嗯,终于明白不需要power的含义了,多谢!
至于静电透镜,不知道SEM上20-30 kV的电压会不会用静电透镜,而且现在很多电镜倾向于低电压操作的。FIB按说更应该用静电透镜,我还得再问问一些老师才行。
iamikaruk 发表:我的理解是静电透镜是个耐受高压电容器,只要加电压就成了。除非有空间电荷,也就是用于成像的时候会消耗能量,平时加着高压透镜是不消耗能量的。而磁透镜保持工作需要一直通电流,所以透镜要消耗能量。
浸入式我觉得可能是考虑到介电材料会在静电透镜作用下产生极化的问题。
静电透镜和磁透镜有适用范围,对于低压电子束用静电透镜比较好,可能考虑的是你前面所说的那些优点。而对高压电子束,静电透镜的会聚能力将大打折扣,相反磁透镜则受影响比较小,因此现在多是低压静电透镜,高压磁透镜的设计。记得Rose,Riemer,Egerton他们有专门的论述