扫描电镜(SEM/EDS)
moonbearpipi
第1楼2007/11/08
我们的是FE-SEM ,你说的前后晃动是指的样品没有固定好吧,这样在高倍下图象漂移严重,不管是调焦还是象散校准都很困难的。
suntht
第2楼2007/11/08
阿,谢谢了。下次我注意把试件粘得牢固点儿,一直以为这个是需要调节的呢
kapabulanka
第3楼2007/11/09
我猜你是在做对中时观察到图像晃动。 在倍数较低时对中,就会观察到图像前后晃,但在高一点倍数下调队中,图像的晃动就规则了。
第4楼2007/11/09
今天把试件粘得很紧,可是仍然晃得厉害。而且随着时间有加剧的趋势。是不是样品台推入真空室后和固定台卡的不紧阿?
常怀千岁忧
第5楼2007/11/10
不知道您用哪个型号的,就我的理解您是选中了align选项调对中的吧?这种情况下前后晃动就表示调好了呀,只要取消align就可以正常观察图像了。align时聚焦较难调好,因为图像一直是在虚实交替,应该在此之前就调好聚焦的。
磨剪子嘞 锵菜刀
第6楼2007/11/11
It's wobbling
第7楼2007/11/11
电子束汇聚的“焦距”在不停的上下变化,用来检定光阑是否对中。在此过程中,有切仅有一点是清晰的。是一个由不清晰到清晰再到不清晰的过程。
第8楼2007/11/11
1、在1000倍左右将图像调至最清晰2、开始光阑对中操作,调节光阑,使图像移动最小3、逐步增加放大倍率,并同时调节光阑对中,直至……4、退出光阑对中操作
第9楼2007/11/12
谢谢amoslau这么详细的答复,我用的型号是FE-SEM S4700,也是这样操作的.但是效果时好时坏,有时候图像特别清楚,有时候怎么调都是模糊的。最近几次操作很难对焦,总是有虚影,前后晃动幅度很大,所以想知道怎么样使幅度减小。
wj198010
第10楼2007/11/12
是不是电压偏高造成击穿现象?试着降低灯丝电压
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