冷场电镜能谱仪检测

仪器信息网讯 11月下旬，第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区决赛在安徽合肥中安创谷全球路演中心拉开帷幕。其中，由科大硅谷招引落地企业合肥国镜仪器科技有限公司（冷场发射扫描电镜项目）在华东赛区总决赛中荣获佳绩，成功入围2024年5月份的全球总决赛。比赛现场，来自高校院所、投资机构、领军企业的9位专家受邀担任评委。经过评委专家的细致点评、公正赋分，最终，12家硬科技企业脱颖而出，成功入围第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区十二强。据悉，11月份，合肥国镜仪器科技有限公司也参加了由合肥物联网科技产业服务管理中心等主办的“Tech 7创新者项目路演（第6期）”活动，在活动中，新型台式场发射扫描电子显微镜项目总经理方小伟指出，SEM广泛应用于科学研究、工业开发、（第三方）检测等领域。国内市场规模约50亿，国外品牌占据90%市场份额，国内品牌目前聚集在低端产品部分。随着国内科研和产业水平升级，市场规模呈现快速增长状态，总规模预期数年内达百亿以上。电子枪是SEM的信号源，是SEM的核心部件，电子发射技术是SEM的核心技术，对设备性能有决定影响，SEM设备的代际一般用电子发射技术的代际来区分。技术每提升一代，性能将提升十倍。目前国产电镜技术水平主要停留在第一代热发射，第二代热场发射技术国外占据绝对优势，第三代冷场发射技术被国外垄断（日立），第四代纳米线冷场发射电镜则具有亮度高、单色性好、体积小巧、高性价比易维护等多项优势。关于国镜仪器据公开信息，合肥国镜仪器科技有限公司于2023年10月12日注册成立，企业法人为方小伟。经营范围包括：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；工程和技术研究和试验发展；新材料技术研发；仪器仪表制造；智能仪器仪表制造；电子测量仪器制造（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）等。关于科大硅谷“科大硅谷”是聚焦创新成果转化、创新企业孵化、创新生态优化，以中国科学技术大学等高校院所全球校友为纽带，汇聚世界创新力量，发挥科技体制创新引领作用，立足合肥城市区域新空间打造的科技创新策源地、新兴产业聚集地示范工程。到2025年，汇聚中国科大和国内外高校院所校友等各类优秀人才超10万名；形成多层次基金体系，基金规模超2000亿元；集聚科技型企业、新型研发机构、科创服务机构等超1万家，培育高新技术企业1000家，上市公司和独角兽企业50家以上；形成一批可复制可推广的制度成果，成为全国科技体制创新的标杆。

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的EELS分析，可进行表面等离子共振（Surface Plasmon resonance)等近代物理研究； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

2020年02月14日，日本电子（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2（GRAND ARM™ 2），该电子显微镜将于2020年2月发布。■ 主要特点1 超高空间分辨率与能谱分析的组合优化。新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：1）提高了能谱分析效率到两倍以上。2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。（保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm）**在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时2 用于物镜的超宽极靴（WGP）能谱分析灵敏度超高，原位扩展极强。1）WGP极靴的能谱固体角为2.2 sr。2）WGP极靴宽度可达6mm，更方便进行各种类型的原位实验。3 JEOL开发的12极子球差（Cs）校正器和自动校正软件。1）FHP2极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。2）WGP极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。3）JEOL COSMO™ （自动校正软件）使快速，轻松执行像差校正成为可能。4 新式冷场发射枪（Cold-FEG）。GRAND ARM™ 2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。稳定性更好。5 减轻外部干扰的外壳这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。■ 主要规格保证分辨率HAADF-STEM图像：53pm（带ETA校正器和FHP2）电子枪：冷场发射枪（Cold-FEG）加速电压标准：300kV和80kV能量色散X射线光谱仪大面积SDD（158mm 2）：可以使用双探测器创新点：1）更稳定的得到冷场发射电子枪； 2）更高级的自动球差校正软件 3）更高效的能谱分析功能 冷场发射12极子球差校正透射电镜