硅晶体电池中金字塔结构表征检测方案(扫描电镜)

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国仪量子CIQTEK用量子技术感知世界Feel the world in a quantum way 扫描电镜在太阳能电池领域的应用 图片来源： pexel 近期，俄乌冲突导致油价连涨，以光伏发电为代表的新能源产业广受关注。太阳能光伏电池(简称光伏电池)作为光伏发电的核心部件，其发展前景及市场价值也备受瞩目。在全球各类电池产品销售收入中，光伏电池占到了27%左右右。而在提升光伏电池的生产工艺和相关研究中，扫描电镜发挥着巨大作用。 光伏电池是一种将太阳光能直接转换为电能的光电半导体薄片。目前商业化大规模生产的光伏电池主要以硅电池为主，分为单晶硅电池、多晶硅电池和非晶硅电池。 在光伏电池实际制备过程中，为了进一步提高电池的能量转换效率，通常会在电池表面制作一层特殊的绒面结构，用绒面做成的电池称为“绒面电池”或“无反射”电池。 具体来说，这些太阳能电池表面的绒面结构通过增加照射光在硅片表面的反射次数，提高光的吸收率，不仅可以降低表面的反射率，还能在电池的内部形成光陷阱，从而显著地提高太阳能电池的转换效率，这对于提高现有硅光伏电池的 效率和降低成本有重要意义。 图1 平坦表面与金字塔结构表面对比 相较于平坦表面，使用金字塔结构绒面的硅片有更大概率会使入射光产生的反射光再次作用到硅片表面，而不是直接反射回空气中，从而增加了光在结构表面的散射和反射次数，使更多光子被吸收、提供了更多电子-空穴对。 图2不同入射角度光线照射在金字塔结构上的光路 目前已有的表面制绒方法有：化学腐蚀法、反应离子刻蚀法、光刻法、机械刻槽法等，其中化学腐蚀法因成本低、生产率高且方法简单，一直在产业上广泛应用[3]，对于单晶硅光伏电池来说，通常利用碱性溶液在晶体硅不同晶向上产生的各向异性腐蚀，在硅片表面形成类似于“金字塔”结构的绒面。金字塔结构的形成是由于碱与硅的各向异性反应造成的成4。在一定浓度的碱溶液中，OH-与Si(100)面的反应速度要比 Si (111)面的速度快几倍甚至十几倍，正是因这样的反应速度差造成了金字塔结构的形成。 钨灯丝扫描电镜 SEM3100 在化学腐蚀的过程中，腐蚀溶液的浓度、温度、反应时间这些因素都会对硅晶体电池绒表面的制备产生影响，导致反射率的不同，使用SEM3100型钨灯丝扫描电镜能够对制作过程中腐蚀区域的大小、表面金字塔结构等进行有效观测。 得益于 SEM3100 电镜超大容量仓品仓的优点，用户在使用过程中可放入最大直径达370mm 的光伏电池样品而无需切割，且电镜上五轴全自动样品台能够实现-10°~75°的倾斜，可实现对样品不同位置的多角度观测。 x10000 12.81um 6mm X5000 25.63um 6mm 图3样品台倾斜45°后的绒面形貌 图4 30°倾斜后的样品观测 图5水平放置的样品观测 在SEM3100电镜中使用较低加速电压3~5kV对光伏电池表面金字塔结构进行观测，能够降低电子束在样品表面的穿深，使观测到的表面细节更加丰富，更好地进行表面缺陷和结构形状的表征，从而有助于用户对不同的制绒工艺进行比较分析。 根据 GIR(Global Info Research)调研，按收入计，2021年全球太阳能电池(光伏)设备收入大约447亿美元，预计2028年将达到555.70亿美元的规模。其中产品类型方面，单晶硅依旧将占有重要地位。国仪量子 SEM3100 电镜产品作为一款微观分析的利器，在提升光伏电池的生产工艺和相关研究中也将大显身手。 ( 参考资料： ) ( [1]吴洁洁，等.电池行业研究与展望[J].现代 化 工，2017，37(9)：5. ) ( [2]李嘉媛 . 太阳能电池绒面的研究[D]. 大 连理工大学，2009. ) ( [3]李海玲，赵雷，刁宏伟，等..单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析[J].人工晶体学报，2010，39(4)：5. ) ( [4]Nishimoto Y， Namba K. Investigation of Texturization f or Crystalline Silicon Solar Cells w ith S odium Carbonate Solutions[J]. Solar Energy Material & Solar Cells， 2000， 6 1(4)：393-402. ) ww.ciqtek.com 近期，俄乌冲突导致油价连涨，以光伏发电为代表的新能源产业广受关注。太阳能光伏电池（简称光伏电池）作为光伏发电的核心部件，其发展前景及市场价值也备受瞩目。在全球各类电池产品销售收入中，光伏电池占到了27%左右。而在提升光伏电池的生产工艺和相关研究中，扫描电镜发挥着巨大作用。