质谱质量精度计算方法

Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO：开启质谱新时代依托超过 30年在线质谱仪的成功研发应用经验，新一代 Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括： 天然气处理 烯烃生产 裂解炉优化 环氧乙烷 /乙二醇 聚烯烃生产 合成氨 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏 凭借着经实践证明的更快、更全面的在线气体成分分析能力，Prima PRO可以对多流路气体进行精确分析，进而提高产量。它维护量少、易于操作并且可提供可靠、实时的数据到 DCS系统，从而确保投资回报率。基于和Prima PRO相同的操作平台， Sentinel PRO环境质谱仪以其众多同样的优势，被设计用于满足微量泄漏环境监测的需要。半连续监测 60-120个取样点及高灵敏度的检测能力，确保可靠的泄漏检测，从而提高生产装置的安全性和生产制度的规范性。此外，单台 Sentinel PRO或 Prima PRO可以轻松取代多台气相色谱仪（GC），减少取样时间，简化维护程序，更重要的是降低整体投资成本。操作原理Prima PRO、Sentinel PRO进行稳定、快速气体分析首选技术的基础是扫描磁扇质谱技术。利用这种技术，气体可以通过一个多流路进样阀源源不断的从取样系统到达离子源，在这里，气体分子被离子化和碎片化。离子被高能电场加速后进入电磁质量分析器，目标离子进入检测器。分子碎片能够产生重复性极好的“指纹”谱图，这可以让具有相似分子量的气体被精确测量而不受干扰。内置控制器使用一系列的工业标准协议，将气体浓度数据和其他诸如热值和碳平衡的计算数据直接传送到过程控制系统。耐用性和容错性设计在显著降低维护要求的同时，可以保证 99.7%以上的投用率。新型号带来更高的投资回报率 快速在线气体分析（每个取样点 1至20秒），准确反映工艺 动态 全组分气体分析，提供更多的数据给先进过程控制系统（APC)高稳定性，90天的标定间隔(自动) 可靠，容错设计，确保投用率超过99.7% 占地面积小 最少的维护量需求，降低运营成本天然气加工原料气可能来源于附近的气田或其他加工过程（如炼油厂的尾气），以及油田收集的伴生气。因此，气体工厂来料的体积和成份会有很大的差别。通常天然气含有 85%的甲烷和数量不定的天然气凝液（ NGL），包括液化乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、戊烷和更重烃（C5+）、惰性气体（典型的是氮和氦），和硫化氢（H2S）、二氧化碳（CO2）等酸性气体。酸性气体通过采用膜分离技术或氨水溶液进行脱除。硫是通过硫装置（或 Claus装置），采用加热和催化两步法将硫化氢中的硫还原为单质硫。对于剩余气体（通常称之为尾气），要对其残留的硫化氢进行处理，随后焚烧。气体工厂在把原气分馏为残留气体、乙烷、丙烷、丁烷和天然汽油产品前要去除水蒸汽、微量的汞和氮气。分馏系统的各阶段依靠馏份的沸点差来分馏各个烷烃。Prima PRO：快速、精确的气体成分分析利用Prima PRO，可对加工气体的成分进行快速、高精度的在线分析。分析包括全面和精确的成分分析以及热值（粗热值和净热值）、密度、比重、华比指数、化学需气量和燃烧需气量指数（CARI）的计算。燃烧需气量用于加工厂燃烧气体时对燃烧的控制。Prima PRO还能为控制气体加工阶段的物料平衡方程提供精确的气体组成数据。Prima PRO还有下列优点： 减少能源消耗（燃气和电能） 提高液化产品的回收 精确测量产品的能值 减少向环境中的排放烯烃生产典型的烯烃厂有两个基本工段：裂解炉和分馏系统。烯烃裂解炉或热解炉将饱和烃裂解成较小的不饱和烃。生产较轻的烯烃，包括乙烯、丙烯和丁烯所用的主要工业方法是蒸汽裂解法。在这一过程中，用蒸汽稀释气态或液态的烃原料（即石脑油、液化石油气、氢裂粗柴油或简单乙烷和丙烷混合物），并在裂解炉内短时加热。典型的反应温度很高（约为 850℃），反应时间限制在一秒钟内。在现代的裂解炉中，驻留时间缩短到毫秒级，产生超音速气流，从而提高所需产品的产量。当达到裂解温度以后，气体在传输线热交换器中急速骤冷以停止反应。反应时的产量取决于进料的成份、烃与蒸汽的比例、裂解温度和炉内驻留时间。轻烃物料，包括乙烷、液化石油气或轻石脑油，产生的产品富含轻烯烃，包括乙烯、丙烯和丁二烯。石脑油和炼油厂液态原料不仅可生产出这些轻质烯烃的一部分，还能生产出富含芳香烃产品，适于高温热解汽油或燃油。较高的裂解度，有利于乙烯和苯的生成，而较低的裂解度则生产较多数量的丙烯、C4烃和液态产品。这一过程也会导致焦炭慢慢沉积在炉管或裂解盘管壁上。由于炭层会限制热传导和增加压降，因此反应器的效率会降低。设计反应条件时应使焦炭沉积的速率减小到最低。采用动力学模型预测焦炭层的厚度，以保证依赖炉温的裂解效果能被预测。蒸汽裂解炉通常只能运行几个月，就需从裂解线上分离出来除炭。蒸汽或蒸汽 /空气混合气通过裂解炉盘管，可以使硬质固体的炭层转化为一氧化碳和二氧化碳。当这一反应完成后，裂解炉就可重新使用。另一种方法是离线的低温机械式清除法，用低温碱性清洗剂去除盘管上的沉积炭是有效的。不管用何种方法，在除炭过程中每一台炉要至少停炉27小时。以下的内容介绍了如何利用Prima PRO使裂解炉的使用得以优化。裂解炉优化的基本原理在任何给定时刻，产量取决于许多因素，包括原料成份、稀释蒸汽流量、烃流量、盘管温度分布（即炉子燃烧率和燃料能量）、炉子抽力和盘管焦炭成份。模型预测控制（MPC）利用多种测量参数，如盘管出口温度和进料率等来预测上述因素。这样，温度和驻留时间可以优化，在使焦炭沉积率最小的同时，实现烯烃的最高产量。虽然众多过程变量的关系是复杂的，但如果裂解度太低，乙烯产量将会很低。如果裂解度太高，则积炭率也会高，产量的减少也将是不可接受的。裂解度技术比较当动力学模型没有成份反馈时，实际的裂解度如何随时间变化。在这种情况下，一台气体裂解装置通常有62%的乙烯产率。使用在线气相色谱仪（GC）测量实际裂解度指数的益处（如丙烯/乙烯比和丙烯/甲烷比）。采用这种六分钟间隔的定时测量，就能通过提高裂解度的设定值来强化对裂解度的控制。这种升级一般能使气体裂解装置的产量提高 5%。这就是为什么世界上多数乙烯装置将气相色谱仪用于过程控制的原因。图4c说明了在一个更现代化的装置上用 Prima PRO取代气相色谱仪所带来的更强的控制。由于Prima PRO快速分析，可以用一台在线质谱仪（MS）取代 5台气相色谱仪，并把取样间隔从6分钟缩减到2分钟，从而得到另外 2%的增产。应注意到，由于在这个动力特性很强的过程中速度是很重要的，气相色谱分析将限定在 C1到C3分析。它能满足对于实际裂解度指数的测量，但不能提供足够的数据使动力学模型能精确地预测由于重烃的凝结和聚合作用所产生的焦炭沉积率。因此，在一般的装置中，对于速度很低的 C1烃到C4烃的扩展分析要用附加的气相色谱仪，以提供动力学模型所需数据。对于液态物料裂解炉，这种分析还要进一步扩展到 C5烃，以计算动力裂解因子（KSF），这一因子用于根据市场条件优化特种烯烃的生产。通常会将附 加的扩展分析色谱仪多路配置，使每一台气相色谱仪能监测 4到5台炉。然而，使用一台Prima PRO就能监测炉内裂解产物而无需额外的装置。Prima PRO的扩展分析还能提供对重烃进行监测的附加功能，重烃通常被 Thermo Scientific PyGas自清洗取样器所去除。这一数据能预测当样品处理系统发生故障时的维护能力，从而保证更可靠的运行。裂解度控制成本/效益分析Prima PRO解决方案一台配置了60个取样口和24个标定口的Prima PRO 在线质谱仪。如图7所示，一对有类似配置的冗余质谱仪系统可以取代15个气相色谱仪，这能节省约33%的成本，并具有更先进的分析性能。另外，两台Prima PRO可安装在相对便宜的分析小屋中，大约是气相色谱仪的分析小屋成本的25%。维护成本也只有气相色谱仪方案成本的20%左右。虽然Prima PRO的标定气体消耗要高一些，但与气相色谱仪的购置成本和维护费用相比，其费用是极低的。另外，Prima PRO不需要助燃气或载气，这是一种更经济的解决方案。气相色谱仪解决方案气相色谱仪的典型配置，用10台气相色谱仪控制裂解度，5台气相色谱仪提供所需数据用于APC动力模型分析。此方案的成本约100万美元；另外，在所有季节中都要进行维护。有些气相色谱仪能够完全补偿气候的影响，装在室外无需庞大、昂贵的分析小屋，而大多数则不能。一个预制的分析小屋包括全套的样品预处理系统、通讯设施及其他必要的公用工程，分析小屋在为维护人员提供良好工作环境的同时，大的分析小屋也带来了更高的制造成本。如果有很多气相色谱仪需要维护，总拥有成本就会很高：每年每台气相色谱仪大约要7000美元的维护费，这还不包括载气、助燃气和标定气体的消耗等费用。环氧乙烷 /乙二醇环氧乙烷（EO）是通过氧化银催化剂直接氧化乙烯而成的。由于环氧乙烷分子活性极强，因此生产通常与容易运输的乙二醇生产结合在一起。先对乙烯、压缩氧气和循环气预热，然后将这些气体注入装有氧化银催化剂环管反应器中的一个。由于生产中的目标分子不是二氧化碳和水，所以可通过氯化合物添加剂来改进选择性。催化剂的活性随时间而降低，要求逐步提高反应温度。为了增强反应器的燃烧率，要加入甲烷。 Prima PRO：最佳气体分析解决方案 Prima PRO能利用精确测量选择性和测量碳氧分子平衡实现气体分析过程的最优化。采集的数据经常用于控制氯添加剂。Prima PRO也能用于催化剂的开发研究，其目的是在高活化率的条件下增加催化效率。聚烯烃生产聚乙烯（PE）主要按其密度和支链分为几种不同的类别。聚乙烯的物理性能主要取决于几个变量，包括支链的长度和类型，晶体结构和分子量。高密度聚乙烯（HDPE）的支链少，因此具有较强内部分子力和抗拉强度。选择适当的催化剂和反应条件可以减少支链。线性低密度聚乙烯（LLDPE）是一种有大量短支链的聚合物，通常由乙烯与短链α烯烃（如：1-丁烯、1-己烯和1-辛烯）发生共聚作用形成。可利用一个或两个流化床气相反应器的交换工艺来制造全范围聚合物。这些聚合反应器的进料为乙烯、氢气、共聚单体和循环气。聚合物的质量是通过气体组份来控制的，这就需要准确、快速在线分析Prima PRO：精确，快速和多流路监测实验期间生成的数据。其中将专为监测五个工艺流路而配置的Prima PRO与专为监测反应器进料气体组分而整理的GC数据进行比较。Prima PRO清楚追踪了氢气/乙烯比的变化，精度高于GC。此外，Prima PRO更新DCS的速度要比单流路GC快九倍，即便Prima PRO测量五个流路亦是如此。在前四十个PMS数据点中，DCS试图利用GC数据来控制这个比率。当控制切换至Prima PRO数据时，此比率变化的监测得到显著改进，包括： 产品质量更稳定 分子量分布更集中 不合格产品更少 稳态动力学有所改进合成氨从烃进料中除去硫，然后与蒸汽混合通过镍基催化剂，生成氢气和一氧化碳。通过将蒸汽 /碳比维持在 3:1以上，将单质碳的形成减至最低限度，从而保护催化剂。未反应的甲烷（称作“损耗”）亦需控制在较低水平，以便优化转化炉 /变换炉的性能。在次级重整 /裂化装置中，空气在流量控制条件下引入，使氢 /氮比为 3:1。空气中的氧气可将大部分 CO氧化成 CO2，同时加入蒸汽，以便将剩余的 CO转化为CO2和氢气。在吸收塔中除去大部分CO2，微量的碳在催化剂作用下转化成甲烷。转炉进料气与循环气混合，转炉入口处的氢 /氮比（H:N）再次受到严格控制，以实现NH3转化效率的最大化。进气中所包含的惰性气体（如：氩气和氦气）的聚集情况需要予以监测，因为这些气体如果不定期清除的话，会成为重要的稀释剂。Prima PRO：稳定，可靠的在线气体分析 进气组分和热值计算精度最高；因严格控制蒸气/碳比（±0.01%）而减少消耗掉的能量 精确控制氢 /氮比（±0.003%），使产量最大准确测量甲烷损耗，以降低生产成本与较慢的色谱或稳定性较差的质谱控制作用相比，高取样率（在不到两分钟内10至12流路）可使产量提高1%至2%总成本极低 快速收回成本 有毒挥发性有机物（VOC）的泄漏只要化学品生产装置存在，就存在有毒挥发性有机物泄漏的潜在危险，监管机构通常都会要求工厂监测环境气体成分，以避免工人受到长期接触的伤害。有各种形式的捕获装置包括真空罐（苏玛罐）、可挥发性有机物报警器或吹扫和捕获装置。收集到的样品需要送往环境实验室进行分析。另外，还可利用电化学传感器来即时显示是否存在浓度超过预定水平的目标分子。还有一种定量方法是使用开路式傅利叶变换红外光谱仪测定VOC是否在警戒线以内。利用这些不同技术获得的数据，通常都用来满足当地法规的要求。然而，这些技术都不能提供满足诉讼依据要求的时间和空间的分辩率。Sentinel PRO环境质谱仪：简单全面的数据采集Sentinel PRO环境质谱仪能够在15分钟以内监测100个以上的取样点，并在0.01至1ppm精度范围内检测特定物质。凭借其速度和精度，它可监测所有关键区域的短时泄漏，并提供准确的8小时、时间加权平均泄露数据。由于具有大量可用的取样点，许多取样点可位于靠近潜在泄漏点的地方，如：阀杆处等，以便在有毒危害发生之前进行泄漏检测和修复。尽管安装这种装置的主要目的是为了保护操作人员和符合环保法规，但其使用效果往往超越了对泄露防护的要求。

AMD10（GC / MS）建立在经典的单四极杆质谱技术原理的基础上，结合了电子学和新材料的新进展，从而获得了更好的性能和高效率特征。 仪器检出限和信噪比名列前茅 业界先进的线性动态范围 惰性陶瓷制成的等温离子源专为生物样品和植物提取物的高基质提取物而设计！ 长寿命电子倍增器 人体工学设计，便于检修的离子源和电子倍增器 内置的UPS，一个自我保护模块，保护仪器不受电源不稳定、中断、激增和峰值的影响 自带方法设置向导的单窗口用户界面软件性能指标1.离子源离子化模式：EI 离子化电压：5 eV ～ 100 eV离子源温度：150–350 °C灯丝：双灯丝结构惰性等温陶瓷离子源维护简单，清洗离子源，只需从真空腔体前抽出，而且离子源上接线数量少（3根）。可直接更换灯丝，无需拆解离子源。2.质谱质量分析器：S型预过滤器完全消除光子和中子，并且引导离子无损失地进入四极杆。先进设计的高精度四极杆质量过滤器根据它们的质／荷比有效地分离离子。m/z范围：2-1200 amu灵敏度：EI 全扫描，进1-μL 1 pg/μL OFN，扫描范围为50-300，质荷比为272.S/N信噪比80 L/sec涡轮分子泵1500:1或者更高300 L/sec 涡轮分子泵1500:1或者更高仪器检出限（IDL）: 仪器检出限（IDL）EI选择离子扫描，质荷比为272，进1-μL 100fg/μL OFN80 L/sec涡轮分子泵10 fg300 L/sec 涡轮分子泵10 fg 质量轴稳定性：优于0.10amu /48h最大扫描速度：可达20,000 amu/s传输线温度：最高温度350℃射频电源:1.0MHz电路板模块的互换性。3.检测器拥有在低电压下工作的高能打拿极和长寿命电子倍增器的三轴检测器。线性动态范围 5*10^64.真空系统分子涡轮泵：涡轮分子泵，抽速85L/s、300L/s可选前级机械泵：Edwards机械泵,抽速1.5 m3 /h5.数据系统软件：PANNA Maestro操作分析软件，中/英文可选。模式：SCAN、SIM。应用调谐：一键式自动调谐（BFB、DFTPP）。谱库：NIST, Wiley/NIST, Maurer/Pfleger/Weber, Rosner。解卷积：复杂基质中的痕量化合物的定性与定量的专有集成解卷积算法。数据资源管理工具：一组测量数据快速浏览，手动提取谱图和离子色谱图。测量数据批量处理：多个实验数据的批处理，用户自定义批处理。自动积分工具-解卷积工具：从质谱图中提取化合物谱的列表。导出工具：数据转换为AMDIS可读的格式（“全扫描”模式的质谱图）。iDwell 时间工具：在SIM模式下自动分配驻留时间, 在SIM离子测量速率和灵敏度之间提供更佳的平衡点, 而不需考虑每个时间段的离子质量数量。SIM库：专门选用 SIM 离子质量的内置库, 具有参考强度和化学化合物 IDs (CAS 号)。该库可由用户编辑。对于给定的目标化合物, 可以通过几下鼠标点击从库中搜索数据。智能检测测量方法：一些参数检查有助于在创建方法的过程中，防止用户设置不正确或不兼容的参数。SIM向导：一个强大的工具，从标准样品“全扫描”模式下测量的数据一步一步自动建立SIM方法。6.安装要求运行环境15–35℃ , 40–80%相对湿度-非冷凝(操作)–40–70℃ , 0–95%相对湿度-非冷凝(储存)电力220–240 V, 50/60 Hz 7.体积和重量尺寸（质谱）41.6 cm (w) × 59.0 cm(d) × 41.2 cm (h)自动进样器、样品盘、数据系统和打印机应增加额外的空间重量（质谱）30 to 35 kg（取决于配置）

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置