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【求助】FEI电镜使用异常！

dinel2004

2009/02/26

扫描电镜（SEM/EDS）

我公司使用的是FEI公司的XL30 ESEM 型扫描电镜昨天做样突然出现异常：

抽完真空后，按HV 开关，点击“20KV”，开始出现异常：电流最高升至13μA后，跳至0，突然“20KV”变为“30KV”电流也是最高升至7，8μA后跳到0，又变为“20KV”，电流显示为0，错误提示为：Saturating Gun……,后显示为:PC server –Insufficient Emission Current during auto saturation(c1190023)，Z值显示为红色（不正常）。

我刚接手电镜2个多月，就遇到这问题，领导那面急着催要结果，我可惨透了！
请高手给指点一下！

相关话题

levelyz

第1楼2009/02/26

打电话问FEI的人吧，他们服务态度很好的。

0

pdszhq

第2楼2009/02/27

最近是否更换过灯丝？
估计GUN里有PARTICLE吧。

0

dinel2004

第3楼2009/02/27

谢谢！已经换过新灯丝，还是一样。如果GUN中又颗粒如何处理呢？
pdszhq 发表:最近是否更换过灯丝？
估计GUN里有PARTICLE吧。

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schokolade38

第4楼2009/03/02

请把机器彻底断电后，把HTSU （镜筒下面的开门挂着的）上面的几块电路板重新拔插一下。还不行的话，就联系FEI吧
dinel2004 发表:我公司使用的是FEI公司的XL30 ESEM 型扫描电镜昨天做样突然出现异常：

抽完真空后，按HV 开关，点击“20KV”，开始出现异常：电流最高升至13μA后，跳至0，突然“20KV”变为“30KV”电流也是最高升至7，8μA后跳到0，又变为“20KV”，电流显示为0，错误提示为：Saturating Gun……,后显示为:PC server –Insufficient Emission Current during auto saturation(c1190023)，Z值显示为红色（不正常）。

我刚接手电镜2个多月，就遇到这问题，领导那面急着催要结果，我可惨透了！
请高手给指点一下！

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守德

第5楼2023/09/27

FEI电镜维修及原厂配件定够朱工13755016618

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