薄膜热应力测量系统

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薄膜热应力测量系统相关的厂商

  • 400-860-5168转1431
    巨力科技有限公司专门经销欧美、日本等国家制造的先进科学仪器,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。目前产品涵盖材料科学、微纳米技术、表面测量及表征、半导体、光伏和生命科学等领域。 主要产品:d33测量仪,压电系数测试仪,精密压电测试仪; 电容充放电测量系统高压漏电流及热释电测量系统电滞回线及高压介电击穿强度测量系统低温宽频介电测量系统高场宽频谱介电测量系统kSA MOS US薄膜应力测量系统,kSA MOS Thermal Scan薄膜热应力测量系统,kSA MOS原位薄膜应力测试仪,kSA MOS薄膜残余应力测试仪; kSA 400 RHEED 分析系统; kSA BandiT 测温系统;石磨盘发射率测量系统;kSA RateRat沉积速率检测仪; ALD 原子层沉积系统 碳纳米管生长系统 纳米碳制备CVD炉 石墨烯制备系统SPD喷雾热解成膜系统太阳能电池量子效率测试系统/光谱响应测量系统/IPCE测量系统; AAA级太阳光模拟器,全光谱太阳光模拟器(A+A+A+);高准直太阳光模拟器;稳态太阳光模拟器; 单体测试仪,太阳能电池IV测试仪,全自动太阳能电池IV测试; 大面积组件太阳能模拟器及IV测试系统; 有机太阳能电池太阳光模拟器;光催化太阳光模拟器;有机半导体载流子特性测量系统有机/钙钛矿太阳能电池载流子测量系统钙钛矿太阳能电池/LED寿命分析系统OLED光谱分析系统有机/钙钛矿太阳能电池扩散长度测量系统有机/钙钛矿太阳能电池量子效率测量系统有机/钙钛矿太阳能电池缺陷测量系统有机/钙钛矿太阳能电池制备系统实验室涂布机等等
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  • 山东汇宇兴科技有限公司是从事于电子薄膜产品和进口仪器仪表代理销售的高科技企业。创始于2001年6月19日,同年在美国设立了全资子公司,具有进出口经营权,位于美丽的泉城-山东济南。仪器仪表产品:作为仪器仪表的专业销售代理商,我公司是DWYER INSTRUMENTS, INC(美国德威尔仪器仪表制造有限公司)正式授权的中国总代理商,同时也是美国提赛TSI(专业检测计量产品)、芬兰贝美克斯BEAMEX(专业校验校准仪器)、英国Casella(专业的噪声、热应力测试及空气采样检测)、法国凯茂KIMO(多功能测量仪器等)、德国弗莱克森FLEXIM(超声波流量计等)在中国尤其在山东地区的唯一授权市场开发、销售、售后服务商。这些产品广泛应用于除尘、液压气动、暖通、空调、食品、制药、生物工程、智能楼宇、电厂、化工、水处理、噪声、空气等环境监测和工业制造等领域。公司成立以来,秉承“为客户主动提供所需求的产品,使客户效益最大化”的经营宗旨,以极具竞争力的产品和诚挚一流的优质服务,在业内树起了良好口碑和极高的公司信誉。 现在我公司的用户主要在山东、河北、江苏、浙江、广东等地,我公司真诚希望与广大用户和众多新老朋友建立长期稳定和谐的业务关系,实现多赢局面,相信与我公司的合作一定会有助于贵司的事业更加辉煌灿烂!
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  • 上海博众测量技术有限公司致力于为制药、生命科学、微电子、锂电池、航空航天、钢铁、交通、电力、烟草、空分、净化、除湿干燥等行业的客户提供受控环境、过程气体以及大气环境监测所需的温湿度、露点、压力、二氧化碳及其他气体浓度分析、风速风向等关键控制参数的测量、记录、监测、验证解决方案。我们还可以为客户提供从测量方案设计、测量产品的选型推荐、销售、成套、系统集成、软件编制、IQOQ验证等软硬件产品,并可为所供产品或系统提供在生命周期的内的维保及计量校准服务。因为我们专业、诚信所以值得您的信赖!品牌及合作伙伴:l 芬兰VAISALA : 温湿度、露点、二氧化碳、油中水分、 大气压、风速风向等气象测量产品l 英国MICHELL : 湿度发生器、镜面露点仪、碳氢露点及氧气测量、干燥等标准设备l 美国GE DRUCK : 压力测量传感器及变送器、压力及电信号校验设备l 美国SETRA: 微差压测量变送器、微差压开关、微差压校验仪l 美国TSI: 便携式室内空气参数测试仪器、便携式粉尘仪、质量流量计等l 加拿大VERITEQ :高精度温湿度一体记录仪 、高精度温度度记录仪、热电偶记录仪 模拟 信号记录仪、EMS监测系统、GMP/FDA/GSP温湿度分布、验证l 德国TESTO : 持式多功能测量仪表l Airmonic :温湿度、露点、结露预警、二氧化碳、气象、IAQ、烟气排放、压 力等环境及过程流体的数据测量、传输、监测、记录、分析的方案 提供和系统集成,以及成套业务l Bodhi: 露点测量变送器、二次显示仪表、一体化监测处理系统、一体化测量变送器、便携式采样系统、温湿度监测系统、室内空气品质测量变送器等
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薄膜热应力测量系统相关的仪器

  • 实验室型薄膜蒸发系统及分子蒸馏系统优莱博薄膜蒸发系统及分子蒸馏系统是针对于常规蒸馏效果不佳的分离浓缩应用特别设计推出的。因其成膜蒸发,高真空度 ,连续操作等特点,特别适用于热敏性物料,易起泡物料,高粘度物料等的蒸馏和浓缩操作。 工作原理薄膜蒸发在被加热的蒸发器圆筒形内表面,一个旋转的刮膜系统将原料刮成均匀的薄膜。刮膜系统能够使液膜形成良好的湍流效果,优化传热和传质过程,从而能大大地提高蒸发效率。 原料中的低沸点组分在短时间内从液膜中蒸发出来。 物料在蒸发器内的停留时间非常短。蒸发出轻组分气体在外置冷凝器中冷凝。重相的浓缩物由蒸发器底部持续排出。在薄膜蒸发器中,能够处理高粘度的物料以及易于结晶的物料。薄膜蒸发器内操作压力可以低至 1mbar。薄膜蒸发的优点 连续的蒸馏过程 物料停留时间短 高蒸发率 由于操作压力低,因而所需的加 热温度低 可以处理高沸点、高粘度物料 薄膜蒸发器可以连接带有一定理论塔板数的精馏柱 蒸发器内壁不易结垢短程蒸馏 短程蒸发器是将薄膜蒸发器和冷凝器集成在一体的设备。轻组分的蒸汽在短程蒸发器内置冷凝器上冷凝。 蒸发面和冷凝面之间的路径非常短,因此,气相的压力降非常低。短程蒸馏的优点 连续的蒸馏过程 高湍流、高蒸发率:被刮成的膜始终保持高湍流的状态,增加了质量和热量的传递 停留时间短:降低了产品的热应力 一步蒸馏:无需循环 在蒸发器内壁上形成很薄的液膜:无静液面高度的影响 无产品结焦:在加热的蒸发器上由于薄膜的高湍流,使产品不会滞留在蒸发器表面 可进行高粘度产品的蒸馏:提供te殊设计的刮膜系统 操作压力低:ji低的操作压力可降低物质的沸点,zui低可达 0.001mbar(0.1Pa) 装置设计非常紧凑不同蒸馏方法的对比表不同蒸馏方法的对普通蒸馏薄膜蒸发短程 / 分子蒸馏物料被加热的时间非常长 ( 按小时计 )非常短 ( 数十秒 )非常短 ( 数十秒 )真空度一般 ( 几个到几十 mbar)很高 (1mbar)非常高 (0.001mbar)所需要的蒸发温度高比较低非常低热敏性物料的分离不适宜适宜非常适宜对于易于起泡的物料分离不适宜非常适宜适宜是否能够连续化蒸馏不能能能高粘度样品的浓缩或分离不适宜非常适宜适宜溶剂脱除效率一般非常好 ( 外冷凝器面积不受限制)好 TF40 薄膜蒸发或 MD52 分子蒸馏系统蒸馏主体(2 选 1)TF40 薄膜蒸发器主体zui高耐温 350℃,刮膜转速 100-500rpm,蒸发面积 0.04 ㎡,蒸发能力 0.1-1.5L/h,冷凝面积 0.2 ㎡,zui大物料粘度 1000cp,接触物料材质为 3.3 高硼硅玻璃 &1.4571(316Ti)不锈钢MD52 分子蒸馏仪主体zui高耐温 350℃,刮膜转速 60-500rpm,蒸发面积 0.052 ㎡,蒸发能力 0.1-2L/h,冷凝面积 0.08 ㎡(分子蒸馏蒸气压低,效率高,无须太大冷凝面积),zui大物料粘度 5000cp,接触物料材质为 3.3 高硼硅玻璃 &1.4571(316Ti)不锈钢蒸发器加热模块(4 选 1)ITHERM-B1 循环水浴zui高温度 100℃,加热功率 1.5KW,稳定性 ±0.05℃DD-BC4 循环油浴zui高温度 200℃,加热功率 2KW,稳定性 ±0.01℃MS-BC4 循环油浴zui高温度 300℃,加热功率 2KW,稳定性 ±0.01℃MX-BC4 循环油浴zui高温度 300℃,加热功率 3KW,稳定性 ±0.01℃冷凝器冷却模块(2 选 1)CS3 冷却循环器-20 到 100℃,制冷功率 300W,带加热,流量 10L/minFL300 冷却循环器-20 到 40℃,制冷功率 300W,噪音更低,流量 15L/min真空模块(3 选 1)SXD.4 防腐蚀隔膜泵 + 真空计 + 真空调节阀系统zui低真空度可到 20mbar耐腐蚀,低噪音冷肼模块 +R-8D 旋片真空泵 + 真空计 + 真空调节阀系统zui低真空度可到 0.05mbar冷肼模块 +R-8D 旋片真空泵 + 油扩散泵 + 真空计 + 真空调节阀系统zui低真空度可到 0.001mbar进料模块(2 选 1)500ml 进料器,针型阀控制流量针型阀S型回路结构在确保连续蒸馏情况下的系统真空同时,可以实现随时加料1000ml 进料罐 + 高精密齿轮泵 + 单向进料阀连续进料套件-出料模块(2 选 1)三分出料器 +250ml 收集瓶 2 个 +4000ml 收集瓶 1 个在不放散真空的条件下可收集两个条件的清晰馏份重组分及轻组分高精密齿轮泵连续出料套件出料速度连续可调,出料精度 0.1Hz 的 产品应用领域油脂及食品 从食用油和鱼油中分离游离脂肪酸 从食用油和鱼油中脱除杀虫剂 甾醇的精制 浓缩单甘酯 浓缩鱼油酯中的 EPA 和 DHA 浓缩生育酚 浓缩胡萝卜素 干燥卵磷脂 从羊毛脂中脱除杀虫剂 羊毛脂颜色改进石化产品 从原油的减压渣油中分离微晶蜡 精制人工合成的以及石化产品的蜡 煤化工 费托合成蜡不同牌号蜡的切割聚合物 纯化和浓缩聚合物的单体 纯化和浓缩聚合物 脱除聚合物中的溶剂和单体化学、农化、医药产品 1, 4 丁二醇(BDO)精制 聚四氢呋喃醚(PTMEG)精制 多聚甲醛的精制 乳酸的纯化与精制 己内酰胺的提纯与蒸馏 浓缩和提纯二聚脂肪酸 从有机硅和有机硅树脂中脱除挥发组分 浓缩杀虫剂、除菌剂、除草剂 浓缩和提纯甘油 分馏和脱除天然蜡中的低沸点组分 异氰酸酯预聚体中游离的脱除(如 HDI,MDI) 脱除溶剂 除臭和去除农药残留 羊毛脂颜色改进 丙烯酸及丙烯酸酯的精制 医药中间体的蒸馏与精制 中药提取物有效成分的提纯 da麻二酚 (CBD) 的提纯香精和香料 提纯烟草提取物 烟用精油的提纯 脱除萜烯和浓缩精油 纯化香精香料中的芳香物质 浓缩柠檬香料 浓缩胡椒和辣椒提取物回收再循环 回收与精制废润滑油、刹车油、甘油和变压器油 回收和处理制药过程母液 回收有机中间体
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  • 薄膜太阳电池QE测试专用系统 SCS10-Film适用范围: 非晶硅薄膜电池、CIGS 薄膜电池、CdTe 薄膜电池、非晶/ 微晶双结薄膜电池、非晶/ 微晶/微晶锗硅三结薄膜电池等光谱范围:300~1700nm电池结构:单结、多结太阳电池可测参数:光谱响应度、外量子效率、反射率、透射率、内量子效率、短路电流密度可测样品面积:300mm×300mm● 集成一体化turnkey系统● 大面积薄膜电池测试专用● 超大样品室,光纤传导● 背面电极快速连接● 反射率、内外量子效率同步测试● 快速高效售后服务 SCS10-Film系统规格 光源150W高稳定性氙灯,光学稳定度≤0.4%,光纤传导测试光斑尺寸2mm~10mm可调单色仪三光栅DSP扫描单色仪波长范围300nm~1700nm波长准确度±0.2nm(@1200g/mm,500nm)扫描间隔最小可达0.1nm,默认设置10nm输出波长带宽0.1nm~10nm可调,默认设置5nm多级光谱滤除装置根据波长自动切换,消除多级光谱的影响光调制频率4~400Hz标准探测器进口Si光电探测器,含校正测试报告数据采集装置灵敏度直流模式:100nA;交流模式:2nV测量重复精度0.6%( 400~1000nm范围0.3%)测量速度单次光谱响应扫描 1min 完整流程扫描 5min(扫描间隔10nm)样品加持探针样品台,156mm×156mm,特殊样品台可定制*Mapping扫描速度:20点/s(@0.5mm step)分辨率:0.5mm仪器尺寸主机:;样品室:控制机柜:800mm×600mm×1300mm计算机及软件系统含工控计算机、显示器、鼠标、键盘,正版windows 7操作系统,系统软件安装光盘
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  • 太阳能电池量子效率测试系统——SolarCellScan100系列系统功能系统可以实现测试太阳电池的:光谱响应度、外量子效率、内量子效率、反射率、透射率、短路电流密度、量子效率Mapping、反射率Mapping。系统适用范围1、适用于各种材料的太阳电池包括:单晶硅Si、多晶硅mc-Si、非晶硅α-Si、砷化镓GaAs、镓铟磷GaInP、磷化铟InP、锗Ge、碲化镉CdTe、铜铟硒CIS、铜铟镓硒CIGS、染料敏化DSSC、有机太阳电池Organic Solar Cell、聚合物太阳电池Polymer Solar Cell 等2、适用于多种结构的太阳电池包括:单结Single junction、多结multi junction、异质结HIT、薄膜thin film、高聚光HPV 等不同材料或不同结构的太阳电池,在测试过程中会有细节上的差异。比如说:有机太阳电池的测试范围主要集中在可见光波段,而GaAs 太阳电池的测试范围则很可能扩展到红外1.4um 甚至更长波段;单晶硅电池通常需要测内量子效率,而染料敏化太阳电池通常只需要测外量子效率;有机太阳电池测试通常不需要加偏置光,而多结非晶硅薄膜电池则需要加偏置光……SolarCellScan100 通过主机与各种附件的搭配,可以实现几乎所有种类电池的测试。这种模块化搭配的方式,适合科研用户建立测试平台。 选型列表:型号名称和说明主机SCS1011太阳能电池量子效率测量系统,含直流、交流测量模式,氙灯光源SCS1012太阳能电池量子效率测量系统,含直流测量模式,氙灯光源SCS1013太阳能电池量子效率测量系统,含直流、交流测量模式,溴钨灯光源SCS1014太阳能电池量子效率测量系统,含直流测量模式,溴钨灯光源SCS1015太阳能电池量子效率测量系统,含直流、交流测量模式,氙灯溴钨灯双光源SCS1016太阳能电池量子效率测量系统,含直流测量模式,氙灯溴钨灯双光源附件QE-A1偏置光附件,150W氙灯QE-A2偏置光附件,50W溴钨灯QE-B1标准太阳电池(单晶硅)QE-B1-SP标准太阳电池QE-B2标准铟镓砷探测器(800-1700nm,含标定证书)QE-B3标准硅探测器(300-1100nm,含标定证书)QE-B4标准铟镓砷探测器(800-2500nm,含标定证书)QE-B7透过率测试附件(300-1100nm)QE-B8透过率测试附件(800-1700nm)QE-BVS偏置电压源(±10V可调)QE-C2漫反射率测试附件(300-1700nm)QE-C7标准漫反射板QE-D1二维电动调整台QE-D2手动三维调整台QE-IV-Convertor短路电流放大器专用机型介绍系统功能部分太阳能应用方向的研究人员需要测量量子效率,但本身却不是光电测量方面的行家,卓立汉光在测量平台SolarCellScan100的基础上,进一步开发出以下几套极具针对性的专用机型配置,方便客户使用。以下的专用配置也适合产业化的工业客户使用。1、通用型太阳电池QE测试系统SCS100-Std系统特点符合IEC60904-8国际标准;测量结果高重复性;内外量子效率测量功能;快速导入参数功能;适用于科研级别小样品测试适用范围: 晶体硅电池、非晶硅薄膜电池、染料敏化电池、CdTe薄膜电池、CIGS薄膜电池等; 光谱范围: 300~1100nm; 电池结构: 单结太阳电池; 可测参数: 光谱响应度、外量子效率、内量子效率、反射率、短路电流密度; 可测样品面积: 30mm×30mm 2.通用型太阳电池QE测试系统SCS100-Exp系统特点符合IEC60904-8国际标准;测量结果高重复性;高度自动化测量;双光源设计;红外光谱范围扩展;薄膜透过率测试功能;小面积、大面积样品测试均适用;适用范围: 晶体硅电池、非晶硅薄膜电池、染料敏化电池、有机薄膜电池、CdTe薄膜电池、CIGS薄膜电池、三结砷化镓GaAs电池、非晶/微晶薄膜电池等; 光谱范围: 300~1700nm; 电池结构: 单结、多结太阳电池; 可测参数: 光谱响应度、外量子效率、内量子效率、反射率、透射率、短路电流密度; 可测样品面积: 156mm×156mm以下 3.晶体硅太阳电池测试专用系统 SCS100-Silicon系统特点集成一体化turnkey系统晶体硅电池测试专用内外量子效率测试快速Mapping扫描功能快速高效售后服务适用范围: 单晶硅电池、多晶硅电池 光谱范围: 300~1100nm 电池结构: 单结太阳电池 可测参数: 光谱响应度、外量子效率、反射率、内量子效率、短路电流密度、*量子效率Mapping、*反射率mapping 可测样品面积: 156mm×156mm 4.薄膜太阳电池QE测试专用系统 SCS100-Film系统特点集成一体化turnkey系统;大面积薄膜电池测试专用;超大样品室,光纤传导;背面电极快速连接;反射率、内外量子效率同步测试;快速高效售后服务。适用范围: 非晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、非晶/微晶双结薄膜电池、非晶/微晶/微晶锗硅三结薄膜电池等; 光谱范围: 300~1700nm ; 电池结构: 单结、多结太阳电池; 可测参数: 光谱响应度、外量子效率、反射率、透射率、内量子效率、短路电流密度; 可测样品面积: 300mm×300mm 5.光电化学太阳电池测试专用系统 SCS100-PEC系统特点光电化学类太阳电池专用配置方案;直流测量模式;低杂散光暗箱;电解池样品测试附件;经济型价格适用范围: 染料敏化太阳电池; 光谱范围: 300~1100nm; 电池结构: 光电化学相关的纳米晶太阳电池; 可测参数: IPCE; 可测样品面积: 50mm×50mm
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薄膜热应力测量系统相关的资讯

  • 显微拉曼光谱在测量晶圆(多晶硅薄膜)残余应力上的应用
    在半导体生产过程中,退火、切割、光刻、打线、封装等多个生产工序都会引入应力,而应力分为张应力和压应力;应力也分有益的和有害之分。应变 Si(strained Silicon 或 sSi)是指硅单晶受应力的作用,其晶格结构和晶格常数不同于未应变体硅晶体。应变的存在,使 Si 晶体结构由立方晶体特征向四方晶体结构特征转变,导致其能带结构发生变化,从而最终导致其载流子迁移率发生变化。研究表明,在 Si 单晶中分别引入张应变和压应变,可分别使其电子迁移率和空穴迁移率有显著的提升因而,从 Si CMOS IC 的 90nm 工艺开始,在 Si 器件沟道以及晶圆材料中引入应变,提高了器件沟道迁移率或材料载流子迁移率,从而提升器件和电流的高速性能。多晶硅薄膜是MEMS(micro-electro-mechanical systems)器件中重要的结构材料,通常在单晶硅基底上由沉积方法形成。由于薄膜与基底不同的热膨胀系数、沉积温度、沉积方式、环境条件等众多因素的综合作用,多晶硅薄膜一般都存在大小不一的拉应力或者压应力。作为结构材料多晶硅薄膜的材料力学性能在很大程度上决定了MEMS器件的可靠性和稳定性。而多晶硅薄膜的残余应力对其断裂强度、疲劳强度等力学性能有显著的影响。表面及亚表面损伤还会引起残余应力,残余应力的存在将影响晶圆的强度,引起晶圆的翘曲如图1所示。所以准确测量和表征多晶硅薄膜的残余应力对于生产成熟的MEMS器件具有重要的意义。图 1 翘曲的晶圆片图 2 Si N 致张应变 SOI 工艺原理示意图,随着具有压应力 SiN 淀积在 SOI 晶圆上,顶层 Si 便会因为受到 SiN 薄膜拉伸作用发生张应变应力的测试难度非常大。由于MEMS中的多晶硅薄膜具有明显的小尺度特征,准确测量多晶硅薄膜的残余应力并不是一件容易的事情。目前在对薄膜的残余应力测量中主要采用两种方法:一种是X射线衍射,通过测量薄膜晶体中晶格常数的变化来计算薄膜的残余应力,这种方法可以实现对薄膜微区残余应力的准确测量,但测量范围较小,且对试样的制备具有较高的要求,基本不能实现在线薄膜残余应力测量。另外一种就是显微拉曼谱测量法,该方法具有非接触、无损、宽频谱范围和高空间分辨率等优点。通过测量薄膜在残余应力作用下引起的材料拉曼谱峰的移动可推知薄膜的残余应力分布。该方法可以实现对薄膜试件应力状况的在线监测,是表征薄膜材料尤其是MEMS器件中薄膜材料残余应力的一种重要方法。用于力学测量的一般要具有高水平的波长稳定性的紫外或可见光激发光源,并具备高光谱分辨率(小于 1cm-1)的显微拉曼光谱系统。1. 测量原理1.1. 薄膜残余应力与拉曼谱峰移的关系拉曼谱测量薄膜残余应力的示意图如图2所示。激光器发出的单色激光(带箭头实线)经过带通滤波器和光束分离器以后经物镜汇聚照射到样品表面‚激光光子与薄膜原子相互碰撞造成激光光子的散射。其中发生非弹性碰撞的光束(带箭头虚线)经过光束分离器和反射滤波器后,汇聚到声谱仪上形成薄膜的拉曼谱峰。拉曼散射光谱的产生跟薄膜物质原子本身的振动相关,只有当薄膜物质的原子振动伴随有极化率的变化时,激光的光子才能跟薄膜物质原子发生相互作用而形成拉曼光谱。当薄膜存在拉或压的残余应力时,其原子的键长会相应地伸长或缩短,使薄膜的力常数减小或增大,因而原子的振动频率会减小或增大,拉曼谱的峰值会向低频或高频移动。此时,拉曼峰值频率的移动量与薄膜内部残余应力的大小具有线性关系,即Δδ=ασ或者σ=kΔδ,Δδ是薄膜拉曼峰值的频移量,σ是薄膜的残余应力,k和α称为应力因子。图 3 拉曼测量系统示意图图 4 拉曼光谱测试晶圆的示意图2. 多晶硅薄膜残余应力计算对于单晶硅,激光光子与其作用时存在3种光学振动模式,两种平面内的一种竖直方向上的,这与其晶体结构密切相关。当单晶硅中存在应变时,这几种模式下的光子振动频率可以通过求解特征矩阵方程ΔK- λI = 0获得。其中ΔK是应变条件下光子的力常数改变量(光子变形能)λi(i= 1 ,2,3)是与非扰动频率ω0和扰动频率ωi相关的参量(λi≈ 2ω0(ωi-ω0)),I是3×3单位矩阵。由于光子在多晶硅表面散射方向的随机性和薄膜制造过程的工艺性等许多因素的影响,使得利用拉曼谱法测量多晶硅薄膜的残余应力变得更加复杂。Anastassakis和Liarokapis应用Voigt-Reuss-Hill平均和张量不变性得出与单晶硅形式相同的多晶硅薄膜的光子振动频率特征方程式。此时采用的光子变形能常数分别是K11=-2.12ω02 K12=-1.65ω02 K33=-0.23ω02是光子的非扰动频率。与之相对应的柔度因子分别是S11= 6.20×10-12Pa-1S12=-1.39 ×10-12Pa-1S33= 15.17 ×10-12Pa-1对于桥式多晶硅薄膜残余应力的分析,假定在薄膜两端存在大小相等、方向相反(指向桥中心)的力使薄膜呈拉应力。此时,拉曼谱峰值的频移与应力的关系可以表达为Δω =σ(K11+2 K12)(S11+2 S12)/3ω0代入参量得Δω =-1.6(cm-1GPa-1)σ,即σ=-0.63(cmGPa)Δω (1)其中σ是多晶硅薄膜的残余应力,单位为GPa;Δω是多晶硅薄膜拉曼峰值的频移单位为cm-1。3. 应力的拉曼表征桥式多晶硅薄膜梁沿长度方向的拉曼光谱峰值频移情况如图3所示。无应力多晶硅拉曼谱峰的标准波数是520 cm-1,从图3可以看出,当拉曼光谱的测量点从薄膜的两端向中间靠拢时,多晶硅的峰值波数将沿图中箭头方向移动,即当测量位置接近中部时,多晶硅薄膜的峰值波数将会逐渐达到最小。图中拉曼谱曲线采用洛伦兹函数拟合获得。通过得曲线的洛伦兹峰值的横坐标位置,就可以根据式(1)得到多晶硅薄膜的残余应力分布情况,如图4所示。由于制造过程的偏差,多晶硅薄膜的实际梁长L=213μm。图 10 共聚焦显微拉曼光谱扫描成像仪测得晶圆应力分布,红色的应力越大,蓝色的应力较小。
  • 微纳加工薄膜应力检测的国产化破局
    1.为什么要检测薄膜应力?薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项,直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性,薄膜应力过大会引起以下问题:1.膜裂;2.膜剥离;3.膜层皱褶;4.空隙。针对薄膜应力的定量化表征是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜制备工艺流程中品检、品控和改进工艺的有效手段。(见图一)图一、薄膜拉/压内应力示意图(PIC from STI 2020: Ultraviolet to Gamma Ray, 114444N)2.薄膜应力测试方法及工作原理目前针对薄膜应力测试方法主要有两种:X射线衍射法和基片轮廓法。前者仅适用于完全结晶薄膜,对于纳米晶或非晶薄膜无法进行准确定量表征;后者几乎可以适用于所有类型的薄膜材料。关于两种测试方法使用范围及特点,请参考表一。表一、薄膜应力测试方法及特点测试方法适用范围优点局限X射线衍射法适用于结晶薄膜1.半无损检测方法;2.测量纯弹性应变;3.可测小范围表面(φ1-2mm)。1.织构材料的测量问题;2.掠射法使射线偏转角度受限;3.X射线应力常数取决于材料的杨氏模量E;4.晶粒过大、过小影响精度。基片轮廓法几乎所有类型的薄膜材料激光曲率法:1.非接触式/ 无损;2.使用基体参数,无需薄膜特性参数;3.大面积测试范围、快速、简单。1.要求试样表面平整、反射;2.变形必须在弹性范围内;3.毫米级范围内平均应力。探针曲率法(如台阶仪):1.使用基体参数,无需薄膜特性参数;2.微米级微区到毫米级范围。1.接触式/有损;2.探针微米级定位困难导致测量数据重复性不够好。速普仪器自主研发生产的FST5000薄膜应力测量仪(见图二)的测试原理属于表一中的激光曲率法,该技术源自于中国科学院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化(专利号:CN204854624U;CN203688116U;CN100465615C)。FST5000薄膜应力测量仪利用光杠杆测量系统测定样片的曲率半径,参见图三FST5000薄膜应力测量仪技术原理图。其中l和D分别表示试片(Sample)和光学传感器(Optical Detector)的移动距离, H1和H2分别表示试片与半透镜(Pellicle Mirror),以及半透镜与光学传感器之间的光程长。 图二、速普仪器FST5000薄膜应力测量仪示意图图三、FST5000薄膜应力测量仪技术原理图3.速普仪器FST5000薄膜应力测量仪技术特点及优势a.采用双波长激光干涉法,利用Stoney公式获得薄膜残余应力。该方法是目前市面上主流测试方法,包括美、日、德等友商均采用本方法,我们也是采用该测量方法的国内唯一供应商。并且相较于进口友商更进一步,速普仪器研发出独特的光路设计和相应的算法,进一步提高了测试精度和重复性。通过一系列的改进,使我们的仪器精度在国际上处于领先地位。(参考专利:ZL201520400999.9;ZL201520704602.5;CN111060029A)b.自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布。我们通过改进数据算法,采用与进口友商不同的软件算法方案,最终能够获得薄膜应力面分布数据和样片整体薄膜应力平均值双输出。(参考中国软件著作权:FST5000测量软件V1.0,登记号:2022SR0436306)c.薄膜应力测试范围:1 MPa-10 GPa,曲率半径测试范围:2-20000m。基于我们多年硬质涂层应力测试经验,以及独特的样品台设计和持续改进的算法,FST5000薄膜应力测量仪可以实现同一台机器测试得到不同应用场景样品薄膜应力。具体而言,不但可以获得常规的小应力薄膜结果(应力值<1GPa,曲率半径>20m),同时我们还能够测量非常规小曲率半径/大应力数值薄膜(应力值>1GPa,曲率半径<20m)。目前即使国外友商也只能做到小应力测试结果输出。d.样品最大尺寸:≤12英寸,向下兼容8、6、4、2英寸。FST5000薄膜应力测量仪能够实现12英寸以下样品测试,主要得益于我们独特的样品台设计,光路设计及独特的算法,能够实现样品精准定位和数据结果高度重复性。(参考专利:ZL201520400999.9;ZL201520704602.5;CN111060029A)e.样品台:电动旋转样品台。通过独特的样品台设计,我们利用两个维度的样品运动(Y轴及360°旋转),实现12英寸以下样品表面全部位置覆盖及精准定位。(参考专利:ZL201520400999.9)f.样品基片校正:可数据处理校正原始表面不平影响(对减模式)。通过分别测量样品镀膜前后表面位形变化,利用原位对减方式获得薄膜残余应力面型分布情况。同样得益于我们独特的样品台设计和光路设计,保证镀膜前后数据点位置一一对应。4.深圳市速普仪器有限公司简介速普仪器(SuPro Instruments)成立于2012年,公司总部位于深圳市南山高新科技园片区,目前拥有北京和苏州两个办事处。速普仪器是国家高新技术企业和深圳市高新技术企业。公司拥有一群热爱产品设计与仪器开发的成员,核心团队来自中国科学院体系。致力于材料表面处理和真空薄膜领域提供敏捷+精益级制备、测量和控制仪器,帮助客户提高产品的研发和生产效率,以及更好的品质和使用体验。速普仪器宗旨:致力于材料表面处理和真空薄膜领域提供一流“敏捷+精益”级制备、测量和控制仪器。速普仪器核心价值观:有用有趣。
  • 速普仪器取得光电版薄膜应力仪国产化突破
    近日,深圳市速普仪器有限公司在西安交通大学创新港校区顺利交付光电版薄膜应力测量仪FST2000。该项目系速普仪器今年继安徽某OLED显示屏公司和宁波大学两套已交付后的第三套FST2000,另外还有三套待交付及若干套即将执行采购。成功实现业界主流光电版薄膜应力仪的国产化替代。 薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项,其测试的精度、重复性、效率等因素为业界所重点关注。对应产品目前业界有两种主流技术流派:1)以美国FSM、KLA、TOHO为代表的双激光波长扫描技术(线扫模式),尽管是上世纪90年代技术,但由于其简单高效,适合常规Fab制程中进行快速QC,至今仍广泛应用于相关工厂。2)以美国kSA为代表的MOS激光点阵技术(2000年代技术,曾获业界R&D100大奖),抗环境振动干扰,精于局部区域内应力测量,这在研究局部薄膜应力均匀分布具有特定意义。做一个比喻,丘陵地貌,尽管整体平均地面是平整的,但是局部是起伏的。因此,第一种路线线扫模式主要测量晶圆薄膜整体平均应力,监控工序工艺的重复性有意义。但在监控或精细分析局部薄膜应力,第二种激光点阵技术路线具有特殊优势,比如在MEMS压电薄膜的应力和缺陷监控。作为国内同类产品的唯一供货商,速普仪器创造性的提出同时兼容测试效率和细节精度的方案,即激光点阵Mapping面扫模式(适合分析局部应力分布)和L-D线扫模式(适合快速QC质检)。并采用具有自主知识产权(CN201911338140.9)的新型光路设计(更简单可靠)。FST2000薄膜应力仪采用经典的激光曲率法,利用5×5激光点阵对样品表面进行扫描测量,自动获取样品表面曲率半径数值,并自动代入内置Stoney公式获取薄膜应力数值。FST2000薄膜应力测试范围:5MPa-5GPa;曲率半径/薄膜应力重复精度:<1%(曲率半径<20m),<3%(曲率半径<100m);扫描步长:Min. 0.1mm;扫描数据点:Max. 1万点;可视化2D/3D显示。另外,针对不平整表面样品,本仪器具有对减功能模式,即镀膜前后数据点阵根据坐标点逐点对减获得真实薄膜曲率半径和应力分布,通过数据处理校正样品原始表面不平整的影响。同时,本仪器还具有直观且简单的操作界面。本地化技术团队能够提供便捷的售后服务。 深圳市速普仪器有限公司简介:

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  • 求XRD测量薄膜残余应力问题

    不知道有没有用XRD测量过薄膜残余应力朋友,求指点一下,我的薄膜是TiAlN/CrN多层膜,厚度只有1um,本人采用sin2(fai)法的方法测过,但是过程由于薄膜太薄,没有薄膜的峰信息,只有基底峰,不知有没有人遇到过类似情况,求指导!!或者能告诉我北京哪里可以做这方面的测试?谢谢!!

  • 菜鸟求大神教薄膜应力的测试方法

    最近踩有磁控溅射镀铜,想分析薄膜的参与应力,采用Jade6.5测试了微观应力及晶粒尺寸,选择黄继武老师教材里面建议的用两组平行的晶面作拟合后计算,但是方差很大,显然结果不对,现在心里很没底,想请教下有没有大牛做过这方面的工作,我看到有些大牛采用其他的仪器测试的薄膜应力,甚至还有三位的图出来,都是怎么测怎么算的啊?

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  • BlackGlobe黑球-热应力温度传感器
    概述:在界定热应力下会降低身心效率,严重时会导致疲劳、衰竭甚至可能残疾或死亡。湿球黑球温度(WBGT)指数结合温度、湿度、热辐射和风的作用生成一个用于表示环境热应力的指数。用于测量热应力的黑球温度传感器使用一个塞进涂黑的6英寸的空心铜球中的热敏电阻测量辐射温度。和周边空气和湿球温度仪器测量的值用来计算出湿球黑球温度指数。通过减少暴露在热应力下的时间和降低个高温胁迫下人工作量可以降低热应力。穿衣类型、执行工作的类型、心里应激的影响和流体的可用性等因素也会影响热应力的评估。 这些因素不容易量化,因此在指定状态下的个体必须评估它们的意义。对于评估热应力来说,像温度、湿度和风等环境因素是容易测量的。技术参数:温度测量范围-5 ~ +95℃工作温度范围-50 ~ +100℃热敏电阻误差通常情况 ±0.2℃ (0 ~ 70℃) ±0.3 95℃多项式现行误差±0.5℃ (-70 ~ +90℃)近似法向发射度(Near Normal Emittance)0.957 产地:美国
  • 美国NK4400热应力追踪仪
    美国NK4400热应力追踪仪,Kestrel 4400热应力追踪仪价格热病会给人类健康带来危险,甚至导致死亡。这种现象正呈上升趋势!过度受热而引发的运动员死亡案例有所增加。在炎热的夏天中,年轻或年长的运动员由于高温而引发严重疾病,最后一病不起,这样的报道时有发生。我们的军训机构一边要设法保证士兵的健康,而另一方面又必须加强训练,以便他们能够适应伊拉克和阿富汗的极度酷热。每年都会有无数的户外工作者因劳作中暑而病倒,有的甚至因此死亡。这样的报道屡闻不鲜。OSHA正是致力于使户外工作者免受热病的侵害。这个计划的关键在于能够准确的定位测量热应力状况。来自于NK的Kestrel 4400热应力追踪仪给我们带来了福音。人类的热应力来自于多种环境因素的综合—空气温度、湿度,以及来自于太阳和地面的热辐射,风或气流的冷却效果可使这些因素处于相对平衡。如果你置身于临近酷热停车场的荫凉处,就会明白条件评估必须在人们的活动地点进行。最常用的确定适宜热应力的复合测量指标是湿球温度(WBGT)。.美国运动医学学院,美国政府工业卫生工作者会议,以及美国军方均公布了基于WBGT所定的着装情况和参与者适应性的临界限值(TLV)或条件参考指导,以及活动水平和水化作用。Kestrel 4400热应力追踪仪可提供干态下的WBGT测量。美国NK4400热应力追踪仪,Kestrel 4400热应力追踪仪价格迄今为止,大多数的精准WBGT 测量工具都体型偏大、笨重难用(需配备蒸馏水)、价格昂贵。NK将一个小型黑色球形温度计,添加进Kestrel 4000袖珍天气追踪仪经认定后的传感器套件,随后再内置高级算法,以便该设备计算WBGT的数值。计算得出的数值,与整个WBGT组件的测量值相比,两者的差值在2.18摄氏度以内。Kestrel 4400袖珍热应力追踪仪可放在口袋中,或是装入Kestrel便携包,随身携带。将此设备暴露在空气中几分钟,它就可准确测量干态WBGT。 TWL和其它关键性测量Kestrel 4400还能显示热暴露工作限制(TWL),这是另一个公认的复合热应力预测工具。针对WBGT 和TWL ,当外界条件达到警备或危险值时,Kestrel 4400会在立即屏幕上显示警告信息,明确告知必须马上采取防暑措施。使用者可自行定义着装水平,以便使Kestrel 4400在使用厚重保护装置的情况下,也能发挥特殊功效。因为这样的保护装置往往会使热应力更强。Kestrel 4400还能显示自然湿球温度、黑球温度和平均辐射温度(MRT)等数值。Kestrel 4400的选配配置和配件用户可使用Kestrel 叶片安装附件,将Kestrel 4400热应力追踪仪安装在三脚架上,以便进行长期监测和记录热应力情况。可选择使用“Bluetooth?无线数据传输设备”,将记录数据传输到电脑或智能手机,供后续查阅。Kestrel 4400 特点湿球温度 (WBGT)热暴露工作限制 (TWL)球形温度计自然送气的湿球温度平均辐射温度 (MRT)风速最大阵风平均风速温度风冷相对湿度热应力指数露点温度湿球温度大气压高度密度高度压力变化趋势时间和日期美国NK4400热应力追踪仪,Kestrel 4400热应力追踪仪价格Kestrel 4400层组 防水(IP-67标准)和漂浮易读取的背光显示每次测量的最小、最大及平均值数据记录器(自动和手动)存储、撤销和图形数据集用户自定义的数据存储间隔用户自定义的屏幕关键测量组已申请专利的外界温度和适度传感器,可进行快速、准确的读数稳定的湿度传感器,几乎无需校正——如有需要,可使用原厂校准已申请专利的“无工具替换”大面积气流叶轮——替换后恢复原厂校准使用易拉动的叶轮盖,在保护叶轮的同时,用户还可使用其它功能通过可选界面或Bluetooth?无线数据传输装置,将数据上传到电脑使用5种语言(英语,法语,西班牙语,德语和意大利语)[核实]美国专利号:5,783,753 、 5,939,645 和 6,257,074使用进口的组件,在美国生产Kestrel 4400 包括运输保护盒Kestrel 叶片安装2个AAA电池Kestrel 合格证 可以配置的产品型号如下: PGM-7340型TVOC检测仪 PGM-50Q/PGM50Q PGM-50/PGM50 PGM-2400/PGM2400 PGM-54/PGM54 PGM-7800/PGM7800 PGM-7840/PGM7840 PGM-2000/PGM2000 PGM-1600/PGM1600
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    薄膜厚度测量系统配件是一种模块化设计的薄膜厚度测量仪,可灵活扩展成精密的薄膜测量仪器,可在此基础上衍生出多种基于白光反射光谱技术的薄膜厚度测试仪,比如标准吸收/透过率,反射率的测量,薄膜的测量,薄膜温度和厚度的测量。薄膜厚度测量系统配件:核心模块----光谱仪;外壳模块----各种精密精美的仪器外壳;工作面积模块----测量工作区域;光纤模块----根据不同测量任务配备各种光纤附件;测量室-/环境罩---给测量带去超净工作区域。薄膜厚度测量仪核心模块---光谱仪孚光精仪提供多种光谱仪类型,不同光谱范围和光源,满足各种测量应用
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