【讨论】有没有人用afm做薄膜表面粗糙度的分析

没做过这方面的。不知道。
另外，你要用表面动力学分析啥呀？麻烦说清楚点呀

afm分析薄膜表面粗糙程度和膜厚的关系，从而得出薄膜的生长模式

使用AFM测试薄膜的表面粗糙度没有问题。但是要精确测定膜厚需要一定的技术水平。

表面形貌就测过，膜厚未曾做，技巧如何？

个人认为，用AFM测量膜厚不外乎有三种方法：
1.从截面进行测量，利用光学系统将针尖定位在界面附近，然后进行扫描。
这需要做镶嵌样，将样品镶嵌在树脂中，然后磨平，进行扫描。
利用相位成像技术，能区分出衬底，膜和树脂。
这种方法制样比较复杂，结果不大可靠。

2.做台阶样品，即让膜在衬底上部分生长，这样就可以在衬底上形成一个膜的台阶，利用光学系统将针尖定位在台阶附近，进行扫描即可。
这种测量方法最为准确，且样品制备也相对简单。
只需在膜的制备过程中，将衬底的一部分区域保护起来，不让膜形成即可。

3.对于一些比较软，且厚度较小（几纳米到几十纳米）的样品而言。
可以用刻蚀的方法，用针尖在样品上刻蚀出一个衬底与膜的界面，
即把膜划穿，露出衬底。然后扫描这个界面即可。
这种方法，适用范围较窄，且测量结果也缺乏准确性。

要测试膜层的厚度，恐怕要用别的仪器才可以，AFM虽然有人测试，但不是很准确，而且对tip伤害很大

测膜厚的话，只要刻出的台阶比探针尺度大就应该没问题吧～而这个是很容易做到的呀 这个测出来要比别的仪器精确吧？

此言差矣。个人认为刻出来的台阶高度一般情况下都不会大于探针高度。因为一般的探针高度都在10um-15um左右。一般AFM所能测量的Z向尺度都小于10um。所以如果台阶高度大于探针高度话，一般情况下都时无法使用AFM进行测量的。

对表面形貌数据进行功率谱密度分析，可以获得粗糙度指数和生长指数等，进而可以探讨薄膜的生长行为，比如薄膜的扩散等热力学行为。