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【求助】关于XPS,AES在进行分析测试时的测试条件需要注意什么?

元素分析综合讨论

  • 我是做芯片表面污染的,想用XPS,AES分析污染物的成分和化学键的状态,但是测试条件的选择也是比较重要的,我想请教大家在进行这两种分析的时候,需要注意哪些方面,谢谢!
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  • imrxps

    第1楼2007/10/08

    XPS为表面分析仪器,注意保护好样品表面就可以了

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  • student11

    第2楼2007/10/18

    To XPS:
    1. the analysis area should be large enough, for example 2mmx2mm, unless you use very good XPS machine.
    2. if you sample is not metal, you should notice to reduce the discharge.

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  • 世界之窗

    第4楼2013/07/29

    表面的一个注意很重要,不过是避免不了空气中的有机碳的吸附的,所以要注意少被吸附。。。。。。。。。

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  • 世界之窗

    第5楼2013/07/29

    另外一个就是抽真空了,一定要干净。。。。。。

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  • 999youran

    第6楼2014/04/02

    最好样品真空保存

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