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本文参考GB/T 14849.5-2014《工业硅化学分析方法 第5部分:元素含量的测定 X 射线荧光光谱法》，利用岛津XRF-1800波长色散型X射线荧光光谱仪，采用粉末压片制样方法，测定多晶硅中杂质元素含量。利用工业硅标准样品建立相应工作曲线，各杂质元素标准曲线线性良好，平行测定10次，各杂质组分分析精度良好。方法适用于多晶硅中铁、铝、钙、锰、镍、钛、铜、磷、镁、铬、钒、钴含量的测定，满足多晶硅生产对杂质成分的检测需求。
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本文参考国标GB/T 14849.5-2014，利用岛津XRF-1800波长色散X射线荧光光谱仪，建立了多晶硅主要杂质成分的分析方法。分析结果表明，元素的标准曲线线性良好，样品测定精度良好，验证准确度结果满足国标要求。利用此方法测定多晶硅样品，测定结果满足生产需求。
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岛津企业管理（中国）有限公司为您提供《X射线荧光粉末压片法测定多晶硅中杂质元素》，该方案主要用于天然高分子材料中杂质元素检测，参考标准《暂无》，《X射线荧光粉末压片法测定多晶硅中杂质元素》用到的仪器有多道同时型波长色散X射线荧光光谱仪。
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