芯片粗糙度影像分析仪

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  • 苏州汶颢芯片科技
    苏州汶颢芯片科技有限公司是一家留学人员回国创业的高新科技企业，集研发、生产、销售为一体，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心，配置了三条微流控芯片生产线，包括数控CNC微加工仪器，软刻蚀有机芯片加工系统，光刻-掩模无机芯片加工系统，可以加工生产所有材质的芯片，如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种，以及各类科研类芯片，并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，拥有81项知识产权，其中：已申请发明**65件、实用新型**7件，注册商标2件，登记软件著作权7件。
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  • 浙江扬清芯片技术有限公司
    浙江扬清芯片技术有限公司（YoungChip）是一家专注于微流控芯片实验室整体解决方案的企业，技术力量雄厚，生产设备先进，检测手段齐全，产品质量过硬。公司可提供整套微流控芯片生产线， 包括CNC 数控微加工仪器、精密激光加工系统、光刻加工系统、塑料芯片注塑系统和微流控芯片热压键合系统， 可以加工生产所有材质的芯片， 如玻璃、石英、硅、PDMS 和PMMA 等。主营产品包括： ① 微流控芯片的设计、开发与加工服务； ②微流控芯片实验室组建及芯片技术培训； ③ 微流控芯片的耗材、配件及相关设备； ④ 模块化的芯片温度控制系统、流体操控系统和检测系统； ⑤ 基于微流控技术平台的POCT 快速检测系统。产品涵盖医疗生化诊断、环境监测、食品安全分析检测、化学合成等几大应用领域。目前，扬清芯片（YoungChip）已和中科院大连化学物理研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、生物芯片北京国家工程研究中心（博奥生物有限公司）、中国石油勘探开发研究院、浙江省检验检疫局、广东产品质量监督检验研究院、深圳出入境检验检疫局、广州迪澳生物科技有限公司等多家单位建立了长期紧密的项目合作。
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  • 苏州原位芯片科技有限责任公司
    苏州原位芯片科技有限责任公司成立于2015年，由清华大学和中科院微电子专业人士共同创立，并获得国内顶尖VC机构千万级投资。公司专注于新型MEMS芯片与模组的研发、生产和销售。掌握40多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、自主生产能力。 MEMS芯片凭借高精度、低成本、体积小的特点，拥有千亿级的广阔市场空间，公司已推出多款打破国外垄断产品，其中自主研发的氮化硅薄膜窗口产品凭借优异的薄膜洁净度和高强度，获得广大TEM和同步辐射研究人员的高度好评。公司已申请十余项发明、实用新型专利。未来还将推出多款新型MEMS芯片。 公司已与多家研究所、大学、医疗、工业、智能装备等行业的企事业单位建立了良好的合作伙伴关系。凭借国内领先的核心技术，公司成员齐心协力，致力于成为世界领先的生物MEMS技术公司。为更好的世界，提供更好的芯片！
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  • 便携式粗糙度检测仪/整体式粗糙度仪/粗糙度测定仪 400-860-5168转3128
    1:便携式粗糙度检测仪/整体式粗糙度仪/粗糙度测定仪 型号:HAD-61001. 特性该仪器采用计算机，符合标GB/T 6062及ISO，DIN，ANSI和JIS四项标准，可以广泛适用于现场，可测量多种机加零件的表面粗糙度，根据选定的测量条件计算出相应的参数，在液晶显示器上清晰地显示出测量参数。测量件表面粗糙度时，将传感器放在件被测面上，由仪器内的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面粗糙度，此时件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比列的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后入数据采集系统，DSP芯片将采集的数据行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器显示出来，同时可以与PC机通讯，实现数据分析和打印。* 多参数测量：Ra.Rz；* 度电感传感器； * 机电体化，体积小，重量轻，使用方便，内置标准RS232接口可与PC机通讯；* 具有自动关机能。此表有两种关机方式：种为手动关机，另外种为键盘操作5分钟关机。* 具有公英制转换能。2 参数显示器 ：蓝色背光， 4位数显，10mm LCD测量参数：Ra, Rz测量范围：Ra: 0.05-10.00um/1.000-400.0uinchRz: 0.020-100.0um/0.780-4000uinch确度 ：不大于± 10%示值变动性：不大于6%传感器 ：测量原理：电感式半径： 10&mu m材料： 金刚石测力： 16mN(1.6gf)角度： 90° 纵向半径：48mm驱动行程： 12.5mm/0.5inch取样长度 l(选)：0.25mm，0.8mm，2.5mm驱动速度：测量时当取样长=0.25mm时， Vt=0.135mm/s当取样长度= 0.8mm时， Vt=0.5mm/s当取样长度= 2.5mm时， Vt=1mm/s返回时 Vt=1mm/分辨率：0.001&mu m 当测量值 ＜10&mu m时0.01&mu m 当 10&mu m&le 测量值＜100&mu m时0.1&mu m 当 测量值 &ge 100&mu m评定长度: 1-2L可选（取样长度是2.5mm时为1L） 电源：4x1.5V AA电池。作环境：温度：0 - 50℃湿度： 85% RH外形尺寸：140× 52× 48mm净重：约280g 2:智能汉字量热仪/热量仪 型号：HY-ZNLRY-2000 HY-ZNLRY-2000型智能汉字量热仪性能特点：本机采用单片系统来控制仪器实现自动充水，自动调水温，自动定量水，自动搅拌，自动点火、数据采集和处理、数据保存、显示仪器状态，声音提示或警报，打印输出测定结果。采用大尺寸液晶显示屏，中文汉字提示，自动计算并换算低位发热量，自动控制打印结果。操作方便，效耐用。属智能型发热量测定设备。HY-ZNLRY-2000型智能汉字量热仪参数：● 温度测量范围：（0－65）℃　　● 温度测量分辨率：0.001℃ ● 发热量测试度：优于度0.2%（苯甲酸）●样本量：0.5g-1.5g ● 电源：AC220V± 10％，50Hz● 测试时间：15min左右 温馨提示：以上产品资料与图片顺序相对应。
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    厂商： 北京恒奥德仪器仪表有限公司
    品牌： 恒奥德/hengaode
    型号： HAD-6100
    价格： 面议
  • 手持式表面粗糙度仪 便捷式 外表光洁式粗糙度测量仪
    高精度 表面粗糙度仪SDT150能测量最新国际标准的主要参数，严格执行了国际标准，测量参数符合国际标准并兼容美国、德国、日本、英国等国家的标准。适用范围：可对多种机械加工零件表面的粗糙度进行测量，包括平面、斜面、外圆柱面，曲面，小孔，沟槽及车轴等。特点：操作简便，功能全面，测量快捷，精度稳定，携带方便，不受南方环境温湿度影响。 高精度 表面粗糙度仪SDT150特点：u 机电一体化设计，体积小，重量轻，使用方便；u 采用DSP芯片进行控制和数据处理，速度快，功耗低；具有校准功能，操作简单；u 兼容ISO、DIN、ANSI、JIS多个国家标准；u 连续工作时间大于20小时，具有自动休眠、自动关机等节电功能；u 超大容量数据存储，可存储100组原始数据及波形；u 实时时钟设置及显示，方便数据记录及存储；u 可靠防电机走死电路及软件设计；u 显示测量信息、菜单提示信息、错误信息及开关机等各种提示说明信息；u 中/英文语言选择；u 可连接电脑和打印机，可选配蓝牙功能；u 打印全部参数或打印用户设定的任意参数；u 可选配曲面传感器、小孔传感器、测量平台、传感器护套、接长杆等附件。高精度 表面粗糙度仪SDT150技术参数测量参数Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr测量范围Ra： 0.005 um ~ 16.00 um 显示范围Ra,Rq： 0.005 um ~ 16 um ；Rz, Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,： 0.02 um~ 160 umRsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%示值精度0.001um垂直Z轴量程范围（分辨率）0.002/±20um，0.004/±40um，0.008/±80um取样长度L0.25 ， 0.80 ， 2.50，自动评定长度1L~5L（可选，L为取样长度）测量行程长度3L~7L（可选，L为取样长度）最大驱动行程长度17.5mm / 0.71 inch最小驱动行程长度1.3mm / 0.052 inch示值变动性＜6%示值误差≤±7%针尖角度90°测量轮廓粗糙度，波纹度，原始轮廓滤波器RC, PC-RC, Gauss, D-P内部存储能力100组数据数据接口USB电池内置锂离子充电电池外形尺寸158 mm×63.5 mm×46mm产品重量400g工作环境条件温 度： -20℃～60℃ 相对湿度： 90% 周围无振动、无腐蚀性介质可选附件曲面传感器、小孔传感器、沟槽传感器、深槽传感器、延长杆、微型打印机、KA620测量平台
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    厂商： 河北沧辰科技有限公司
    品牌： --
    型号： SDT150
    价格： 面议
  • 粗糙度显微镜检测仪 400-860-5168转6117
    中图仪器VT6000粗糙度显微镜检测仪即为激光共聚焦显微镜，是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；VT6000粗糙度显微镜检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。应用领域对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。 3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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    厂商： 深圳市中图仪器股份有限公司
    品牌： 中图仪器/Chotest
    型号： VT6000
    价格： 95万元
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  • 线边缘粗糙度(LER)如何影响先进节点上半导体的性能
    作者：Coventor（泛林集团旗下公司）半导体工艺与整合团队成员Yu De Chen 介绍 由后段制程(BEOL)金属线寄生电阻电容(RC)造成的延迟已成为限制先进节点芯片性能的主要因素[1]。减小金属线间距需要更窄的线关键尺寸(CD)和线间隔，这会导致更高的金属线电阻和线间电容。图1对此进行了示意，模拟了不同后段制程金属的线电阻和线关键尺寸之间的关系。即使没有线边缘粗糙度(LER)，该图也显示电阻会随着线宽缩小呈指数级增长[2]。为缓解此问题，需要在更小的节点上对金属线关键尺寸进行优化并选择合适的金属材料。 除此之外，线边缘粗糙度也是影响电子表面散射和金属线电阻率的重要因素。图1(b)是典逻辑5nm后段制程M2线的扫描电镜照片，可以看到明显的边缘粗糙度。最近，我们使用虚拟工艺建模，通过改变粗糙度振幅(RMS)、相关长度、所用材料和金属线关键尺寸，研究了线边缘粗糙度对线电阻的影响。 图1：(a) 线电阻与线关键尺寸的关系；(b) 5nm M2的扫描电镜俯视图（图片来源：TechInsights） 实验设计与执行 在晶圆厂里，通过改变线关键尺寸和金属来进行线边缘粗糙度变化实验很困难，也需要花费很多时间和金钱。由于光刻和刻蚀工艺的变化和限制，在硅晶圆上控制线边缘粗糙度也很困难。因此，虚拟制造也许是一个更直接和有效的方法，因为它可以“虚拟地”生成具有特定线边缘粗糙度的金属线结构，进而计算出相应显粗糙度条件下金属的电阻率。图2(a)显示了使用虚拟半导体建模平台 (SEMulator3D®) 模拟金属线边缘粗糙度的版图设计。图2(b)和2(c)显示了最终的虚拟制造结构及其模拟线边缘粗糙度的俯视图和横截面图。通过设置具体的粗糙度振幅(RMS)和相关长度（噪声频率）值，可以在虚拟制造的光刻步骤中直接修改线边缘粗糙度。图2(d)显示了不同线边缘粗糙度条件的简单实验。图中不同RMS振幅和相关长度设置条件下，金属的线边缘展示出了不同的粗糙度。这些数据由SEMulator3D的虚拟实验仿真生成。为了系统地研究不同的关键尺寸和材料及线边缘粗糙度对金属线电阻的影响，使用了表1所示的实验条件进行结构建模，然后从相应结构中提取相应条件下的金属线电阻。需要说明的是，为了使实验更为简单，模拟这些结构时没有将内衬材料纳入考虑。图2：(a) 版图设计；(b) 生成的典型金属线俯视图；(c) 金属线的横截面图；(d) 不同RMS和相关长度下的线边缘粗糙度状态 表1: 实验设计分割条件 实验设计结果与分析 为了探究线边缘粗糙度对金属线电阻的影响，用表1所示条件完成了约1000次虚拟实验设计。从这些实验中，我们了解到： 1. 当相关长度较小且存在高频噪声时，电阻受到线边缘粗糙度的影响较大。2. 线关键尺寸较小时，电阻受线边缘粗糙度RMS振幅和相关长度的影响。3. 在所有线关键尺寸和线边缘粗糙度条件下，应选择特定的金属来获得最低的绝对电阻值。结论由于线边缘粗糙度对较小金属线关键尺寸下的电阻有较大影响，线边缘粗糙度控制在先进节点将变得越来越重要。在工艺建模分割实验中，我们通过改变金属线关键尺寸和金属线材料研究了线边缘粗糙度对金属线电阻的影响。在EUV（极紫外）光刻中，由于大多数EUV设备测试成本高且能量密度低，关键尺寸均匀性和线边缘粗糙度可能会比较麻烦。在这种情况下，可能需要对光刻显影进行改进，以尽量降低线边缘粗糙度。这些修改可以进行虚拟测试，以降低显影成本。新的EUV光刻胶方法（例如泛林集团的干膜光刻胶技术）也可能有助于在较低的EUV曝光量下降低线边缘粗糙度。在先进节点上，需要合适的金属线材料选择、关键尺寸优化和光刻胶显影改进来减小线边缘粗糙度，进而减少由于电子表面散射引起的线电阻升高。未来的节点上可能还需要额外的线边缘粗糙度改进工艺（光刻后）来减少线边缘粗糙度引起的电阻。
    时间： 2023-08-15
    作者： KPC
  • InfiniteFocus功能之一:可追踪的形态和粗糙度测量
    新的粗糙度标准提供了可追踪的光学粗糙度测量 迄今为止，新的粗糙度标准为光学粗糙度测量提供了验证。通常，表面的传统标准只适用于接触式扫描技术，而光学测量很难被追踪。 Alicona的新粗糙度标准既适用于接触式也适合于光学测量系统。该标准显示了光学无限变焦技术和接触式测量在相同的公差范围内可以取得等价的测量结果。 对于粗糙度标准对光学粗糙度测量的验证，Alicona也提供了一个可校准和验证的micro contour artefact，来追踪形态测量。 无限变焦的光学技术适用于实验室和生产中高分辨率的测量。即使在陡峭的斜面和强反射性能的情况下，垂直分辨率也可以高达10nm。在质量保证方面，该技术被成功地用于形态和粗糙度测量。无限变焦技术被包括在新的ISO标准25178中，新的ISO标准25178第一次包括光学处理技术。
    时间： 2009-02-09
    作者： 东方德菲仪器
  • 坐标测量机上的全自动表面粗糙度测量
    雷尼绍的创新REVO® 五轴测量系统又添新品 &mdash SFP1，它首次将表面粗糙度检测完全整合到坐标测量机的测量程序中。 SFP1表面粗糙度检测测头的测量能力从6.3至0.05 Ra，其采用独特的&ldquo 单一平台&rdquo 设计，无需安装手持式传感器，也不需要将工件搬到价格昂贵的表面粗糙度专用测量仪上进行测量，既降低了人工成本又缩短了检测辅助时间。坐标测量机用户现在能够在工件扫描与表面粗糙度测量之间自动切换，一份测量报告即可呈现全部分析数据。 高质量表面粗糙度数据 SFP1表面粗糙度检测测头作为REVO五轴测量系统的一个完全集成选件，提供一系列强大功能，可显著提升检测速度和灵活性，令用户受益。 测头包括一个C轴，结合REVO测座的无级定位能力和特定测针，该轴允许自动调整测头端部的任意角度来适应工件，确保获得最高质量的表面粗糙度数据。SFP1配有两种专用测针：SFS-1直测针和SFS-2曲柄式测针，它们在测量程序的完全控制下由REVO系统的模块交换架系统 (MRS) 选择。这不仅有助于灵活测触工件特征，还兼具全自动数控方法的一致性。 SFP1表面粗糙度检测测头为平滑式测尖，含钻石成份的测尖半径为2 &mu m，它按照I++ DME协议，通过雷尼绍的UCCServer软件将Ra、RMS和原始数据输出到测量应用客户端软件上。原始数据随后可提供给专业的表面分析软件包，用于创建更详细的报告。 表面粗糙度检测测头自动标定 传感器校准也通过坐标测量机软件程序自动执行。新的表面粗糙度校准块 (SFA) 安装在MRS交换架上，通过SFP1检测测头进行测量。软件然后根据校准块的校准值调整测头内的参数。 更多信息 详细了解雷尼绍的坐标测量机测头系统与软件，包括全新的坐标测量机改造服务。
    时间： 2012-05-22
    作者： 雷尼绍(Renishaw)
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  • 粗糙度仪 粗糙度仪知识 粗糙度仪分类 粗糙度仪资料厂家

    粗糙度∶以前一般叫表面光洁度，是用来评定工件表面质量的专业术语，最早一般用对比样板来评定工件表面粗糙度，从▲1到▲14一共分为14个等级，随着科技的发展使用者对工件表面质量要求也越来越高，原来的检测手段已经不能满足我们的需求，这也就加快了表面粗糙度仪的诞生。粗糙度仪是检测工件表面粗糙度的数字化电子仪器，由于准确度高、稳定性好、便于操作等优点迅速普及开来。　　粗糙度仪分类：　　粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称，国外先研发生产后来才引进国内，目前市场上粗糙度仪品牌主要有：英国泰勒粗糙度仪、德国马尔粗糙度仪、德国霍梅尔表面粗糙度仪、日本三丰粗糙度仪、东京精密粗糙度、瑞士泰萨粗糙度仪、英国易高粗糙度这些都是国外生产厂商品牌；国内生产厂家品牌主要有：北京时代粗糙度仪、哈量粗糙度仪、宁波联合、上海泰明、304、威尔逊、兰泰等。其中时代集团生产的粗糙度仪（时代粗糙度仪）在国内占有80%左右的市场份额。粗糙度仪从测量原理上主要分为两大类：接触式和非接触式，接触式粗糙度仪主要是主机和传感器的形式，非接触式粗糙度仪主要是光学原理例如激光表面粗糙度仪。从测量使用的方便性上说又可分为：袖珍式表面粗糙度仪（代表性产品主要有：时代TR100、TR101、TR110、TR150袖珍式表面粗糙度仪和现已停产的英国泰勒DUO袖珍式表面粗糙度仪）、手持式粗糙度仪（代表性产品主要有TR200/220手持式粗糙度仪、泰勒25粗糙度仪、M1/M2粗糙度仪等品牌型号，不一一列举）、便携式粗糙度仪（代表性产品主要有TR240便携式粗糙度仪和TR300粗糙度形状测量仪等）、台式粗糙度仪（品牌型号较多一一列举，有些手持式粗糙度仪和便携式粗糙度仪配上相应的测量平台即可以当台式粗糙度仪使用）。粗糙度仪从功能又可划分为：表面粗糙度仪、粗糙度形状测量仪（TR300粗糙度形状测量仪是界于表面粗糙度仪和表面粗糙度轮廓仪之间的一款测量表面粗糙度的仪器，也可说是微观表面粗糙度轮廓仪）和表面粗糙度轮廓仪（代表性产品主要有英国泰勒表面粗糙度轮廓仪、德国马尔粗糙度轮廓仪、德国霍梅尔表面粗糙度轮廓仪、日本三丰表面粗糙度轮廓仪）。 粗糙度仪测量原理　　测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统，DSP芯片将采集的数据进行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器上读出，也可在打印机上输出，还可以与PC机进行通讯。

  • 【原创大赛】试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果的影响

    【原创大赛】试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果的影响

    [align=center][b]试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果的影响[/b][/align][align=center]杨德维[/align][align=left]摘 要：通过相关试验分析和探讨试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果的影响，并指出其对实际工作的指导性意义。[/align]关键词：表面粗糙度、洛氏硬度、国家标准、试验原理1 引言 硬度是评定金属力学性能常用指标之一，就已经标准化的金属硬度试验方法而言，硬度的实质是材料抵抗另一较硬材料压入的能力。硬度是体现材料弹性、塑性、强度、韧性及磨损抗力等多个物理量的综合性能，通过硬度试验可以反映金属材料在不同的化学成分、组织结构及热处理工艺条件下性能的差别，因此硬度试验广泛应用于金属材料性能的检验、监督热处理工艺质量及新材料的研制。 硬度试验的特点是：它属于在非破坏条件下进行的试验，测试方法比较简单，对试样的形状及尺寸适应性较强，试验效率较高，这些都是硬度试验方法得到广泛适用的原因。 目前，我国已经有了布氏硬度、维氏硬度、洛氏硬度、里氏硬度、努氏硬度和肖氏硬度试验方法的国家标准。虽然硬度试验方法相对比较简单，但影响测试结果准确度和离散度的因素很多，比如：试验装置、试样、操作方法等，这些因素在不同的硬度试验方法中影响的程度各不相同。2 试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果的影响2.1 国家标准规定 本次选取洛氏硬度，来进行试样表面粗糙度对洛氏硬度测试结果影响的探讨和研究。 GB/T 230.1-2009《金属材料洛氏硬度试验第1部分:试验方法(A、B、C、D、E、F、G、H、K、N、T标尺)》中对试样的表面质量规定：“试样表面应光滑平坦，无氧化皮及外来污物，尤其不应有油脂，建议试样表面粗糙度Ra不大于0.8μm，产品或材料标准另有规定除外。”此规定是在2004版标准发布时增加的内容。 从标准要求中我们不难看出两个要点：一、要尽量保证试样表面是一个平面；二、要求表面粗糙度不能过于粗糙。2.2 试验准备 为了研究表面对洛氏硬度测试结果准确度和离散度的影响我们也做个一些试样实物的研究。 我们加工了一些试样。为了避免其他因素，如试样的材质、硬度均匀性、试样厚度等引入的测试误差，我们设计了如下方案：首先选取一根直径为40mm的棒材，经过一定的热处理工艺得到某一硬度，然后用线切割的方法获得厚度为10mm的试样，分别对试样表面进行机加工获得不同的表面粗糙度：Ra3.2、Ra1.6、Ra0.8、Ra0.4、Ra0.2，分别对试样进行测量，从测试数据分析表面粗糙度度对洛氏硬度的影响；选取30HRC和50HRC分别加工两组这样的试样。2.3 实测数据 按照设计的方案，试样加工完成后，用表面粗糙度测试仪对试样的表面粗糙度进行了测试，得到了两组粗糙度梯度明显的试样，见表1。[img=,674,158]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251711_01_3048281_3.png[/img][img=,690,284]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251711_02_3048281_3.png[/img][img=,560,252]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251712_01_3048281_3.png[/img][img=,690,527]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251711_04_3048281_3.png[/img][img=,482,253]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251712_02_3048281_3.png[/img][img=,487,248]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/08/201708251711_03_3048281_3.png[/img]2.4 试验结论 从这两组数据可以看出，试样表面粗糙度值大于0.8μm时，随着粗糙度增加，洛氏硬度示值变化波动增大，试验数据比较分散，硬度值减小，而小于等于0.8μm时，硬度示值变化波动减小，硬度值也趋于稳定。3 分析 硬度的实质是材料抵抗另一较硬材料压入的能力，洛氏硬度试验是使用测量压痕深度的原理计算硬度值。 试样表面粗糙度的增加表明微观上表面的凹凸不平幅度变大，在相同试验力作用下压头压入时所受到的抗力就减小了，压入深度就会更大些，因此在较粗糙的试样上反映出的洛氏硬度值偏小。当试样表面粗糙度减小，即试样表面向理想平面接近，那么其表面的凹凸不平幅度减小，压头压入的抗力增加，压入深度就会减小，硬度值变大；但当粗糙度达到一定值时，此种变化的斜率会趋于水平。4 结论4.1 当试样表面粗糙度变大时，洛氏硬度试验数据的离散度变大。4.2试样表面粗糙度值大于0.8μm时，随着粗糙度增加，洛氏硬度示值变化波动增大，硬度值减小。4.3 试样表面粗糙度值小于等于0.8μm时，硬度示值变化波动减小，硬度值也趋于稳定。4.4 国家标准规定“试样表面粗糙度Ra不大于0.8μm”是合理的，可以保证测试结果的准确度和离散度。5 结论对实际应用的指导性 表面粗糙度对洛氏硬度测试结果有着一定的影响，国家标准关于洛氏硬度测试过程种关于表面粗糙度的规定虽然是建议性的，但是对于我们检测机构来说却是合理和必要的。 在其他硬度的国家标准中对试样表面粗糙度也有类似的要求，所以我们在硬度的检测时一定要考虑到表面粗糙度度对硬度测试结果的影响。如果表面粗糙度达不到标准规定的要求，应考虑测试结果的准确性和应对试样在不破坏硬度的基础上对表面进行必要的加工处理。

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