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【转帖】分子涡轮泵的维护

雾非雾

2009/04/12

同位素及其它无机质谱

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：
关掉分子泵，进行排气。
从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。
拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等
拆掉润滑的油包
将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。
上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。
换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。
拿出分子泵。
将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。
用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。
接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。
更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。
注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。

在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。

以上内容来自网络，质谱工程师不建议自己对分子涡轮泵进行维护，工程师说他们只负责拆装，也不做维护，都是发回厂家维护的。

分
该帖子已被版主-qibiao2008加3积分，加2经验;加分理由:感谢共享经验资料！

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qibiao2008

第1楼2009/04/13

有没有图片示意啊？
希望有更多资料共享！

0

徐好狗

第2楼2009/04/28

千万不要这么干，这资料是维护80年代产品的方法，都老的掉牙了，只能用于清洗叶片。

0

zx5009

第3楼2009/12/09

好！徐老说的有道理！

0

ace003

第4楼2009/12/21

这个资料虽然老，不过依然管用。只是最适合的是PFIEFFER的分子泵，其他的泵不一定适合。当然，质谱仪器里面大部分是PFEIFFER，尤其是名牌质谱。

0

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