镀锌材料中厚度检测方案

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HITACHI1nspire the NextTechnical Reporthttp：//www.hitachi-hightech.com/hig/C2015 Hitachi Instruments (Shanghai) Co.， Ltd. FT110测量铁上镀锌测量案例 2016.04 锌被应用在防腐工艺上，在电器制品，汽车部品，大型机械，螺丝等各种方面都被广泛的使用。 由于锌涂层产品大都有大小不同的凹凸，使用FT110的自动对焦机能及焦点距离切换机能能够有效的测量其厚度。本资料介绍了使用FT110对常见五金类材料中基体为铁上镀锌层的测量案例及说明。 FT110 铁上镀锌测量案例 ■测量条件 ■焦点变更时的测量结果 使用FT110测量的测量条件 3种不同膜厚的Zn标准质质随着焦点的变化，各自单点重复测量20次。 表1. Zn厚度测量条件 项目 设定值 管电压 50 kV 管电流 1000 uA 准直器 0.2mm 一次滤波器 ON 测量时间 10秒 测量方法 薄膜FP法 焦点距离 Free 表2.焦点变化测得的Zn膜厚平均值和标准偏差 单位：mm ■标准物质 Zn标准物质3种 (4.46um， 10.20um， 21.89um) 使用标准物质登陆后，分别使用焦距+5 mm，+10 mm， +20 mm， +40 mm，+80 mm 孔明下哦美好重复20次测量。 即使是焦点距离最大+80 mm 的情况下，其测量误差也仅在10%以内，另控制在1.5%以内的RSD也能够维持良好的数据重现性。 (1)2) (3) (4) Zn 4.46 um Zn 10.20 um Zn 21.89 um 标准焦点 平均值 4.52 10.31 22.04 SD 0.027 0.054 0.084 RSD 0.6% 0.5% 0.4% 标准+5mm 平均值 4.46 10.18 22.05 SD 0.025 0.041 0.144 RSD 0.6% 0.4% 0.7% 标准+10mm 平均值 4.41 10.03 22.00 SD 0.024 0.042 0.130 RSD 0.6% 0.4% 0.6% 标准+20mm 平均值 4.31 9.89 21.78 SD 0.020 0.064 0.161 RSD 0.5% 0.6% 0.7% 标准+40 mm 平均值 4.21 9.66 21.44 SD 0.039 0.063 0.186 RSD 0.9% 0.7% 0.9% 标准+80mm 平均值 4.13 9.47 21.18 SD 0.056 0.070 0.280 RSD 1.4% 0.7% 1.3% 表3.标准焦点的测量结果比较 单位： mm 自动对焦 位置 测量结果 标准焦点的测量结果 (1) 7.3 (2) 5.5 (3) 4.2 4.5 (4) 3.7 3.8 图2.通过自动聚焦功能进行对焦 图1.高低差异的螺丝测量部位图像 (1)标准焦点 不同高度的样品并排的测量，也能够无需调整既可使用同一条件进行测量。 (2)标准+ 64.6mm (3)标准+42.6mm 随着测量位置移动，自动对焦功能发挥作用，不同高度的测量位置也能轻松找到 日立仪器(上海)有限公司Hitachi Instruments (Shanghai) Co.，Ltd. (4)标准+53.3mm ( 本社：上海市浦东新区张江高科技园区碧波路690号2号楼102室 TEL：+86-21-5027-3533东莞分公司：广东省东莞市长安镇长青南路306号金业大厦4楼TEL：+86-769-8584-5872 )