压电式切削力测试仪的工作原理

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压电式切削力测试仪的工作原理相关的仪器

  • 创削器内窥镜手术设备机械特性测试仪用途创削器内窥镜手术设备机械特性测试仪主要用于测试和评估创削器内窥镜手术设备的机械特性。这些特性包括切削力、切削速度、切削稳定性、切削精度等。通过测试仪器,可以对创削器内窥镜手术设备的性能进行全面评估,确保其在手术过程中的稳定性和精准性。同时,测试仪还可以帮助医疗机构进行设备的质量控制和监测,确保手术设备的正常运行和安全性。执行标准YYT0955-2014测量范围:转速、扭力、吸引通道、液体体积的容器技术参数控制系统:PLC 操作界面:彩色10寸触摸屏,中英文切换;高速电机驱动转速:0-4000转/分钟;曲线图:PLC+Windows系统嵌入式工业电脑;测量项目:空载转速测试,空载往复频率测试 ,转速测试 扭矩测试,液体体积测试,吸引通道畅通性测试,负载特性测试,吸引器负压测试等:速度范围:0-4000r/mim 扭矩范围:0-1.5N.M可选择其他量程;负压传感器范围:-100至100kpa;精度0.5%可选择更高精度0.1%;设备附带真空泵1套采样频率:测试仪进行数据采集的频率,通常以赫兹(Hz)表示。数据存储容量:测试仪能够存储的数据容量,通常以字节或其它适当的单位表示。数据输出方式:测试仪将测量数据输出的方式,如USB接口、RS232接口、无线传输等。电源要求:220V,30A,50hz;外形尺寸大约:1320*720*1050 MM
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  • 概述压电式雨量传感器对单个雨滴重量进行测算,进而计算降雨量。雨滴在降落过程中受到雨滴重量和空气阻力的作用,到达地面时速度为恒定速度,根据P=mv,测量冲击即可求出雨滴重量,进而得到持续降雨量。压电式雨量传感器无机械配件,因此它比其他技术的雨量计更为坚固耐用,敏感和可靠。基本参数:型号WXA100-ZRG尺寸86mm *110mm重量0.5kg供电电压12...24VDC工作温度-40…+85℃工作湿度0…100%RH功耗8...15mA at 12VDC输出方式RS232/RS485连接方式航空插头电缆长度3M(可定制)技术参数:名称参数供电电压12-24VDC测量范围0-500mm输出OC输出(内部带上拉)。RS232或RS485输出工作温度-40°C - +80°C分辨率0.01mm精度<±4%产品特点:1.可全天候工作,不受暴雨、冰雪、霜冻天气的影响2.测量精度高,性能稳定3.结构紧凑美观,安装拆卸方便4.采用全金属外观,抗干扰能、抗腐蚀、抗电磁辐射能力强5.提供RS232/RS485两种接口,用户可根据实际情况选择使用6.免维护,不需现场校准7.每台设备每个气象参数出厂前均经过标准标定。应用领域:1.交通道路监测 2.水利综合监测3.城市环境监测 4.气象在线监测5.应急气象监测 6.风力发电 7.桥梁隧道 8.航海船舶
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  • 1. 概述压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力,压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号(压电晶体的正压电效应)。压电式加速度传感器具有结构简单、敏感件无源、无活动部件、刚度大、动态范围宽、频响宽、工作可靠、安装方便等一系列优点,目前已成为冲击振动测量技术中使用广泛的一种传感器。是被最为广泛使用的振动测量传感器压电式加速度传感器。FH131A20是一种内置了IEPE电路的低频高灵敏度压电式加速度计;它通过通过装在传感器内部的前置放大器将电荷型压电传感器输出的电荷转换成低阻抗的电压输出。IEPE 型传感器通常为二线输出形式,即采用恒流源供电;供电和信号使用同一根线。通常直流电部分在恒电流电源的输出端通过高通滤波器滤去。IEPE 型传感器的最大优点是测量信号质量好、噪声小、抗外界干扰能力强和远距离测量,特别是新型的数采系统很多已配备恒流源,因此,IEPE 传感器能与数采系统直接相连而不需要任何其它二次仪表。在振动测试中IEPE 传感器已逐渐取代传统的电荷输出型压电加速度计。FH131A20具有灵敏度高、刚度大、频响下限低等特点,广泛应用与航天、航空、交通、建筑、桥梁、工业监测、科研教学、计量等领域的振动冲击测量;特别适用于桥梁结构试验、建筑振动监测、地震检测、地面和基础振动监测等低震级、极低频振动领域。2. 技术指标 2.1. 测量范围 :±0.25g(5%ms-2)2.2. 参考灵敏度: 20V/g(40Hz,1ms-2条件下)2.3. 最大横向灵敏度比: <5%2.4. 频响特性:0.05 ~ 200HZ (<±10%)2.5. 自振频率:1.5kHz 2.6. 极性:正向(加速度方向从底部指向传感器)2.7. 激励电压:+18 ~ +28VDC 2.8. 激励电流:2 ~10 mA (恒流源)2.9. 偏置电压: 9-12VDC2.10. 动态范围: ±5Vp2.11. 输出电阻:<100Ω2.12. 噪 声:<3μVrms2.13. 分 辨 率:<0.0000005mg2.14. 工作温度:-40℃~120℃2.15. 冲击极限: ±50g(不供电)2.16. 敏感结构:剪切2.17. 外壳材料:不锈钢;2.18. 敏 感 件:PZT-52.19. 安装螺纹: M52.20. 质 量:约820g2.21. 输出方式: 顶端BNC2.22. 体 积:φ55x58
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压电式切削力测试仪的工作原理相关的方案

压电式切削力测试仪的工作原理相关的论坛

  • 压电式显微操作仪优势及详细参数说明

    [url=http://www.f-lab.cn/micromanipulators/piezo.html][b]压电式显微操作仪[/b][/url]UT2000特别为细胞膜穿透而设计,是电生理学领域的理想[b]显微操作仪器[/b], 德国设计制造,是超高精度压电式显微操作器。[b]压电式显微操作仪[/b]把微注射器安装到我们电动显微操作仪DC-3K联合使用,这种压电器件与电动显微操作仪的结合,充分融合了二者的优势,使之成为一套完美的压电式显微操作仪器。采用了超高精度的压电技术和压电器件,可以实现轴向运动,从而保证在高速穿透下实现无振动注射,即使在最大步进20微米情况下,毛细管尖处测得与理想轴线的侧向偏差仅仅为1微米,这种压电技术带来的高精度确保了细胞内微注射的成功实现[img=压电式显微操作仪]http://www.f-lab.cn/Upload/piezo.jpg[/img][b][url=http://www.f-lab.cn/micromanipulators/piezo.html][b]压电式显微操作仪[/b][/url]参数[/b]步进长度:0.5-10微米可调步进速度:0-150um/s连续速度可调[b] [/b]压电前进速度:1-100mm/s可调轴向偏离:+/-2.5%输入输出: 5V TTL尺寸:190x47x138mm重量:180g, 控制器:1KG更多压电式显微操作仪请浏览官网:[url]http://www.f-lab.cn/micromanipulators.html[/url]

  • 压电压力传感器原理与应用

    压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种天然晶体,压电效应就是在这种晶体中发现的,在一定的温度范围之内,压电性质一直存在,但温度超过这个范围之后,压电性质完全消失(这个高温就是所谓的“居里点”)。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低),所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数,但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应用。磷酸二氢胺属于人造晶体,能够承受高温和相当高的湿度,所以已经得到了广泛的应用。   现在压电效应也应用在多晶体上,比如现在的压电陶瓷,包括钛酸钡压电陶瓷、PZT、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等。  压电效应是压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。   压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用,特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业,例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力,也可以用来测量微小的压力。  压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广泛。

  • 推拉力测试仪工作原理

    推拉力测试仪分为两种,一种是数显式推拉力测试仪,另外一种是指针式推拉力计  推拉力计是由一个高精度的应变片式传感器及一个集成电路组成  当力作用与传感器时,传感器会发生形变,从而使阻抗发生变化,同时使激励电压发生变化,输出一个变化的模拟信号。该信号经放大电路放大输出到模数转换器,转换成便于处理的数字信号输出到CPU运算控制,CPU根据键盘的命令以及程序设定将这种结果输出到显示器,直至显示这种结果。  以推拉力计的工作原理是根据:胡克定律F=kx。写作: F=k.x  其中:“F”,表现弹簧的弹力,而弹力是弹簧产生形变时对施力物的作用力。  “x”,是弹簧伸长或缩短的长度,注意“x”是以弹簧没有形变时的长度为基准,即x=x'-x0或x=x0-x'。  “k”,叫弹簧的劲度系数,它描写单位形变量时所发生弹力的大小,k值大,阐明形变单位长时须要的力大,或者说弹簧“硬”.k跟弹簧资料,是非,粗细等都有关系。k的国际单位是牛/米。  假如将几个相同的数显推拉力测试仪串联或并联起来后,这个新的弹簧的劲度系数不再是本来的劲度系数.设两个劲度系数都是k的弹簧串联后的劲度系数为k1,则有F=k1·x,由于a点的弹力也为F,所以对弹簧1可写两个劲度系数都是k原长雷同的弹簧并联时的劲度系数为k2,则有F=k2·x 数变小,并联后的变大。  数显推拉力测试仪,他用数显方法显示丈量到的力,读数就比弹簧机械式要方便我多了  1.即使是在垂直向上拉,而且是静止的情况下,弹簧测力计的拉力与重力大小是相等的,然而,弹簧的拉力的方向确与重力的方向相反,而力是矢量单位,是有方向性的,所以弹2簧的拉力就是重力的说法不对。  2.假如在垂直方向上,用弹簧测力计拉侧重物向上做加速活动时,推拉力计弹簧测力计的拉力大小大于重物的重力。  3.其它情形略。

压电式切削力测试仪的工作原理相关的耗材

  • 压电式显微操作仪
    压电式显微操作仪,显微操作仪由中国领先的进口精密仪器和实验室仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售!孚光精仪精通光学,服务科学,欢迎垂询!压电式显微操作仪特别为细胞膜穿透而设计压电式显微操作仪是电生理学领域的理想工具,显微操作仪德国设计制造压电式显微操作仪具有全球最佳精度压电式显微操作器.显微操作仪在设计上具有特色,它是把微注射器安装到我们电动显微操作仪DC-3K联合使用压电式显微操作仪采用了超高精度的压电技术和压电器件,可以实现轴向运动,从而保证在高速穿透下实现无振动注射,即使在最大步进20微米情况下,毛细管尖处测得与理想轴线的侧向偏差仅仅为1微米压电式显微操作仪压电技术带来的高精度确保了细胞内微注射的成功实现压电式显微操作仪技术参数显微操作仪步进长度:0.5-10微米可调压电式显微操作仪步进速度:0-150um/s连续速度可调显微操作仪压电前进速度:1-100mm/s可调压电式显微操作仪轴向偏离:+/-2.5%显微操作仪输入输出: 5V TTL压电式显微操作仪尺寸:190x47x138mm显微操作仪重量:180g, 控制器:1KG压电式显微操作仪和欧洲进口的显微操作仪,特别为细胞膜穿透而设计,是电生理学领域的理想工具,德国设计制造,具有全球最佳精度操作器.
  • 压电式显微操作仪配件
    压电式显微操作仪配件特别为细胞膜穿透而设计,是电生理学领域的理想工具, 德国设计制造,具有全球最佳精度仪器。压电式显微操作仪配件特点在设计上具有特色,它是把微注射器安装到我们电动显微操作仪DC-3K联合使用,这种压电器件与电动显微操作仪的结合,充分融合了二者的优势,使之成为一套完美的压电式显微操作仪。采用了超高精度的压电技术和压电器件,可以实现轴向运动,从而保证在高速穿透下实现无振动注射,即使在最大步进20微米情况下,毛细管尖处测得与理想轴线的侧向偏差仅仅为1微米,这种压电技术带来的高精度确保了细胞内微注射的成功实现压电式显微操作仪配件参数步进长度:0.5-10微米可调步进速度:0-150um/s连续速度可调 压电前进速度:1-100mm/s可调轴向偏离:+/-2.5%输入输出: 5V TTL尺寸:190x47x138mm重量:180g, 控制器:1KG孚光精仪是全球领先的进口科学仪器和实验室仪器领导品牌服务商,产品技术和性能保持全球领先,拥有包括显微操纵器,电动显微操纵器,微操纵器在内的全球最为齐全的实验室和科学仪器品类,世界一流的生产工厂和极为苛刻严谨的质量控制体系,确保每个一产品是用户满意的完美产品。我们海外工厂拥有超过3000种仪器的大型现代化仓库,可在下单后12小时内从国外直接空运发货,我们位于天津保税区的进口公司众邦企业(天津)国际贸易公司为客户提供全球零延误的进口通关服务。更多关于压电式显微操作仪价格,压电式显微操作仪参数等诸多信息,孚光精仪会在第一时间更新并呈现出来,了解更多内容请关注孚光精仪官方网站方便获取!
  • 亚硝酸盐测试纸食品水质切削液均可使用
    亚硝酸盐测试纸食品水质切削液均可使用 德国MN水质快速检测亚硝酸盐测测试纸食品水质切削液均可使用,测试方法简单,携带方便、检测结果准确,是废水分析的理想产品,深圳市方源仪器有限公司自主研发的水质检测亚硝酸盐测试盒也和该产品同样适用于:农业、水产养殖业、酿酒业、化工行业、饮用水、电镀行业、食品饮料行业、工业废水处理、金属加工业、城镇污水处理、照相行业以及地表水和海水等行业中亚硝酸盐的测试。 产品配置:装有液体试剂或粉末状试剂的彩色编码管用于精确量取固体试剂的测量勺至少8种颜色的比色卡 2支直径20毫米的螺纹口测量试管试管固定器标有5ml刻度的塑料注射器 产品规格参数:订货型号:931044测试类型:VISOCOLOR ? ECO 水质检测单位刻度:00.020.030.050.070.10.20.30.5 mg/l NO2-测试次数:120次保质期:1.5年海水分析:适用适用仪器:德国MN便携式数显高精度水质分析检测仪PF-12 相关产品 VISOCOLOR? ECO比色测试盒 VISOCOLOR? alpha比色测试盒 方源仪器热销铵测试盒 铵根离子分析试剂 铵快速检测工具盒 铵测试盒 多参数水质应急检测箱水质应急检测箱 水质应急测试纸 专用镍快速测试盒 快速总硬度测试盒 半定量总氯测试盒自来水余氯测试盒 泳池专用余氯测试盒 银快速测试盒 快速亚硝酸盐测试盒 特价亚硫酸盐测试盒 方源铜离子测试盒 铜补充测试盒 铁快速测试盒 快速砷测试盒软水硬度测试盒 溶解氧测试盒 偏硅酸测试盒 快速铍测试盒 尿素测试盒热销猛测试盒 氯离子测试盒 水质铝测试盒 六价铬测试盒 liu化物测试盒 磷酸盐测试盒方源总硬度测试盒 快速余氯测试盒 快速亚硝酸盐测试盒 快速铜测试盒 快速镍测试盒快速碱度测试盒 半定量碱度测试盒 快速甲醛测试盒 硅酸盐测试盒 方源水质氟测试盒 水质二氧化氯测试盒 臭氧测试盒批发 臭氧快速检测试纸 氨氮快速测试盒 快速亚硫酸盐试纸亚硫酸盐测试盒 总硬度测试盒 水硬度快速测试盒 快速亚硫酸盐测试盒 电镀废水铜测试盒方源亚硝酸盐测试盒 磷酸盐快速测试盒 氨氮快速测试盒 过氧化氢浓度快速检测 水质应急检测箱磷酸盐快速测试盒 德国MN快速测试盒 线路板铜测试盒 六价铬快速测试盒 硝酸根测试盒硝酸盐快速测试盒 快速qing化物测试盒 废水qing化物测试盒 镍快速测试盒 铜离子快速测试盒比色法测试盒 比色测试盒 VISOCOLOR HE测试盒 锌测试盒 氨氮测试盒 六价铬测试盒磷酸盐测试盒 铬离子测试盒 余氯测试盒 亚硝酸盐测试盒 qing化物测试盒 镍测试盒铜测试盒 水硬度快速测试盒 余氯快速测试盒 氯化物测试盒 砷快速测试盒 铝快速测试盒 中国代理商:深圳市方源仪器有限公司

压电式切削力测试仪的工作原理相关的资料

压电式切削力测试仪的工作原理相关的资讯

  • 不锈钢分析仪加工用麻花钻切削刃参数的改进
    针对不锈钢材料钻削加工所用标准麻花钻的几何参数的不适应性,以及不锈钢材质钻削加工的特点,主要提出以下几项不锈钢分析仪器改进措施:(1)增大两条主切削刃的外刃锋角。因为不锈钢的线膨胀系数较大,孔容易收缩。因此,外刃锋角应磨大一些,一般为135° ~140° ,适当加大锋角,有利于排屑,还有利于提高钻头耐用度。同时,磨出圆弧刃并增大该处的前角。这样,不锈钢检测仪器减小了切削力和切削时的振动,减少了切屑的变形。(2)修磨棱边。标准麻花钻的副后角为0° ,为减少棱边与工件孔壁间的摩擦,可将钻头的两条棱边磨出6° ~8° 的副后角,并留出宽度为0.1~0.2 mm左右的窄棱边。经过生产实践检验,钻头经过这种方法修磨后,耐用度可提高一倍左右。(3)修磨主、副切削刃相交处。加工不锈钢时,可将主切削刃外缘处的前刀面磨去一部分,以减小该处的前角,不锈钢元素分析仪保证了足够的强度及改善了散热条件。(4)磨出分屑槽。由于两条主切削刃较长,排屑不畅,而且不易断屑,故沿钻头的一条主切削刃后刀面上磨出数条(一般为两条)错开的分屑槽,有利于排屑和断屑,以及切削液的注入,改善切削条件。(5)修磨横刃。横刃在切削过程中,起着极为不利的作用,因此修磨横刃成为改善麻花钻切削性能的主要措施。同时磨短横刃及加大前角。经这种方法修磨的钻头,不仅分屑好,还能保持一定的强度,可以加大进给量。不锈钢化验仪器经过生产实践的检验,通过对标准麻花钻作上述几何参数的改进,在切屑不锈钢时,轴向力可降低约40%,钻头的耐用度可提高3~4倍,同时,被加工孔的表面质量也有所改善,提高了生产效率。南京第四分析仪器制造有限公司技术部发布http://www.nsfcn.com
  • 注射针尖穿刺力测试仪----原理与应用解析
    注射针尖穿刺力测试仪在制药与包装行业中,注射针尖作为药物传递的直接媒介,其性能的稳定与安全性直接关系到患者的健康与安全。随着医疗技术的不断进步和药品包装的多样化发展,注射针尖在各类薄膜、复合膜、电池隔膜、人造皮肤乃至药品包装用胶塞、组合盖、口服液盖等材料的穿刺应用日益广泛。这些材料不仅需要具备良好的阻隔性以保护药品免受外界污染,还需在针尖穿刺时展现适宜的力学特性,以确保药物输送的顺畅与安全。注射针尖在制药包装行业的应用概述在制药过程中,注射针尖常被用于穿透药品包装材料,以实现药物的精准注入或抽取。无论是液体药品的密封瓶、预充式注射器,还是复杂的医疗装置,都离不开注射针尖的高效与准确。同时,随着环保和可持续性理念的深入人心,制药包装材料正逐步向轻量化、可降解方向发展,这对注射针尖的穿刺性能提出了更高的要求。为何需要注射针尖穿刺力测试仪鉴于注射针尖在制药包装中的核心作用,其穿刺性能的优劣直接影响到产品的使用体验和药品的安全性。因此,对注射针尖在不同材料上的穿刺力进行测试显得尤为重要。注射针尖穿刺力测试仪应运而生,它专为评估针尖在穿透各种材料时所需的力值及拔出时的阻力而设计,能够有效帮助制造商、质检机构及研究人员评估材料的适用性,优化产品设计,确保产品质量。广泛应用领域注射针尖穿刺力测试仪广泛应用于质检中心、药检中心、包装厂、药厂、食品厂等多个领域,成为保障产品安全与质量的重要工具。通过精确测量不同材料在穿刺过程中的力值变化与位移情况,可以深入了解材料的物理特性,为材料选择、工艺改进及质量控制提供科学依据。测试原理详解注射针尖穿刺力测试仪的测试原理基于力学原理与精密测量技术。测试时,首先将待测样品装夹在仪器的两个夹头之间,通过精确控制两夹头的相对运动,使标准要求的穿刺针以设定速度刺入样品。在穿刺过程中,仪器会实时记录并显示穿刺力及拔出力的变化曲线,同时监测针尖的位移情况。这些数据不仅反映了材料对针尖的抵抗能力,还能揭示材料内部的力学结构特性,为材料性能评估提供全面而准确的信息。
  • 专家约稿|压电力显微术的基本技术原理与使用注意事项
    原子力显微术(AFM)作为一种表征手段,已成功应用于研究各个领域的表面结构和性质。随着人们对多功能和更高精度的需求,原子力显微技术得到了快速发展。目前,原子力显微镜针对不同的研究对象,搭配特定的应用功能模块可以研究材料的力学、电学以及磁学等特性。其中压电力显微术(PFM)已被广泛应用于研究压电材料中的压电性和铁电性。1. 压电材料与铁电材料压电材料具有压电效应,从宏观角度来看,是机械能与电能的相互转换的实现。当对压电材料施加外力时,内部产生极化现象,表面两侧表现出相反的电荷,此过程将机械能转化为电能,为正压电效应。与之相反,若给压电材料的施加电场,材料会产生膨胀或收缩的形变,此过程将电能转化为机械能,为逆压电效应。铁电材料同时具备铁电性和压电性。铁电性指在一定温度范围内材料会产生自发极化。铁电体晶格中的正负电荷中心不重合,没有外加电场时也具有电偶极矩,并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向。并非所有的压电材料都具有铁电性,例如压电薄膜 ZnO。压电铁电材料广泛应用于压电制动器、压电传感器系统等各个领域,与我们的生活息息相关,还应用于具有原子分辨率的科学仪器技术,例如在原子力显微镜中扫描的精度在很大程度上取决于内部压电陶瓷管扫描器的性能。2. PFM工作原理原子力显微镜是一种表面表征工具,通过检测针尖与样品间不同的相互作用力来研究样品表面的不同结构和性质。针尖由悬臂固定,激光打在悬臂的背面反射到位置敏感光电二极管上,由于针尖样品间作用力发生变化会使悬臂产生相应的形变,激光光束的位置会有所偏移,通过检测光斑的变化可获得样品的表面形貌信息。 图1 压电力显微术工作原理PFM测量中导电针尖与样品表面接触,样品需提前转移到导电衬底上,施加电压时可在针尖在样品间形成垂直电场。为检测样品的压电响应,在两者之间施加AC交流电场,由于逆压电效应,样品会出现周期性的形变。当施加电场与样品的极化方向相同时,样品会产生膨胀,反之,当施加电场与样品的极化方向相反时,样品会收缩。由于样品与针尖接触,悬臂会随着样品表面周期性振荡发生形变,悬臂挠度的变化量与样品电畴的膨胀或收缩量直接相关,被AFM锁相放大器提取,获得样品的压电响应信号。3. PFM的测量模式图2 压电力显微术的三种测量模式PFM目前有三种测量模式,分别为常规的压电力显微术、接触共振压电力显微术和双频共振追踪压电力显微术。常规的压电力显微术在测量过程中针尖的振动频率远小于其自由共振频率,将其称为Off-resonance PFM。这种模式得到的压电信号通常较小,一般需要施加更高的电压,通常薄层材料的矫顽场较小,有可能会改变样品本身的极性,不利于薄层材料压电响应的测量,存在一定的局限性。此时获得的振幅值正比于压电系数,利用针尖的灵敏度可直接将振幅得到的PFM 信号转换为样品的表面位移信息,获得材料的压电系数。接触共振的压电力显微术测量称其为contact-resonance PFM,可以有效放大信号,针尖的振动频率为针尖与样品接触时的接触共振频率,一般是针尖自由共振频率的3-5倍。此时无需施加很高的外场就能得到较强的PFM信号,不会改变样品的极化方向。此时测得 PFM 压电响应信号比常规FPM测量的响应信号幅值放大了 Q 倍(Q为共振峰品质因子),计算压电系数时需考虑放大的倍数。但此技术也存在一定的局限性,针尖的接触共振频率是在某一位置获得的,接触共振频率取决于此位置的局部刚度。在扫描的过程中,针尖与样品之间的接触面积会发生变化,引起接触共振频率的变化,若以单一的接触共振频率为针尖的振动频率会使得信号不稳定,测得的振幅信号在共振频率处放大,其余地方信号较弱,极大的影响压电系数的定量分析,得到与理论值不符的压电系数。与此同时PFM信号易与形貌信号耦合,产生串扰。双频共振追踪压电力显微术(DART-PFM)可以有效避免压电信号与形貌的串扰。在这项技术中,通过两个锁相放大器分别给针尖施加在接触共振峰两侧同一振幅位置的频率,当接触共振频率变化时,振幅会随之变化,锁相放大器中的反馈系统会通过调节激励频率消除振幅的变化,由此获得清晰的形貌和压电信号。此时在量化压电系数时需要额外的校准步骤确定振幅转化为距离单位的值,目前一般是通过三维简谐振动模型去校准修订得到压电材料的压电系数。 4. PFM的表征与应用PFM测量中可获得样品的振幅和相位图。图中相位的对比度反映样品相对于垂直电场的极化方向,振幅信息显示极化的大小以及畴壁的位置。一般来说,材料的压电响应是矢量,具有三维空间分布,可分为平行和垂直于施加外场的两个分量。图3 BFO样品的PFM表征图[1]若样品只存在与电场方向平行的极化响应,PFM所获得的振幅和相位信息可直接反映样品形变的大小和方向,若样品畴极化方向与外加电场相同,相位φ=0;若样品畴极化方向与外加电场相反,则相位φ=180°。此时垂直方向的压电响应常数可直接由获得的振幅与施加的外场计算出来,在共振频率下可以定量测量。值得说明的是,PFM获得的压电响应常数很难与块体材料相比较,因为样品在纳米尺度的性质会与块体材料有显著的不同。若样品具有平行和垂直于电场的压电响应,在施加电场时,样品的形变出现面内和面外两个方向。利用Vector PFM可以同时获得悬臂的垂直和横向位移,可以将得到的信号矢量叠加,获得样品的三维PFM图像。压电力显微术不仅可以成像,还能用于研究铁电材料的电滞回线,并且可以对铁电材料进行写畴。铁电材料的相位和振幅与施加的电压呈函数关系,测得的电滞回线和蝴蝶曲线可以用于判断铁电材料的矫顽场,矫顽场是铁电材料发生畴极化反转时的外加电压。一般的电滞回线的获取需要施加大于±10V的直流偏压,但值得注意的是较高的直流电压会增加针尖与样品间的静电力贡献,静电力信号有可能超过压电响应信号,从而掩盖畴极化反转信号。图4 SS-PFM的工作原理图开关谱学压电力显微术(SS-PFM)可以有效减小静电力的影响,原理如图4所示与普通PFM在测量电滞回线时线性施加DC电压的方式不同,SS-PFM将DC电压以脉冲的形式初步增加或减小,每隔一定的时间开启和关闭DC电压,并且持续施加AC交流电。其中DC用于改变样品的极化,AC交流电用于记录DC电压接通和关闭时的压电信号。图为研究二维异质材料MoS2/WS2压电性能时利用SS-PFM测得的材料特性曲线。 图5 二维异质材料MoS2/WS2的材料特性曲线[2]铁电材料与普通压电材料最大不同是在没有外加电场时也具有电偶极矩,并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向,因此可利用是否能够写畴来区分铁电材料。知道压电材料的矫顽场之后可以对样品进行局部极化样品进行写畴,畴区可以自定义,正方形、周期阵列型或者更加复杂的图案。最简单的写畴是先选择一10×10μm正方形区域,其中6×6μm区域施加正偏压,4×4μ区域施加负偏压,获得回字形写畴区域,在相位图中可以清晰的看到所写畴区。图6 Si掺杂HfO2样品的回字形写畴区域[3]5. 注意事项在PFM测量中首先要保证在样品处于电场之中,在样品的前期准备时需将样品转移至导电衬底,并确定针尖和放置样品的底座可以施加电信号,此时才能保证施加电压时在针尖在样品间具有垂直电场。在PFM测量中静电效应的影响也不容忽略,导电针尖电压的电荷注入可诱导静电效应并影响材料的压电响应,导致PFM振幅和相位信息与特性曲线失真。尽管静电效应在 PFM 测试中无可避免,但可以使用弹簧常数较大的探针或者施加直流偏压来尽量减小其中的静电影响。此外针尖的磨损也会极大的影响PFM测量。由于针尖与样品间相互接触,加载力不宜过高,过高会损坏样品表面,保持恒定适中的加载力。此外使用较软的针尖在扫描过程中可以保护针尖不受磨损,并且保护样品。PFM测量中常用的针尖为PtSi涂层的导电针尖,以获得较稳定的PFM信号。参考文献[1] HERMES I M, STOMP R. Stabilizing the piezoresponse for accurate and crosstalk-free ferroelectric domain characterization via dual frequency resonance tracking, F, 2020 [C].[2] LV JIN W. Ferroelectricity in untwisted heterobilayers of transition metal dichalcogenides [J]. Science (New York, NY), 2022, 376: 973-8.[3] MARTIN D, MüLLER J, SCHENK T, et al. Ferroelectricity in Si-doped HfO2 revealed: a binary lead-free ferroelectric [J]. Adv Mater, 2014, 26(48): 8198-202.作者简介米烁:中国人民大学物理学系在读博士研究生,专业为凝聚态物理,主要研究方向为低维功能材料的原子力探针显微学研究。程志海:中国人民大学物理学系教授,博士生导师。2007年,在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室,获凝聚态物理博士学位。2011年-2017年,在国家纳米科学中心纳米标准与检测重点实验室,任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”和首届“卓越青年科学家”、卢嘉锡青年人才奖等。目前,主要工作集中在先进原子力探针显微技术及其在低维量子材料与表界面物理等领域的应用基础研究。

压电式切削力测试仪的工作原理相关的试剂

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