扫描电镜（SEM/EDS）
netasp
第1楼2008/04/01
补充，低真空很快就抽上去了（两分钟不到），就是抽高真空时一直停着不动。
r51755
第2楼2008/04/01
请问您的扫描电镜的什仫型号
第3楼2008/04/01
是电子探针，JXA8100
teufelmond
第4楼2008/04/02
很小很小的漏气?
fermilin
第5楼2008/04/02
样品仓的漏气，检查样品仓密封圈，舱门处有没有杂质等
第6楼2008/04/02
可是样品仓的真空度已上去了，压力已低于0.3Pa，达到工作条件了。但电子枪室的真空度只有0.52Pa，怎么抽其压力值都下不去，这还会是样品室漏气么？
guanjun19860820
第7楼2008/04/06
检查样品仓密封圈
第8楼2008/05/02
我以前也遇到过这样的问题，你可以试着将样品室和电子枪室的密封线圈拆下来擦干净，再装上，涂上真空脂！
taoyan724
第9楼2008/05/02
谢谢提问哈
第10楼2008/05/02
哈哈哈哈后
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