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新手请教:扫描电镜在不同电压下工作时区别在哪儿?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 跟分辨率有关吗?多谢。
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  • 第1楼2005/05/26

    如果按照电压来计算相应的波长,你应该知道和分辨率有很大的关系。但是分辨率的影响因素不仅仅局限于这个,还有极靴等光学系统限制。
    一般用低电压来观测样品的目的有几个:
    1.样品容易损伤,需要降低电压,甚至最好用特殊设计的低压电镜来观测
    2.样品表面导电性能比较差,按照电荷积累的曲线,一般降到5kv甚至1kv来观测样品。但分辨率比较差
    个人意见,仅供参考。

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  • 第2楼2006/01/27

    如果观察区域内有2-5nm直径的小颗粒,那么你在25或30kV下一般看不到。但在3或5kV下反而可能看得很清楚(当然要看你用的是什么电镜)。

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  • 第3楼2006/02/05

    用低加速电压可以得到更多的表面细节,但是分辨率变差,做能谱的时候有时需要用低一点的加速电压来更好地体现轻元素的比率.

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  • 第4楼2007/07/12

    1楼的老兄说的不错.加速电压不同主要影响电子束的波长,当然影响分辨率.加速电压越大,分辨率越高.但并不是分辨率越高越好.加速电压过大会加大样品损伤,一致看不到样品的真实情况.此外,分辨率与工作距离,束斑大小,束流,光阑的选择等有关系.应根据实际情况选择.

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