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关于荷电效应有什么比较好的解决方法?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 目前来说荷电对电镜的拍摄影响比较大,除了噴金噴碳,降低加速电压,束流以外还有什么方法可以解决么?
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  • fengyonghe

    第1楼2016/08/13


    δ=1的加速电压就不会荷电

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  • 诶呦喂

    第2楼2016/08/15

    理论来说是这样,但是还是要调很多的参数去尝试来趋近于1吧,毕竟不同束流和不同偏压下应该这个临界电压也会不同吧?

    fengyonghe(fengyonghe)发表:
    δ=1的加速电压就不会荷电

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  • fengyonghe

    第3楼2016/08/16

    用环境扫描也可以

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