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硅片中有机污染物检测方案

检测样品 硅片

检测项目 有机污染物

关联设备 共1种 下载方案

北京艾飞拓科技有限公司（IONTOF中国代表处）

银牌会员 1 篇解决方案

方案详情文

有机污染物的监测对于半导体行业来说变得越来越重要。TOF-SIMS提供关于硅片表面的详细无机和有机信息。

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PO3 AI2O3H 合图 案例三、有机污染物有机污染物的监测对于半导体行业来说变得越来越重要。TOF-SIMS提供关于硅片表面的详细无机和有机信息。污染物的可能来源是：1.     工艺化学品（光刻胶，清洁剂（POx，SOx，...）2.     接触污染物（手套，工具，硅片支架，...）3.     洁净室污染物（过滤器相关组件，吸附物，...）4.     包装材料（硅片盒，...）

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产品配置单

北京艾飞拓科技有限公司（IONTOF中国代表处）为您提供《硅片中有机污染物检测方案 》，该方案主要用于硅片中有机污染物检测，参考标准《暂无》，《硅片中有机污染物检测方案 》用到的仪器有IONTOF / TOFSIMS 飞行时间二次离子质谱 / TOF-SIMS M6型。

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