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分享一篇关于高通量SEM的文献。《电子显微学报》2023年4月,第42卷第2期。本文重点阐述高通量扫描电镜概念与发展的过程,具体介绍了高通量扫描电镜拟要解决的问题和对应的设计思路,给出了综合数据通量的定义和影响因素。同时阐述了相应的实现手段,分别从重要模组角度介绍高通量扫描电镜的核心性能。通过实际案例计算,分析比较了高通量扫描电镜与标准场发射扫描电镜间的结果差异。探讨了高通量扫描电镜适合应用的领域,同时指出了目前的设计还存在的不足并展望该技术今后的发展前景。
大家实验室的透射电镜估计都是进口的,不过2007年国家启动了“场发射枪透射电子显微镜的研制”项目,由北航的姚骏恩院士牵头。网上的信息很少,不知道研制进展如何,谁能不能介绍一下目前的进展。非常期待能够看到中国人自己造的透射电镜。网上找到的两个老新闻:姚俊恩院士负责的“十一五”国家科技支撑计划课题通过论证 2007年2月6日下午,由科技部组织的“十一五”国家科技支撑计划课题“场发射枪透射电子显微镜的研制”实施方案论证会在我校举行。该“十一五”国家科技支撑计划课题由北航牵头,联合北京中科科仪技术发展有限责任公司和北京有色金属研究总院共同承担,项目负责人为北航理学院姚骏恩院士。... ...点击打开链接 风物长宜放眼量——访国家“十一五电镜项目”攻关单位之一、中科科仪张永明总裁... ... 具体到本课题研究内容和主要技术指标的确立,一方面是考虑到了客观实际条件。此次课题实施国家拨给的研制经费是2200万元,要求在三年时间里做出一台实验装置,一台产品样机。应当说无论是经费还是时间都非常紧张,所以在课题的研究试验当中可能会有所取舍。也许有些专家认为我们的技术指标提得有些低(譬如点分辨率0.25nm),提得不是很全面。但我本人的看法是,在目前现有的客观条件下,我们必须要从实事求是的角度出发,同时也要兼顾到现有的国情,开发出的产品首先满足一定范围内的用户提出的可靠、实用的要求。... ...点击打开链接
场发射电子显微镜能做磁性样品吗?为什么?谢谢!电镜为JEOL JEM 2100F