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【求助】芯片样品尺寸

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问，LED芯片样品尺寸为350um*350um厚度为100um，电极面积50um*50um，像这样规格的芯片能否用SEM扫描？扫描前是否需要把电极去除？芯片还需要做些处理工作？有人做过类似的测试吗，请指点一下。
    非常感谢！
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  • huangtao0307

    第1楼2007/12/07

    楼主能说清楚你要做什么吗？？
    是外观观察还是内部电路的检查！

    chen23 发表:请问，LED芯片样品尺寸为350um*350um厚度为100um，电极面积50um*50um，像这样规格的芯片能否用SEM扫描？扫描前是否需要把电极去除？芯片还需要做些处理工作？有人做过类似的测试吗，请指点一下。
    非常感谢！

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  • chen23

    第2楼2007/12/08

    想看看芯片表面以及内部的位错。

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  • 110sl119

    第3楼2007/12/16

    表面可以看的；内部不处理怎么看？
    我做半导体失效分析的；学习一下？

    chen23 发表:想看看芯片表面以及内部的位错。

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