雾非雾
第1楼2009/04/12
气体分子在与高速运动的分子泵叶片的碰撞过程中得到加速
在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧,比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转,气体分子便不断地由左侧流向右侧,从而产生抽气作用。
分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1~10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米3)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000~100000转/分的中频电动机直联驱动。
雾非雾
第7楼2009/08/16
分子泵输送气体应满足二个必要条件:
1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有0.06μm,即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06μm ,就可能与第二个气体分子相碰。而在1.3Pa时,分子间平均自由程可达4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。
2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。例:H2在空气中含量甚徽,但由于H2分子具有很大的运动速度( 最可几速度为1557m/s),所以分子泵对 H2的抽吸困难。通过对极限真空中残余气体的分析,可发现氢气比重可达85%,而分子量较大,而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高,抽吸效果好的原因。
ace003
第9楼2009/08/19
这个基本原理无疑是正确的,如果分子泵只有一级叶片的话.对于目前不断发展的分子泵技术,很多的设计已经改变了泵的整体性能,如出现的对小分子气体抽速比大分子抽速还大的分子泵等