仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
当前位置： 仪器社区 >实验室常用设备 > 常用设备综合讨论 > 帖子详情

【分享】MYCRO韩国产光刻机MDA-8000

常用设备综合讨论


  • 晶片工作台       
    基底尺寸    最大可达8英寸    最大可达25英寸
    转头    最大可达8英寸    最大可达25英寸
    活动范围       
    X     10mm   
    Y    10mm    
    Z    5mm   
    Theta    4 degree    
    对准精度    1um    
    晶片掩膜间隙    自动挤入补偿   
    振动保护    配备抗振平台   
    Z的西塔轴运动    Motorizing 马达驱动   
    真空系统    无油真空泵   
    Mask stage
    掩膜台       
    掩膜夹取类型    真空*剪辑
       
    相邻间隙    掩膜与晶片接触    间隙球
    紫外光源       
    紫外灯    1千瓦    可达8千瓦
    均匀光束大小    8.25x8.25英寸    可达25x25英寸
    曝光模式    压力/真空/相邻   
    曝光时间控制    可编程的   
    曝光定时器    1 ~ 999.9 秒    
    显微镜       
    型号    双变焦范围显微镜与CCD镜头   
    监视器    LCD监视器   
    视频模式    单一和剪辑型　   
    放大倍数    80 ~ 500倍    1,000倍
    聚焦方式    手动的    自动的（可视化软件）
    目标间距    可调的   
    控制系统       
    控制器    电脑或单片机控制   
    掩膜(用户自定义)       
    图案形状    用户自定义   
    掩膜厚度(用户自定义)       
    尺寸    可达9英寸掩膜    用户自定义

    系统组件：
    紫外光源构造
    带托盘的晶片工作台
    配CCD镜头的显微镜
    监视器
    掩膜夹具
    紫外光源透镜
    紫外光源镜片
    紫外灯电源供应系统
    操作控制器
    防振平台
    1KW紫外灯
相关话题
    +关注 私聊

  • atlas

    第1楼2008/11/05

    与SUSS的相比,价格要是有优惠还不错!

0
    +关注 私聊

  • yuduoling

    第2楼2008/11/06

    不错,还没用过韩国的东西呢

0
近期热榜
热门活动
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

岛津
岛津
日立科学仪器
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
日本电子株式会社
丹纳赫
丹纳赫
安捷伦
安捷伦
赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技
普析通用
普析通用
欧波同
欧波同
天美
天美
天瑞仪器
天瑞仪器
德国耶拿
德国耶拿
海能技术
海能技术
马尔文帕纳科
马尔文帕纳科
磐诺科技
磐诺科技
上海仪电科仪
上海仪电科仪
梅特勒托利多
梅特勒托利多
聚光科技
聚光科技
莱伯泰科
莱伯泰科
盛瀚
盛瀚
多宁生物
多宁生物
丹东百特
丹东百特
科哲
科哲
卓立汉光
卓立汉光
屹尧科技
屹尧科技
华谱科仪
华谱科仪
宝德仪器
宝德仪器
优莱博
优莱博
HORIBA
HORIBA
布鲁克核磁
布鲁克核磁
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...