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TESCAN中国官方微信 FIB-SEM 双束电镜应用之 TOF-SIMS 锂元素分析 大型的飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)是非常昂贵的元素及同位素分析设备,现在TESCAN 已经将小型化的 TOF-SIMS 集成于所有的 FIB-SEM 上了。 飞行时间二次离子质谱仪就是利用离子束轰击样品的表面,激发产生的二次离子加速进入质谱仪。由于不同离子的荷质比不同,在相同的加速电场下,不同荷质比的离子到达探测器的飞行时间就不同,因此利用飞行时间的差别就将不同荷质比的离子区分开来。 图1 TOF-SIMS 及原理示意图 FIB-SEM 上的 TOF-SIMS 可以提供如下的功能: 1.轻元素分析:元素分析范围从H开始; 2.痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个 ppm的轻元素都可以进行表征; 3.优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm; 4..深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。 图2 TOF-SIMS不同离子的谱峰,可以分享痕量的Li,B等轻元素 TESCAN 中国官方微信 图3LiNbO3样样品中锂离子的三维分布 TESCAN 所有 FIB-SEM, 包括Ga 离子双束和Xe等离子双束,都可以集成 TOF-SIMS。不同于能谱和波谱,该元素分析技术能够分析从H开始的痕量元素,并且具有较高的空间分辨率。 TESCAN CHINA上海市闵行区联航路旭辉国际楼层TEL:FAX: ebsite:www.tescan-china.comEmail: market@tescanchina.com第页,共页 大型的飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)是非常昂贵的元素及同位素分析设备,现在TESCAN已经将小型化的TOF-SIMS集成于所有的FIB-SEM上了。 飞行时间二次离子质谱仪就是利用离子束轰击样品的表面,激发产生的二次离子加速进入质谱仪。由于不同离子的荷质比不同,在相同的加速电场下,不同荷质比的离子到达探测器的飞行时间就不同,因此利用飞行时间的差别就将不同荷质比的离子区分开来。FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能:1. 轻元素分析:元素分析范围从H开始;2. 痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个ppm的轻元素都可以进行表征;3. 优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm;4. 深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。
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泰思肯(中国)有限公司为您提供《锂样品中轻元素分析检测方案(扫描电镜)》,该方案主要用于太阳能中轻元素分析检测,参考标准《暂无》,《锂样品中轻元素分析检测方案(扫描电镜)》用到的仪器有null。
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