光学测厚仪

Bristol非接触式光学测厚仪　　Bristol Instruments提供了一系列测厚仪产品，可方便地测量厚度，并具有很高的测量精度以及重复性，以适用于大部分的应用需求。更重要的是，这些产品采用了一种非常有效的技术，即使用非接触式光学探针进行无损检测，同时这种技术还可以同时测量多层膜的厚度。　　产品特点：　　可测量硬材料和软材料，并且不会造成损坏或变形　　用于准确定位测量位置的可见光束　　同时测量多达31层　　测量光程： 12mm/ 40mm/80mm　　测量精度： ±0.1 μm/±1μm　　使用内置的固有长度标准进行连续校准　　测量置信水平≥99.7%　　可追溯至NIST标准　　测量频率高达20赫兹　　使用USB或以太网进行PC通讯　　提供基于Windows的光学测量软件，用于设置测量参数和输出测量数据　　使用LabVIEW、.NET或自定义编程进行自动数据报告，无需专用PC　　软件测量界面：　　应用领域：　　光学元件和透镜组件　　可测量单个镜片以及镜头组包括空气间隔　　隐形眼镜和人工晶状体　　测量中心厚度、矢高和群折射率　　医用导管窥镜　　可同时测量壁厚、内径和外径，管壁厚度、管颈和管锥的壁厚　　LCD, LED, OLED 和AMOLED显示屏　　可测量总厚度和各层厚度，包括LOCA（液体光学透明粘合剂）层　　半导体　　硅/砷化镓晶片　　玻璃抛光　　测量化学腐蚀前后的厚度或抛光工艺，使玻璃板更薄、更轻。　　Optional:　　Lensthick 非接触式光学测厚仪　　产品特点：　　LensThick集成了Bristol非接触式光学测厚仪，系统集成化程度较高，增加了电动升降台和倾斜平移一体调节台，将测厚仪主机和高性能工控机集成在定制机柜里，并配备了高清显示器，此外还开发了全中文人机交互软件，软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号，以便实时调整。软件支持自动峰值模式，使用操作员创建的样品设计文件，可以定义最多32个反射面（31层）的预期峰值位置，可自动识别在指定的阈度内最接近预期峰值位置的峰值，从而计算并输出每层的厚度。此外，软件还带有判据功能，即超出设计值的公差范围，数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。软件还可根据用户材料色散方程系数，自动计算出材料的群折射率并保存。针对同其它设备和产线集成，软件还可通过TCP/IP形式将实时测量结果发送给其它设备。　　LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪　　设备特点：　　LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；　　配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；　　采用大理石组合结构，稳定性高　　XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；　　采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；　　测量时通过CCD图像校正，保证测量中心位置准确；　　主要配置/设备关键部件：　　非接触式光学测厚仪　　XYR平台参数：　　平面度：±0.005mm　　直线度：±0.005mm　　重复定位精度：±0.001mm　　绝对位置精度：±0.001mm　　视觉校正相机：　　2000万像素　　低噪声，高精度

LensThick 非接触式光学测厚仪 测量原理： LensThick非接触式光学测厚仪利用低相干光干涉测量方法来测量厚度，以宽谱光源作为相干光源，其相干长度短，只有在测量光和参考光的光程相等时才能产生干涉峰值，因此具有很好的空间定位特性，测厚仪内置光学干涉仪，通过计算透镜前后镜面顶点对应干涉峰之间的距离变化可以得出透镜的厚度。 典型应用:光学元件和透镜组件：测量单个镜片以及镜头组包括空气间隔隐形眼镜和人工晶状体：测量中间厚度、矢高和群折射率医用导管窥镜：可同时测量管壁厚、内径和外径LCD、LED、OLED和AMOLED显示屏：测量总厚度和各层厚度，包括LOCA（液体光学透明粘合剂）层半导体：硅/砷化镓晶片抛光玻璃：测量化学腐蚀前后的厚度或抛光工艺，使玻璃板更薄、更轻。 主要优势：非接触式测量，不会造成元件表面损坏或变形。用于定位测量位置的可见光束。可同时测量31层厚度。精度±0.1微米。测量重复性达±0.02微米。基于内部固有长度标准，实时显示测量数据。测量结果可追溯至NIST标准。测量物理厚度可达16微米（折射率1.5时）。集成装置，操作简便。 设备介绍: LensThick光学测厚仪的操作简单，每次可轻松获得可靠的厚度值。测量数据经过数字信号处理器计算，通过USB传输到PC，再以图形的形式显示在用户界面，可直接读取每层厚度值，操作更简单、更直观。 测量过程： （1）将光学测量头对准被测产品。 （2）激光通过光学测量头照射到材料表面。 （3）光学测量头收集反射光并将其返回到系统的干涉仪进行分析。 （4）测量数据通过USB传输到电脑。 （5）LensThick软件用于显示测量结果、设置参数及输出数据报告。 测量软件： 光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号，以便实时优化。 自动峰值模式：使用操作员创建的样品设计文件，可以定义32个反射面（31层）的预期峰值位置，软件可自动识别在指定的阈度内接近预期峰值位置的峰值，从而计算并输出每层的厚度。此外，软件还带有判据功能，即超出设计值的公差范围，数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速的。 规格参数LensThick 系列型号12-1 UP12-140-1 UP40-1厚度测量方法非接触式光学干涉法光学厚度(折射率为1的空气间隔)12 mm40 mm物理厚度(折射率为1.5的材料)8 mm26 mm**小物理厚度(折射率为1.5的材料)16 μm35 μm20 μm35 μm精度 1,2±0.1 μm±1 μm±0.1 μm±1 μm重复性 3,4±0.02 μm±0.05 μm±0.02 μm±0.05 μm可溯源NIST认证标准单位mm、μm、mils测量频率20 Hz7 Hz仪器接口USB2.0及以上接口电脑配置 Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标环境 5热机时间无温度15℃ 到 30℃ （存储 -10℃ 到 +70℃）压力500 — 900 mm Hg湿度在+40℃时 ≤90** R.H. （无冷凝）主机尺寸和重量尺寸600mm×590mm×370mm（长×宽×高）重量42㎏支架尺寸和重量尺寸350mm×350mm×590mm（长×宽×高）重量15㎏功率90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA质保期1年⑴ 定义为测量不确定度或很大厚度误差，置信度≥99.7**。⑵ 整个运行环境条件的不确定性。⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。 ⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4**反射条件下给出的. 当反射条件较低时，重复性**坏会降低到约±0.15μm。⑸ 特性性能，但不是一定的。

LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪 设备原理设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。 主要功能非接触式测量透镜厚度非接触式测量微小镜头空气间隔自动上料—自动定位—自动测量—自动下料UPH，单穴测量时间不大于4秒测量精度高达±0.1 μm 设备特点LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；采用大理石组合结构，稳定性高XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；测量时通过CCD图像校正，保证测量位置准确； 主要配置/设备关键部件非接触式光学测厚仪测量光程： 12mm/ 40mm/80mm 测量精度： ±0.1 μm/±1μm 测量重复性： ±0.02 μm/±0.05 μm 工作波长： 1310 nm 测量速度： 20 Hz/ 7Hz/ 4HzXYR平台参数：平面度：±0.005mm直线度：±0.005mm重复定位精度：±0.001mm位置精度：±0.001mm视觉校正相机：2000万像素低噪声，高精度 工作环境及设备尺寸参数工作电压：220V±10**工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95**；环境相对湿度：在+40℃时 ≤90** R.H. （无冷凝）外型尺寸：800×1200×1960设备总重量：约500kg尺寸330mm×430mm×685mm（长×宽×高）重量20㎏其他功率90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA仪器接口USB2.0及以上接口可支持8通道测量电脑配置 Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标质保期1年⑴ 定义为测量不确定度或很大厚度误差，置信度≥99.7**。⑵ 整个运行环境条件的不确定性。⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4**反射条件下给出的。 当反射条件较低时，重复性**坏会降低到约±0.15μm。⑸ 折射率为1时。⑹ 折射率为1.5的材料。⑺ 特性性能，但不是一定的。