自动扫描四探针测试仪

FT-3110系列全自动四探针测试仪一.功能描述：四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.FT-3110系列全自动四探针测试仪二.适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等. FT-3110系列全自动四探针测试仪三.技术参数： 规格型号FT-3110AFT-3110B1.电阻10^-5～2×10^5Ω10^-6～2×10^5Ω2.方块电阻 10^-5～2×10^5Ω/□10^-6～2×10^5Ω/□3.电阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm10-7～2×106Ω-cm4.测试电流 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA5.电流精度 ±0.1% 6.电阻精度 ≤0.3%7.PC软件操作PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、报表生成等8.压力范围：探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调9.探针针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制10.可测晶片尺寸选购 晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm11.分析模式单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试12.加压方式测量重复性：重复性≤3% 13.安全防护具有限位量程和压力保护 误操作和急停防护 异常警报14.测试环境真空15.电源输入: AC220V±10%.50Hz 功 耗：瑞柯全自动四探针测试仪

01MFM（Magnetic Force Microscopy，磁力显微镜）磁力显微镜（Magnetic Force Microscopy，MFM）是一种专门用于成像样品表面的磁性分布的扫描探针显微镜，通过探针和样品之间的磁力相互作用来获得信息。MFM应用MFM主要用于研究材料的磁性特征，广泛应用于物理学、材料科学、电子学等领域。常见的应用包括：磁记录介质：研究硬盘、磁带等磁记录设备的磁性结构和缺陷；磁性材料：分析磁性薄膜、纳米颗粒、磁性多层膜等材料的磁畴结构；生物磁性：研究生物组织中天然存在的磁性物质，如磁性细菌。应用实例在自旋存储研究中，以斯格明子的研究为例，传统的磁存储单元受限于材料性质，显著影响自旋存储的高密度需求。斯格明子是一种具有拓扑性质的准粒子，其最小尺寸仅为3nm，远小于磁性隧道结，是理想的信息载体，有望突破信息存储密度的瓶颈。下图为通过MFM表征获取的斯格明子图像。[1]标准斯格明子M-H曲线 斯格明子图像在磁盘研究中，通过MFM可以获取磁盘表面的高分辨率磁性图像，详细了解其磁畴结构和分布情况。MFM具有高空间分辨率和灵敏度，为磁盘材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过MFM测试获取的磁盘表面磁畴结构图像。电脑软盘磁畴图像02PFM（Piezoresponse Force Microscopy，压电力显微镜）压电力显微镜（Piezoresponse Force Microscopy，PFM）是一种用于研究材料压电性质的扫描探针显微镜，利用探针与样品表面之间的逆压电效应来成像和测量材料的压电响应。材料由于逆压电效应产生形变示意图 [2]PFM应用PFM广泛应用于材料科学和电子学领域，尤其是在研究和开发新型压电材料和器件方面。具体应用包括：铁电材料：研究铁电材料的畴结构、开关行为和退极化现象。压电器件：分析压电传感器、致动器和存储器件的性能。生物材料：研究生物组织中的压电效应，例如骨骼和牙齿。应用实例具有显著的压电效应，即在外加机械应力作用下产生电荷。这使其在超声波发生器、压电传感器和致动器中具有重要应用。在研究PbTiO3样品时，通过PFM，可以获取PbTiO3表面的高分辨率压电响应图像，详细了解其畴结构和分布情况，为PbTiO3材料的研究和优化提供了重要的数据支持。下图展示了通过PFM测试获取的PbTiO3样品表面压电力图像。PbTiO3垂直幅度图PbTiO3垂直相位图03EFM（Electrical Force Microscopy，静电力显微镜）静电力显微镜是一种用于测量成像样品表面的电静力特性的扫描探针显微镜。EFM通过探针与样品表面之间的静电力相互作用，获取表面电荷分布和电势信息。静电力显微镜（抬起模式）[3]EFM应用EFM广泛应用于材料科学、电子学和纳米技术等领域，常见的应用包括：电荷分布：测量和成像材料表面的电荷分布。表面电势：研究材料表面的电势分布和电特性。半导体器件：分析半导体器件中的电特性和缺陷。纳米电子学：研究纳米级电子器件的电性能。应用实例Au-Ti条带状电极片静电力04KPFM（Kelvin Probe Force Microscopy，开尔文探针力显微镜）KPFM是一种通过探针与样品之间的接触电势差来获取样品功函数和表电势分布的扫描探针显微镜。KPFM广泛应用于金属、半导体、生物等材料表面电势变化和纳米结构电子性能的研究。KPFM 获取 Bi-Fe薄膜样品表面电势 [4]KPFM应用KPFM在材料科学、电子学和纳米技术等领域具有广泛的应用，常见的应用包括：表面电势分布：测量和成像材料表面的局部电势分布。功函数测量：研究材料的功函数变化，特别是对于不同材料的界面和缺陷。半导体器件：分析半导体器件中的电势分布和电学特性。有机电子学：研究有机半导体和有机电子器件的表面电势。应用实例Au-Ti条带状电极片表面电势05SCM（Scanning Capacitance Microscopy，扫描电容显微镜）扫描电容显微镜（Canning Capacitance Microscopy，SCM）是一种用于测量和成像样品表面的电容变化的扫描探针显微镜。SCM能够通过探针与样品表面之间的电容变化，提供高分辨率的局部电学特性图像。这种显微镜适用于研究半导体材料和器件的电学特性，如掺杂浓度分布、电荷分布和界面特性等。SCM在半导体工艺和材料研究、故障分析以及器件优化中发挥着重要作用。通过SCM，研究人员能够获得纳米尺度的电学特性信息，从而推动半导体技术的发展和创新。SCM原理示意图 [5]SCM应用SCM主要应用于半导体材料和器件的研究，广泛应用于电子学和材料科学领域。具体应用包括：掺杂分布：测量和成像半导体材料中的掺杂浓度分布。电荷分布：研究半导体器件中的电荷分布和电场。材料特性：分析不同材料的电容特性和介电常数。06致真精密仪器自主研发的原子力显微镜科研级原子力显微镜AtomEdge产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例参考文献：[1]Li S, Du A, Wang Y, et al. Experimental demonstration of skyrmionic magnetic tunnel junction at room temperature[J]. Science Bulletin, 2022, 67(7): 691-699.[2]Kalinin SV, Gruverman A, eds. Scanning Probe Microscopy: Electrical and Electromechanical Phenomena at the Nanoscale. Springer 2007.[3] https://www.afmworkshop.com/products/modes/electric-force-microscopy[4] https://www.ornl.gov/content/electrostatic-and-kelvin-probe-force-microscopy[5] Abdollahi A, Domingo N, Arias I, et al. Converse flexoelectricity yields large piezoresponse force microscopy signals in non-piezoelectric materials[J]. Nature communications, 2019, 10(1): 1266.本文由致真精密仪器原创，转载请标明出处致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 四川省-成都市-金牛区 状态：公告 更新时间： 2022-12-18 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 2022年12月18日 14:51 公告信息： 采购项目名称 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表,货物/通用设备/仪器仪表/光学仪器/光学测试仪器 采购单位 电子科技大学 行政区域 成都市 公告时间 2022年12月18日 14:51 获取采购文件的地点 成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司） 获取采购文件时间 2022年12月19日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 预算金额 ￥394.000000万元（人民币）联系人及联系方式： 项目联系人 周女士、尹女士 项目联系电话 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 采购单位 电子科技大学 采购单位地址 成都市高新区（西区）西源大道2006号 采购单位联系方式 张老师028-61830809-802 代理机构名称 中恒德佳工程咨询有限公司 代理机构地址 成都市金牛区金科中路18号六楼 代理机构联系方式 周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 附件： 附件1 采购清单.docx 项目概况 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购项目的潜在供应商应在成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）获取采购文件，并于2022年12月22日 10点00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：HW20220025701 项目名称：电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购方式：竞争性谈判 预算金额：394.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：394.0000000 万元（人民币） 采购需求： 详见附件 合同履行期限：合同签订后12个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： / 3.本项目的特定资格要求：/ 三、获取采购文件 时间：2022年12月19日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司） 方式：1、谈判文件自2022年12月 19日至2022年12月21日09:00-12：00,14:00-17:00在现场或者线上获取。谈判文件售价：人民币300元/份谈判文件售后不退, 投标资格不能转让）。 2、报名资料要求： 1.法定代表人授权委托书原件或公司介绍信原件注明所报项目名称 【1.1法定代表人和授权代表签字；1.2加盖公章；1.3附带法定代表人及授权代表的身份证复印件加盖公章】 （1）现场报名方式：获取谈判文件时，经办人员提交上述所要求的报名资料到成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）招标部提交上述所要求的报名资料。 （2）线上报名方式：获取谈判文件时，经办人员提交上述所要求的报名资料扫描件通过邮件方式发送至3779231@qq.com（具体办理事项请电话联系028-61363972）。 售价：￥300.0 元（人民币） 四、响应文件提交 截止时间：2022年12月22日 10点00分（北京时间） 地点：四川省成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）开标厅 五、开启 时间：2022年12月22日 10点00分（北京时间） 地点：四川省成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）开标厅 六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 七、其他补充事宜 八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：电子科技大学 地址：成都市高新区（西区）西源大道2006号 联系方式：张老师028-61830809-802 2.采购代理机构信息 名 称：中恒德佳工程咨询有限公司 地 址：成都市金牛区金科中路18号六楼 联系方式：周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 3.项目联系方式 项目联系人：周女士、尹女士 电 话： 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：扫描探针,COD消解仪 开标时间：2022-12-22 00:00 预算金额：394.00万元 采购单位：电子科技大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：中恒德佳工程咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 四川省-成都市-金牛区 状态：公告 更新时间： 2022-12-18 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜竞争性谈判公告 2022年12月18日 14:51 公告信息： 采购项目名称 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表,货物/通用设备/仪器仪表/光学仪器/光学测试仪器采购单位 电子科技大学 行政区域 成都市 公告时间 2022年12月18日 14:51 获取采购文件的地点 成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司） 获取采购文件时间 2022年12月19日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 12:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 预算金额 ￥394.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 周女士、尹女士 项目联系电话 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 采购单位 电子科技大学 采购单位地址 成都市高新区（西区）西源大道2006号 采购单位联系方式 张老师028-61830809-802 代理机构名称 中恒德佳工程咨询有限公司 代理机构地址 成都市金牛区金科中路18号六楼 代理机构联系方式 周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 附件： 附件1 采购清单.docx项目概况 电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购项目的潜在供应商应在成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）获取采购文件，并于2022年12月22日 10点00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：HW20220025701 项目名称：电子科技大学波与物质相互作用省部级重点实验室筹建低温原位扫描隧道显微镜 采购方式：竞争性谈判 预算金额：394.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：394.0000000 万元（人民币） 采购需求： 详见附件 合同履行期限：合同签订后12个月内交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： / 3.本项目的特定资格要求：/ 三、获取采购文件 时间：2022年12月19日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司） 方式：1、谈判文件自2022年12月 19日至2022年12月21日09:00-12：00,14:00-17:00在现场或者线上获取。谈判文件售价：人民币300元/份谈判文件售后不退, 投标资格不能转让）。 2、报名资料要求： 1.法定代表人授权委托书原件或公司介绍信原件注明所报项目名称 【1.1法定代表人和授权代表签字；1.2加盖公章；1.3附带法定代表人及授权代表的身份证复印件加盖公章】 （1）现场报名方式：获取谈判文件时，经办人员提交上述所要求的报名资料到成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）招标部提交上述所要求的报名资料。 （2）线上报名方式：获取谈判文件时，经办人员提交上述所要求的报名资料扫描件通过邮件方式发送至3779231@qq.com（具体办理事项请电话联系028-61363972）。 售价：￥300.0 元（人民币） 四、响应文件提交 截止时间：2022年12月22日 10点00分（北京时间） 地点：四川省成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）开标厅 五、开启 时间：2022年12月22日 10点00分（北京时间） 地点：四川省成都市金牛区金科中路18号6楼（中恒德佳工程咨询有限公司）开标厅 六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 七、其他补充事宜 八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：电子科技大学 地址：成都市高新区（西区）西源大道2006号 联系方式：张老师028-61830809-802 2.采购代理机构信息 名 称：中恒德佳工程咨询有限公司 地 址：成都市金牛区金科中路18号六楼 联系方式：周女士、尹女士028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899 3.项目联系方式 项目联系人：周女士、尹女士 电 话： 028-61363972、028-61363971-805、028-61363971-899