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微透镜中大视野3D成像检测方案

检测样品微透镜

检测项目大视野3D成像

方案详情文

图1(a) 为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D 图像拼接而成。图1(b) 为（a）中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。图1(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜（箭头 0-1, 2-3）的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。

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HITACHIlnspire the Next SHEET No.082 微透镜的大视野3D成像 (a) (b) 图1.微透镜 (a)拼接后的3D图像(x2k)，(b)红框内的形貌图(c)(b)中划线区域的截面，(d)(c)的测量值 (d) 图1(a)为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D图像拼接而成。图1(b)为(a)中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。图1(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜(箭头0-1，2-3)的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。参数 0-1 2-3 水平距离(nm) 826 875 垂直高度(nm) 123 135 角度(°) 8.47 8.74 执笔者：日立高新技术吉原真衣長谷川伸一 Material【大视野3D观察】推荐配置备注 FlexSEM 1000 扫描电子显微镜 camera navigation system Hitachi Map 3D(standard) 3D化软件可根据ISO、JIS标准进行测量 No 观察机型： FlexSEM 观察条件： kV，， a 软件： Hitachi Map D株式会社日立彳于夕/口沙丈 @株式会社日立立彳个夕/仁沙丈HTD-SEM- 图1(a) 为微透镜的大视野3D图像，通过hitachi MAP 3D 将多张3D 图像拼接而成。图1(b) 为（a）中红框部分的形貌像。通过颜色标尺很容易确定高度信息。图1(c)(d)是提取的图.1(b)中划线区域的结果，可以获得每个透镜（箭头 0-1, 2-3）的水平距离、垂直高度以及顶部和底部的角度。所以，使用Hitachi Map 3D可以获得大视野3D图像和截面轮廓信息。

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