热场发射超大样品室扫描电镜

基于50年的扫描电镜研发经验，16-17下半财年伊始，日本电子株式会社发布了具有颠覆性设计的场发射扫描电镜JSM-IT300HR，并且在今年的法国欧洲里昂举行的电镜会上进行了JSM-IT300HR实机展示，大受好评。　　作为业内第一款易用型场发射扫描电镜，JSM-IT300HR拥有众多领先业界的特性：　　1) 摆脱了冷却循环水和空气压缩机，更不需要氮气瓶。第一次在场发射扫描电镜上实现只要有电源就可以安装。　　2) 样品仓超大，12英寸硅片(300mm直径)可直接放入观察。重样品可五轴方向移动。具有12个扩展接口。　　3) 标配低真空(可变压力)模式，兼顾材料科学与生命科学样品。　　4) 触摸屏点击操作，可摆脱键盘鼠标的束缚，实现远程操作。　　5) JEOL是世界上唯一同时生产电子显微镜和X射线能谱仪的厂家，哪怕是球差校正TEM上，JEOL的EDS技术也可以轻松实现原子级的分辨率。现在，JEOL将这种技术移植到SEM上来，JSM-IT300HR可配置一体化分析系统，实现一台显示器无缝切换SEM/EDS。　　6) 支持蒙太奇与光电光联显微镜技术。

在此前的两期推文中我们为大家介绍了两款钨灯丝扫描电镜“重新定义钨灯丝扫描电镜”的SEM3300和“操作不挑人，简约不简单”的SEM2000今天，针对有分析型需求的用户超大束流，超快分析的场发射扫描电镜SEM4000 它来了点开下方视频，观看震撼大片！场发射扫描电镜SEM4000SEM4000超大束流，超快分析熟悉国仪的朋友们都知道我们已经有了一款主打低电压高分辨的场发射电镜SEM5000那么SEM4000有什么不同？有什么新的特点？场发射扫描电镜SEM4000那就是电子束流大，分析速度快！非常适合有分析型需求的用户SEM4000有着最大超过200 nA的电子束流而且束流大小连续可调！大束流可以带来很多好处例如：相同信噪比情况下更快的成像速度、更大的能谱计数、更强的波谱仪信号束流连续可调，有利于选择最合适的成像和能谱条件SEM4000实拍见真章下方展示的是使用SEM4000拍摄的高、低真空样品图片枫香花粉在低真空模式下形貌保持良好，表面细节丰富、整体层次分明 SEM4000电子束流大，背散射像下原子序数相近材料的成分衬度差异明显（PA-玻纤复合材料） 应用高亮度的热场发射电子源，SEM4000可以获得高分辨图片（金刚石涂层）枫香花粉PA-玻纤复合材料金刚石涂层SEM4000技术解读SEM4000是如何同时做到大束流和束流连续可调？国仪量子电镜研发团队采用了束流控制透镜+像方束张角控制透镜的方案也就是先用一个透镜，控制电子源方向的束张角，从而获得连续可调的电子束流（图a）图a然后再用第二个透镜，控制像方束张角（图b）图b从而实现不同束流下的最佳分辨率和景深使得绝大多数工况下成像质量最优！如果您需要用到分析功能并且追求更高、更快的分析效率那么场发射扫描电镜SEM4000一定是您的最佳拍档！

2024年7月9日，由中国材料研究学会主办、欧洲材料研究学会联合主办、广东工业大学协办的中国材料大会2024暨第二届世界材料大会在广州白云国际会议中心盛大开幕。本届大会是在加快推进高水平科技自立自强大背景下举办的新材料领域跨学科、跨领域、跨行业的学术交流大会，是中国新材料界学术水平高、涉及领域广、前沿动态新的品牌大会。借此盛会，仪器信息网采访了浙江祺跃科技有限公司（以下简称“祺跃科技”）祁贵云及德国ELLCIE公司CEO Martin Klein。采访中，祁贵云先生介绍了本次参会所展示的新品、解决方案，及与ELLCIE公司合作的背景。Martin Klein先生分享了他发展大腔室扫描电镜的初衷，介绍了大腔室扫描电镜的特点及其在欧洲、中国市场中的应用现状与前景。仪器信息网：本次是贵公司第几次参加中国材料大会？参会感受如何？祁贵云：我们公司是第二次参加中国材料大会。在参会过程中，我也有幸听取了很多材料领域专家的报告，同时也参观了其他厂商的相关产品，也同许多应用我们公司产品的老师或专家进行了探讨。通过这次大会，我对于材料领域的一些基础知识有了新的认识，同时通过跟专家的沟通，及专家对我们产品提出的新建议和要求，我也知道了今后产品发展的方向和趋势，参加这次大会收获还是比较多的。仪器信息网：本次贵公司带来了哪些解决方案或新品？主要针对哪些市场？解决了用户的哪些痛点？祁贵云：这次带来了两个新的产品和解决方案，第一个是高温扫描电镜一体化解决方案，第二个是和德国ELLCIE公司合作的超大腔室扫描电镜。仪器信息网：介绍下贵公司与ELLCIE公司的合作背景？ELLCIE是一家怎样的公司？祁贵云：我们公司在起步时一直致力于材料原位分析解决方案，但是在做产品设计和给客户做方案时，经常会受到扫描电镜空间的限制，使得我们的产品设计或者产品指标不断的更改。去年有机会结识了德国超大腔室扫描电镜供应商，我觉得这个对于我们公司今后原位分析设备的设计和制造是一个比较好的特点，所以我们就跟他们提出了合作。Martin Klein：谈到产品的发展过程，一方面是因为我以前在一个大学中做微小样品的研磨工作，在磨的过程中我想要把整个样品观测到，所以我想到需要一个大的空间做这个工作。另一方面在使用扫描电镜观测样品时，需要先从整个样品中切出一部分来，但对于特别贵重或特殊的样品无法切割，这就需要一个超大腔室的电镜，可以把整个样品放进去观测。像文物需要做检测时，因为不能被破坏，所以无法将此切开进行观测，这也让我想到了超大腔室的电镜。对于扫描电镜的应用，把大的扫描电镜放到相当于我们中国的房车的卡车里，车上配置有特殊的系统可以做减震，这样的话扫描电镜就可以成为可移动的一种检测站或者可移动的检测设备。仪器信息网：超大样品室扫描电镜相比传统电镜有哪些特点？Martin Klein：超大腔室的扫描电镜，从扫描电镜的指标，如分辨率、se、ebsd设备的配置上来讲，跟传统扫描电镜是相当的。显著的特点就是它的腔室特别大，可以做大部件或者大的样品直接的检测，无需像传统扫描电镜切标准的样品去做观测或者检测，可以做到真正的无损检测。像文物这么大的东西，如果使用传统的扫描电镜就需要从这上面切一部分下来，再去做样品分析测试。但是对于这种大的扫描电镜来讲，就无需做这个工作，可以直接放进去观测。仪器信息网：ELLCIE超大样品室扫描电镜产品在欧洲市场应用情况？Martin Klein：在欧洲，超大腔室扫描电镜主要用于大学做原位分析，对于学生来讲，很容易做样品的观察，不像现在传统的扫描电镜，进行样品的分析比较复杂，这就使得学生减少了做样品的难度。另外在做原位分析时，超大腔室扫描电镜可以和一些可靠性的设备结合起来，因为它腔室比较大，可以把其他仪器如拉力试验机或其他分析仪器等直接放到里面，所以对于做原位测试来讲变得更方便。仪器信息网：如何看超大样品室扫描电镜在中国市场的应用前景？Martin Klein：大腔室扫描电镜在中国未来的市场有三个应用方向，第一个是做材料的原位分析检测，就像刚才介绍的，可以把很多仪器或设备同大腔室扫描电镜就结合起来做更多的研究或者分析。第二个领域是航空航天，如发动机的叶片等大部件的无损检测或者服役过程的性能分析。第三个是对于中国这样一个文物比较多的国家，未来在文物的分析检测方面也会有很好的应用前景。