仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯

【求助】各位SEM高手看看这一连串故障

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 放假15天回来,SEM出现问题。首先打开软件后,自检过不去,显示“光路通讯故障”。我动了下光纤,可以用了。第二次开机,出现同样问题,但是怎么动光纤都不行了。我当时就关机了,过了几天又开机,自检又能过去了,但是系统提示找不到左手的控制板,我没管它,开始抽真空,一会后报错,说连接有问题,抽不上真空。我把机器关了重启,开了软件,又显示“光路通讯故障”
    请问大侠们这是怎么回事啊,我应该怎么办?
    +关注 私聊
  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第1楼2007/11/20

    把线缆拔了重新插,电气线缆用万用表测量一下看看通不通。检查线缆与计算机之间的接口,(该线缆与计算机的什么接口联机呢?PCI?COM?)并察看计算机操作系统是否指定了该端口。另外问您一句,您指的光纤是只负责真空部分工作的么?
    个人感觉只是接触不好。请将电源供给线路(例如真空、左手控制板的供电)、真空规和阀门的线路连接考虑进去(例如真空、左手控制板的供电)

0
    +关注 私聊
  • 2002smile

    第3楼2007/11/20

    首先,对您表示感谢
    其次,再提几个问题
    1、电气线缆是哪根线缆,还是线缆的总称?另外,用万用表是测电阻么?
    2、计算机上只有一根光纤与SEM主板连接,我打开机箱看过,只多了一个类似网卡的信号接收卡,光纤就插在那上面,应该就算PCI接口吧。怎么看计算机操作系统是否指定了该端口呢?我看了硬件管理器,所有硬件都能识别阿。
    3、光纤负责的应该只是信号传输,接收图像,不应该和抽真空有什么联系吧。
    泵是由SEM主板直接控制的,不经过光纤。我启动抽真空之后,泵是转的,电源应该没问题,但是抽真空进度条没反应,抽一会就报错了。
    4、怎么找到电源供给线路阿,SEM主板上的线一堆堆的。我今天把上面的线都拔了重插,还是不行,郁闷。

0
    +关注 私聊
  • channel5

    第4楼2007/11/20

    楼主什么型号的SEM

0
    +关注 私聊
  • annelugel

    第5楼2007/11/20

    三种可能。1)光纤问题,时间用久了,光纤很容易出问题的。这就容易了,向供应商买条新的自己换就可以。2)电脑一头的插卡有问题,很难判断,可以用替换法。3)查光纤另一头的电路板,电路板上一定有 Ethernet或HostBoard的电路(去查仪器的电路图),对着电路图检查、测试。很有可能是是电路板上出现问,不然应该不会出现真空报错。祝你好运了!

0
    +关注 私聊
  • 2002smile

    第6楼2007/11/20

    我的机器是TESCAN的,如果是电路板问题,自己有办法解决么,那东西平常都碰不到,应该不会出问题吧

0
    +关注 私聊
  • annelugel

    第7楼2007/11/21

    三种情况都有可能,建议你最好把前两种情况排除了再试第三种。电路板即使碰不到也不能排除不出问题。如果你不熟悉电路的话,建议你最好还是找TESCAN的维修工程师,TESCAN在国内售后的口碑不错的呀!

    2002smile 发表:我的机器是TESCAN的,如果是电路板问题,自己有办法解决么,那东西平常都碰不到,应该不会出问题吧

0
    +关注 私聊
  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第8楼2007/11/22

    你好,首先,个人推断您的电镜真空逻辑是由PLC单元自行控制的,它负责从真空规管读取各部件真空度,当达到指定数值后将会启动或关闭相应的泵和阀门;与此同时也会将真空数值传送给计算机软件并等待计算机软件的指令(如PUMP,Vent);因此操作者仅需要在软件上“观察”并“选择指令”。
    个人建议您先考虑真空抽不上去的问题:(哪级真空?并确定此真空规的位置)
    1、注意是否能够听到正常工作时阀门开启关闭动作声音(气动阀更明显),观察电镜真空电路板上有没有“阀门状态的指示灯”这将更为直观。因为阀门不打开真空是不会变化的。
    2、检查真空规是否工作正常,真空规管坏掉了,即便真空达到了要求,PLC也得不到来自真空规管的正确数据;这样一来系统就会报错了。检查规管连接线是否松动,真空规管是否被污染。这个应该重点考虑。
    如果操作有困难的话还是要打电话给工程师让他电话指导下操作,或者直接叫他来,要破费咯。hoho
    暂时就想到这么多,希望对您有帮助。

    2002smile 发表:我启动抽真空之后,泵是转的,电源应该没问题,但是抽真空进度条没反应,抽一会就报错了。
    4、怎么找到电源供给线路阿,SEM主板上的线一堆堆的。我今天把上面的线都拔了重插,还是不行,郁闷。

0
    +关注 私聊
  • 2002smile

    第9楼2007/11/25

    谢谢大家,我这几天请了个高手来看,大致排除了电源的问题,极有可能是连接光纤两端的板出问题了,准备明天叫工程师呢。他报价太贵,要不早就找他了。

0
    +关注 私聊
  • 2002smile

    第10楼2007/11/25

    现在开机除了主电源板上的灯有两个亮的,剩下两个的板上的灯都不亮,估计是自检过不去,自控电源不给供电。这可能也是抽不上真空的原因。

0
    +关注 私聊
  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第11楼2007/11/25

    看样子解决这个问题,您要破费了,呵呵!

0
查看更多
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...