LCMS-QTOF用于光刻胶中感光树脂轮廓分析
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树脂是光刻胶的主要成分之一,本文采用岛津高效液相色谱—四极杆飞行时间质谱联用系统,建立了光刻胶中酚醛树脂的轮廓分析方法。光刻胶原液经四氢呋喃稀释,C18色谱柱分离,LCMS-QTOF正负离子模式同时采集,LabSolutions Insight Explore软件解析。结果显示,该树脂正离子模式以[M+NH4]+、[M+Na]+为主,负离子为[M-H]-峰,是一种以甲酚或二甲酚为起始,二甲酚或三甲酚为延长单元的聚合物,端聚合度(DP)2-10。该方法灵敏度高,分离度好,适用于光刻胶树脂成分分析。
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本文采用岛津超高效液相色谱-四极杆飞行时间质谱联用系统,对光刻胶中感光树脂进行了轮廓分析。结合正、负模式质谱信号,解析了感光树脂的精细组成。该方法的建立及应用,可为光刻胶成分分析提供参考。
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岛津企业管理(中国)有限公司为您提供《LCMS-QTOF用于光刻胶中感光树脂轮廓分析》,该方案主要用于电子元器件产品中化学性质检测,参考标准《暂无》,《LCMS-QTOF用于光刻胶中感光树脂轮廓分析》用到的仪器有高效液相色谱质谱联用仪。
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