipcheck介绍-一个SPM样品可以在原子力显微镜的针尖条件下快速、简便的测定。即使在一个单一的扫描线上,也使之间的差异变得明显。因此,tipcheck提供了一个快速简便的方法来比较和分类原子力显微镜探针不同的针尖、形状和清晰度。您可以很容易的检查您的AFM探针是否完好,是否已经磨损或破损,从而不需要扫描使用该探针扫描整个样品图像或做SEM电镜扫描检测。此外,该样品的完美自动提示和针尖表征软件在市场上可用。BudgetSensors Tipcheck样品是一种非常耐磨的薄膜涂层,沉积在硅芯片上。这层薄膜涂层呈颗粒状,尖锐的纳米机构使得它能在AFM探针针尖反向成像。该Tipcheck模具的尺寸为5*5mm。下面的图片显示了使用不同探针测试tipcheck样本之间的比较,扫描尺寸为1*1um,高度为100nm。根据下面的形貌图你可以找到一个具有代表性的断面图像。为什么我们需要高度校准块?原子力显微镜已经成为一个有价值的工具,不仅用于可视化,而且也可以用于进行精确的纳米和微米尺度测量。为了能使原子力显微镜最精确的测量,原子力显微镜需要正确的校准。 HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG作为budgetsensors 高度标准介绍作为增加相应,能负担原子力显微镜的高品质校准标准需求。HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG是一个尺寸为5*5mm且阵列在硅基底上的二氧化硅结构。芯片结构的制造工艺保证了良好的均匀性。这将确保你的AFM系统Z轴方向校准方便可靠。 校准区域位于芯片的中心,使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。校准结构的台阶高度为20nm(HS-20MG)100nm(HS-100MG)和500nm(HS-500MG)每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。 在500*500um的小区域内包含了XY方向间距为5um的圆柱形孔。除了Z轴校准,这样的设计也让XY方向有了更大的校准范围(40~100um以内),而且,校准片的结构对称性使得校准原子力显微镜时不需要旋转和调整校准片XY刻度的方向。HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG用优质导电环氧树脂粘在一个12毫米金属圆盘上,并将其用作装运的材料。横向尺寸:5*5mm几何结构:在1*1mm平方内排列间距为10um的方形孔柱在500*500um平方内XY方向排列间距为5um的圆形孔柱台阶高度HS-20MG:~20nmHS-100MG:~100nmHS-500MG:~500nm注:每个校准片盒子标签上都标有明确数值为什么需要XYZ标定校准?为了使原子力显微镜更精准的测量,必须进行正确校准。因此,更精确的校准标准才能实现原子力显微镜更好的测量结果。在这方面,校准的标定标准允许原子力显微镜系统的最精确校准。 我们的解决方案:CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准,使校准精度降低到纳米级。它的特点是在一个5*5mm的硅芯片上阵列二氧化硅结构。确保整个芯片结构有良好的均匀性。反之,又确保了方便可靠的校准原子力显微镜的XYZ三方向的精度。校准区域位于芯片的中心,使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。台阶高度在20nm范围内,每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。在中区域内包含了XY方向间距为5um的圆柱形孔。在小区域内500nm间距的圆形孔。CS-20NG适用于横向和纵向的AFM扫描校准。校准片的结构对称性使得校准原子力显微镜时不需要旋转和调整校准片XY刻度的方向。CS-20NG用优质导电环氧树脂粘在一个12毫米金属圆盘上,并将其用作装运的材料。横向尺寸:5*5mm几何机构:在1*1mm平方内排列间距为10um的方形孔柱在500*500um平方内XY方向排列间距为5um的圆形孔柱在100*100um平方内分布着间距为500nm的圆形孔台阶高度:20nm每个校准片盒子标签上都标有明确数值

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  • 借标准台阶冲上龙头
    江苏高淳县在南京市并不算是一个有良好工业基础的县,县属企业总量也不多,但近年来却先后有5家企业成为相关国家标准的主起草单位,分别牵头制定了9项国家标准。   最近,高淳县南京固柏橡塑制品有限公司(以下简称固柏橡塑)厂房一片繁忙,在同行企业开始停产或减产的时候,该公司生产车间却每天24小时开足马力生产。   看到质监工作人员到来,该公司董事长张收才热情相迎。他对记者说了一句话:“以前质监局的人来了,我是不出来迎接的,现在哪怕是一个普通工作人员来,我也要出来跟他谈一谈。”其中的原因是在高淳县质监局的指引下,凭借走标准化之路,固柏橡塑这个原先论规模在全国只能算中上等的企业,迅速发展成为行业中的龙头企业,销售业绩蒸蒸日上。   说到走标准化道路,张收才用4个阶段来概括:“从无所谓,到正视,到投入精力,再到现在见到效果、尝到甜头。” 2005年,张收才想过做标准,但当时心里主要想的还是如何提高产量。直到2007年5月,高淳县质监局局长周骏贵的一番话,让他意识到走标准化道路对企业发展的重要性。随后在高淳县质监局的帮助和指导下,经过一年多的努力,固柏橡塑主持起草的“工业用橡胶板”国家标准,在2008年4月正式批准发布,并于当年10月1日正式实施。该公司当年的销售就实现100%,收入较2007年翻了一倍,达到6300万元,上缴国家税收近400万元。面对金融危机,该公司的外贸订单却比以前增长200%以上。“现在我们的业务经理出门跑业务,只要把我们制定的标准带过去就可以了。这对我们来说,危机就是机遇。”张收才的喜悦之情溢于言表。   目前,固柏橡塑已申请筹建“弹性铺装材料”国家专业委员会,目前进入公示阶段。2010年,该公司还要增加两条生产线,争取上缴税收1000万元。   自2007年初高淳县委、县政府把名牌战略作为高淳县经济发展的“三大引擎”之一以来,高淳县质监局引导企业采用国际标准、国外先进标准,帮助企业开展技术创新并参与制定国家标准。该局还利用服务中掌握的信息,搭建产品配套信息平台,向社会推荐高淳县质量过硬的名优产品。在当地质监局的大力推动下,除固柏橡塑外,红太阳、红宝丽、大地水刀、高淳陶瓷4家企业也分别牵头制定了3-甲基吡啶、吡啶、太阳能热水器用硬质聚氨酯泡沫塑料、一异丙醇胺、二异丙醇胺、超高压水切割机、蜂窝陶瓷、日用瓷器等国家标准,成为高淳的经济名片。   企业形象地比喻说:“做产品赚1分,做品牌赚1毛,做标准赚1块。”5家企业尝到了参与国家标准制定、赢得市场话语权的甜头,不少客户就冲着国家标准制定企业的名头而来,这些企业订单大增,同时也走出了价格竞争的怪圈。
  • 2GL双光子灰度光刻技术成为消除台阶效应的光学加工解决方案
    斯图加特大学的Harald Giessen课题组研究人员使用Nanoscribe的双光子灰度光刻系统Quantum X加工出了具有优异光学性能的双层透镜(下方左图)。采用非球面面型设计的透镜对聚焦效率有明显提升,并且双层透镜对比单层透镜在时场上有明显提升(下方右图)。“我们设计、打印和优化了直径为300微米的空气间隔双透镜。优化后,双透镜的顶部透镜残余形状偏差小于100纳米,底部透镜残余形状偏差小于20纳米。我们利用USCF1951分辨率测试图表检查光学性能,发现分辨率达到645线对每毫米。” ---Harald Giessen课题组在实验中,研究人员引入了传统的双光子聚合技术(2PP)与先进的双光子灰度光刻技术(2GL)之间的比较。采用双光子灰度光刻技术加工出的透镜表面无台阶结构(step free),能够带来优异的光学性能。这是由于传统的双光子聚合技术中光斑大小不能全自动进行调节,导致加工出的透镜表面存在台阶结构,而这是微光器件中不希望看到的,因此即使多次对结构进行迭代优化,始终难以有满意的结果。双层透镜在USCF 1951标准的测试中结果高达645lp/mm,其中300微米口径的透镜PV值测量结果达到100nm,研究人员认为此数值有希望到达20nm。USAF-1951是目前唯一公认的能够对光学器件进行测量和量化的标准。尽管会受到系统中的镜头、匀光器、CMOS传感器等各组件性能的影响,也会有人眼识别带来的误差,但是透镜的性能瓶颈是能够明显看出的。测试结果是该透镜的分辨率达到645lp/mm,而在网上能搜索到的商用镜头的Z高数值为200lp/mm左右。也就是说这个数值代表了打印的透镜具有优异光学性能,适用于高要求的图像采集系统和显示系统。上图为使用共聚焦显微镜测试的PV值结果。这个数值反映了透镜设计值与测量值的误差,同时要参考透镜的口径进行评价,测量过程是对双层透镜进行单独测量,上方口径较大的300微米直径的透镜PV值为100nm,下方口径为162微米的透镜PV值为20nm,一般情况下,透镜的口径越大,PV值越难控制。同时,共聚焦测试出空间均方根表面粗糙度为4nm。4nm表面粗糙度和20nm PV值,这两个数值为双层透镜的645lp/mm分辨率提供了基础保证,也证明了双光子灰度光刻技术适用于加工超高精度微光学器件。双光子灰度光刻技术优势传统的双光子聚合技术(2PP) 对比其他加工技术的优势在于加工体素的悬空,可以一步打印出不用支架支撑的具有三维复杂结构的微纳器件,如钟摆结构和倒扣结构。这种比较简单的双光子聚合技术利用均一或变化缓慢的光斑在三维空间内逐层移动将结构加工出,这种技术加工出的结构就像金字塔一样具有一个个台阶,这是因为光斑大小没有随结构形状进行快速变化而产生的。基于传统双光子聚合技术,Nanoscribe公司推出了双光子灰度光刻技术(2GL)。该技术能够将悬空的光斑以1MHz的频率进行4096级调节,软件和硬件上都实现了全自动。结合灰度技术后,由于两个值不再受Z小加工体素的限制,而是依赖于光斑的变化速率与级数,打印结构的形状精度和表面粗糙度可以得到显著提升。双光子聚合技术和双光子灰度光刻技术的对比。左图为双光子聚合技术,右图为双光子灰度光刻技术Nanoscribe公司产品应用经理Benjamin Richter分别使用传统的双光子聚合技术(下图左侧)与双光子灰度光刻技术(下图右侧)加工出一个小姑娘模型,来验证台阶效应的消除。这简直是从低分辨率升级到了4K时代。在提升精度的同时,灰度技术还可以显著提升加工速度。4096级光斑大小调节能够以一层加工出灰阶位数为12bit的结构。Nanoscribe的QX平台系列设备比PPGT2的加工速度提升了1个数量级。 PMID: 36785392 DOI: 10.1364/OE.480472详情请咨询纳糯三维科技官方网站 nanoscribe-solutions.cn联系我们 china@nanoscribe.com德国总部中国子公司Hermann-von-Helmholtz-Platz6,76344 Eggenstein-Leopolds-hafen,Germany上海徐汇区桂平路391号B座1106A+49 721 9819 800china@nanoscribe.com
  • 国产化台阶仪实现零的突破!
    台阶仪(Profiler),又名探针式表面轮廓仪,用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量,是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来,此类仪器被美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断,国内尚无厂商可提供同类产品。直到2022年6月,松山湖材料实验室精密仪器研发团队自研的台阶仪出货交付,实现了国产化台阶仪零的突破!自研的台阶仪2020年冬,实验室组织走访调研半导体行业相关企业,了解到企业进口台阶仪受到一定限制,不少企业明确提出对国产化台阶仪的需求。为了满足在当前国际竞争形势下的行业共性需求,避免关键设备被“卡脖子”的风险,精密仪器研发团队当即研讨立项,将国产化台阶仪开发提上日程。团队负责人许智指出,台阶仪的研发,需要“四个超”:超精细的运动控制,超精密位移传感,超低噪声信号采集,超高平整度零部件等关键技术。精密仪器研发团队在这些方面均有丰富的经验积累和扎实的技术储备,基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技术,项目组快速完成方案设计,并开始功能样机、工程样机的迭代开发。回望研发过程,可谓“一波三折”,研发团队感慨道。由于疫情,人员封控,物流暂停,供应商供货延期,芯片价格又逐日飙升,研发进度受阻。面对接踵而至的难题,团队加班加点攻关抢进度,终于在今年6月研发成功。订单交付当天,团队所有人都有一种难以言表的满足感。研发人员工作到深夜,调试样机精密仪器研发团队台阶仪项目组至此,国产化台阶仪迈出了里程碑式的一步。科技创新的重要性不言而喻,用于科技创新的仪器设备同样重要,团队负责人许智谈到,关键测量仪器设备实现国产化,最关键之处就在于实现了自主可控。据了解,现已交付的台阶仪可满足企业实际使用的指标要求,且对比同类进口设备,成本降低了约30%。项目组研制了三种不同测试需求的型号,可供客户根据需要选择相应配置,并配套自研软件实时显示测量图表数据。目前,团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈合作中。精密仪器研发团队松山湖材料实验室精密仪器研发团队以自主知识产权的技术为核心,开展精密科研仪器和工业自动化设备的产业转化。桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产。等离子体化学气相沉积系统、扫描隧道显微镜系统等产品达到国际一流、国内领先水平。团队产业化公司东莞市卓聚科技2020年落户松山湖国际创新创业社区,销售额当年破百万元,2021年销售额超千万元。在松山湖材料实验室的支持下,精密仪器研发团队以国家战略为导向,以市场需求为目标,力争成为有担当、有作为的尖端仪器产业化队伍。

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