大样品仓扫描电镜

p　　strong仪器信息网讯/strong 2019年4月3日，日立高新技术公司(TSE：8036，日立高新技术)正式推出中型扫描电镜“SU3800”与大型扫描电镜“SU3900”。——搭载多功能超大样品仓，进一步提高操作性能。上述机型在支持超大/超重样品测试的同时，还通过自动化操作和大视野相机导航功能，大幅提升了操作性能。/pp style="text-align: center "img style="width: 300px height: 298px " title="1.jpg" border="0" alt="1.jpg" vspace="0" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/d2d88ae8-f0a7-4278-a50f-9faffbdb6396.jpg" width="300" height="298"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "SU3800/span/pp style="text-align: center "img style="width: 350px height: 314px " title="2.jpg" border="0" alt="2.jpg" vspace="0" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/c512de41-3f6e-4a95-aa4c-8cd6098e54ea.jpg" width="350" height="314"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "/span /pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "SU3900/span/ppspan style="color: rgb(0, 176, 240) "　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【产品背景】/strong/span/span/pp　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。/pp　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。/pp　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，strong可选配最大直径300mm sup*1/sup、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍sup*2/sup)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察/strong。/pp　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。/pp　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野sup*3/sup。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。/pp　　另外，日立高新技术预计于4月29日(星期一)至5月1日(星期三)在美国(克利夫兰)举办的“CeramicsExpo ”及5月7日(星期二)至5月10日(星期五)在德国(斯图加特)举办的“33rd　Control ”以及9月4日(星期三)至9月6日(星期五)在日本(幕张展览馆)举办的展览会上进行实机展示。/pp　　作为最先进、最前沿的事业创新型企业，日立高新技术集团以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标，始终从客户立场出发，快速满足客户和市场需求。/pp　　span style="color: rgb(127, 127, 127) "i*1 直径为300mm的样品台，与前代机型“S-3700N”一样/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*2 指与前代机型 “S-3700N”的比较。但比较的内容仅限于样品台平面移动时的限制重量/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*3 寻找视野：指测量开始时，确认当前测量样品位置的操作/i/span/pp　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【主要特点】/strong/span/pp　　strong(1) 支持超大/超重样品测试/strong/pp　　可搭载的最大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最大直径300mm样品的样品仓，可应对最大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍sup*2/sup)的样品/pp　　strong(2) 支持大视野观察/strong/pp　　■“SU3800”与“SU3900”的最大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm/pp　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野/pp　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像/pp　　strong(3) 通过自动化功能提高操作性能/strong/pp　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型sup*4/sup缩短了三分之一以下/pp　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝sup*5/sup的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。/pp　　span style="color: rgb(127, 127, 127) "i*4. 指与前代机型 “S-3700N”的比较。/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*5. 钨灯丝：在真空中，通电加热后产生热电子的钨灯丝作为电子源的核心部件，起到光源作用。/i/span/pp　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【主要规格】/strong/span/ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="567" align="center"tbodytr class="firstRow"td style="background: rgb(191, 191, 191) padding: 0px 7px border: 1px solid windowtext " valign="middle" width="168" align="center"strong主要参数/strong/tdtd style="background: rgb(191, 191, 191) border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px " valign="middle" width="199" align="center"strongSU3800/strong/tdtd style="background: rgb(191, 191, 191) border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px " valign="middle" width="199" align="center"strongSU3900/strong/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"p style="text-align: justify text-justify: inter-ideograph "span style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "二次电子像分辨率/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="399" colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "3.0nm/span　span style="font-family: "(/spanspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速电压：/spanspan style="font-family: "30kV、/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "高真空模式/spanspan style="color: black font-family: ")/span/ppspan style="font-family: "15.0nm/span　span style="font-family: "(/spanspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速电压：/spanspan style="font-family: "1kV、/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "高真空模式/spanspan style="color: black font-family: ")/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "背散射电子像分辨率/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="399" colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "4.0nm/span　span style="font-family: "(/spanspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速电压：/spanspan style="font-family: "30kV、/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "低真空模式/spanspan style="color: black font-family: ")/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速/spanspan style="color: black font-family: 宋体 "电压/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="399" colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "0.3～30kV/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "倍率/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="399" colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "× 5～× 300,000/spanspan style="color: black font-family: " (/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "底片倍率/spanspan style="color: black font-family: ")/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "、/spanspan style="font-family: "× 7～× 800,000/spanspan style="color: black font-family: " (/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "显示倍率/spanspan style="color: black font-family: ")/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "样品台/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: "X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20° ～90° 、R：360° /span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: "X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20° ～90° 、R：360° /span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black letter-spacing: 0px font-family: 宋体 font-size: 13px "可/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "搭载样品最大尺寸/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "直径/spanspan style="font-family: "200mm/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "直径/spanspan style="font-family: "300mm/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "可观察最大范围/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 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none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: "80mm(WD=10mm)/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" align="center"pspan style="font-family: "130mm(WD=10mm)/span/p/td/tr/tbody/tablep /p

基于50年的扫描电镜研发经验，16-17下半财年伊始，日本电子株式会社发布了具有颠覆性设计的场发射扫描电镜JSM-IT300HR，并且在今年的法国欧洲里昂举行的电镜会上进行了JSM-IT300HR实机展示，大受好评。　　作为业内第一款易用型场发射扫描电镜，JSM-IT300HR拥有众多领先业界的特性：　　1) 摆脱了冷却循环水和空气压缩机，更不需要氮气瓶。第一次在场发射扫描电镜上实现只要有电源就可以安装。　　2) 样品仓超大，12英寸硅片(300mm直径)可直接放入观察。重样品可五轴方向移动。具有12个扩展接口。　　3) 标配低真空(可变压力)模式，兼顾材料科学与生命科学样品。　　4) 触摸屏点击操作，可摆脱键盘鼠标的束缚，实现远程操作。　　5) JEOL是世界上唯一同时生产电子显微镜和X射线能谱仪的厂家，哪怕是球差校正TEM上，JEOL的EDS技术也可以轻松实现原子级的分辨率。现在，JEOL将这种技术移植到SEM上来，JSM-IT300HR可配置一体化分析系统，实现一台显示器无缝切换SEM/EDS。　　6) 支持蒙太奇与光电光联显微镜技术。

2024年7月9日，由中国材料研究学会主办、欧洲材料研究学会联合主办、广东工业大学协办的中国材料大会2024暨第二届世界材料大会在广州白云国际会议中心盛大开幕。本届大会是在加快推进高水平科技自立自强大背景下举办的新材料领域跨学科、跨领域、跨行业的学术交流大会，是中国新材料界学术水平高、涉及领域广、前沿动态新的品牌大会。借此盛会，仪器信息网采访了浙江祺跃科技有限公司（以下简称“祺跃科技”）祁贵云及德国ELLCIE公司CEO Martin Klein。采访中，祁贵云先生介绍了本次参会所展示的新品、解决方案，及与ELLCIE公司合作的背景。Martin Klein先生分享了他发展大腔室扫描电镜的初衷，介绍了大腔室扫描电镜的特点及其在欧洲、中国市场中的应用现状与前景。仪器信息网：本次是贵公司第几次参加中国材料大会？参会感受如何？祁贵云：我们公司是第二次参加中国材料大会。在参会过程中，我也有幸听取了很多材料领域专家的报告，同时也参观了其他厂商的相关产品，也同许多应用我们公司产品的老师或专家进行了探讨。通过这次大会，我对于材料领域的一些基础知识有了新的认识，同时通过跟专家的沟通，及专家对我们产品提出的新建议和要求，我也知道了今后产品发展的方向和趋势，参加这次大会收获还是比较多的。仪器信息网：本次贵公司带来了哪些解决方案或新品？主要针对哪些市场？解决了用户的哪些痛点？祁贵云：这次带来了两个新的产品和解决方案，第一个是高温扫描电镜一体化解决方案，第二个是和德国ELLCIE公司合作的超大腔室扫描电镜。仪器信息网：介绍下贵公司与ELLCIE公司的合作背景？ELLCIE是一家怎样的公司？祁贵云：我们公司在起步时一直致力于材料原位分析解决方案，但是在做产品设计和给客户做方案时，经常会受到扫描电镜空间的限制，使得我们的产品设计或者产品指标不断的更改。去年有机会结识了德国超大腔室扫描电镜供应商，我觉得这个对于我们公司今后原位分析设备的设计和制造是一个比较好的特点，所以我们就跟他们提出了合作。Martin Klein：谈到产品的发展过程，一方面是因为我以前在一个大学中做微小样品的研磨工作，在磨的过程中我想要把整个样品观测到，所以我想到需要一个大的空间做这个工作。另一方面在使用扫描电镜观测样品时，需要先从整个样品中切出一部分来，但对于特别贵重或特殊的样品无法切割，这就需要一个超大腔室的电镜，可以把整个样品放进去观测。像文物需要做检测时，因为不能被破坏，所以无法将此切开进行观测，这也让我想到了超大腔室的电镜。对于扫描电镜的应用，把大的扫描电镜放到相当于我们中国的房车的卡车里，车上配置有特殊的系统可以做减震，这样的话扫描电镜就可以成为可移动的一种检测站或者可移动的检测设备。仪器信息网：超大样品室扫描电镜相比传统电镜有哪些特点？Martin Klein：超大腔室的扫描电镜，从扫描电镜的指标，如分辨率、se、ebsd设备的配置上来讲，跟传统扫描电镜是相当的。显著的特点就是它的腔室特别大，可以做大部件或者大的样品直接的检测，无需像传统扫描电镜切标准的样品去做观测或者检测，可以做到真正的无损检测。像文物这么大的东西，如果使用传统的扫描电镜就需要从这上面切一部分下来，再去做样品分析测试。但是对于这种大的扫描电镜来讲，就无需做这个工作，可以直接放进去观测。仪器信息网：ELLCIE超大样品室扫描电镜产品在欧洲市场应用情况？Martin Klein：在欧洲，超大腔室扫描电镜主要用于大学做原位分析，对于学生来讲，很容易做样品的观察，不像现在传统的扫描电镜，进行样品的分析比较复杂，这就使得学生减少了做样品的难度。另外在做原位分析时，超大腔室扫描电镜可以和一些可靠性的设备结合起来，因为它腔室比较大，可以把其他仪器如拉力试验机或其他分析仪器等直接放到里面，所以对于做原位测试来讲变得更方便。仪器信息网：如何看超大样品室扫描电镜在中国市场的应用前景？Martin Klein：大腔室扫描电镜在中国未来的市场有三个应用方向，第一个是做材料的原位分析检测，就像刚才介绍的，可以把很多仪器或设备同大腔室扫描电镜就结合起来做更多的研究或者分析。第二个领域是航空航天，如发动机的叶片等大部件的无损检测或者服役过程的性能分析。第三个是对于中国这样一个文物比较多的国家，未来在文物的分析检测方面也会有很好的应用前景。