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【分享】晶片级光度计之微电子机械器件(视频)

祥子

2009/02/15

紫外可见分光光度计（UV）

tutm在“再谈分光光度计发展（四）-真正微型的光谱仪”中提到了晶片级的仪器
（地址：http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090210/1730061/）

那种技术一般叫MEMS(Micro Electromechanical System)系统.

MEMS指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

下面是我在youtube看到的两个mems系统，说明，并不是说他们是用在分光中的，他们具体干啥的，我也不清楚，给大家看看。

注，下面的器件是非常微小的，mems器件一般是微米级别的。

视频1 Hand Actuated MEMs Diffraction Grating
[flash]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/files/2009215123120.swf[/flash]
视频1 Hand Actuated MEMs Diffraction Grating

视频2 MEMS NIR Grating Actuator doing a push up

[flash]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/files/2009215123332.swf[/flash]
视频2 MEMS NIR Grating Actuator doing a push up

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tutm

第1楼2009/02/15

看不出是在干什么。

0

祥子

第2楼2009/02/15

视频1中好像是用铅笔头在拨弄

这么看这个东西不小啊。

0

jixf_1114

第3楼2009/02/16

貌似在机刻光栅阿，真是见识了！

0

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