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【求助】关于有效放大倍率和电子束扫描的问题请教各位前辈

  • liang60301
    2009/07/06
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们使用的是LEO1530的扫描电镜,其分辨率为1nm@20kv、3nm@1kv,显示器的尺寸大概为380mmX300mm,显示器的像素设置为1024X768pixels,我有以下问题请各位各位前辈帮忙,在此万分感谢:
    1)通过大概计算,显示器的每个像素尺寸为0.38mmX0.38mm,那这台的有效放大倍数是0.38mm/1nm=380000呢?还是0.3mm/1nm=300000?(假设人眼的分辨率为0.3mm)
    2) 显示器的像素设置为1024X768pixels,是否表示在图象收集时电子束同时在样品上扫描1024X768个点?
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  • fengyonghe

    第1楼2009/07/07

    1、应该是0.3mm/1nm=300000倍。如果按0.38mm/1nm=380000计算,就会出现显示器分辨率设置越低有效放大倍率越高的结果。应该说有效放大倍率只取决于束斑尺寸。
    2、基本上是这样,显示器扫描和电子束在样品表面的扫描是同步的,但电子束在样品表面的行扫描是连续的。成像系统每行取1024个像素,每帧取样768行。

    liang60301 发表:我们使用的是LEO1530的扫描电镜,其分辨率为1nm@20kv、3nm@1kv,显示器的尺寸大概为380mmX300mm,显示器的像素设置为1024X768pixels,我有以下问题请各位各位前辈帮忙,在此万分感谢:
    1)通过大概计算,显示器的每个像素尺寸为0.38mmX0.38mm,那这台的有效放大倍数是0.38mm/1nm=380000呢?还是0.3mm/1nm=300000?(假设人眼的分辨率为0.3mm)
    2) 显示器的像素设置为1024X768pixels,是否表示在图象收集时电子束同时在样品上扫描1024X768个点?

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  • liang60301

    第2楼2009/07/07

    1、应该是0.3mm/1nm=300000倍。如果按0.38mm/1nm=380000计算,就会出现显示器分辨率设置越低有效放大倍率越高的结果。应该说有效放大倍率只取决于束斑尺寸。
    2、基本上是这样,显示器扫描和电子束在样品表面的扫描是同步的,但电子束在样品表面的行扫描是连续的。成像系统每行取1024个像素,每帧取样768行。
    [/quote]
    十分感谢fengyonghe的回答.不知我下面的理解是否正确
    电子束在样品表面的行扫描是连续的,那行与行之间的扫描间隔是多少呢?我们电镜的图象存储可以选择以下四种分辨率:
    512 x 384 (required storage capacity of the image: 0,2 MB)
    1024 x 768 (Required storage capacity of the image: 0,8 MB)
    2048 x 1536 (Required storage capacity of the image: 3 MB)
    3072 x 2304 (Required storage capacity of the image: 7 MB)
    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的7768行?

    fengyonghe 发表:

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  • fengyonghe

    第3楼2009/07/07

    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的7768行?
    7768行,这个不知道。

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  • fengyonghe

    第4楼2009/07/07

    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的7768行?[/quote]
    7768行,这个不知道。

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  • fengyonghe

    第5楼2009/07/08

    十分感谢fengyonghe的回答.不知我下面的理解是否正确
    电子束在样品表面的行扫描是连续的,那行与行之间的扫描间隔是多少呢?我们电镜的图象存储可以选择以下四种分辨率:
    512 x 384 (required storage capacity of the image: 0,2 MB)
    1024 x 768 (Required storage capacity of the image: 0,8 MB)
    2048 x 1536 (Required storage capacity of the image: 3 MB)
    3072 x 2304 (Required storage capacity of the image: 7 MB)
    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的7768行?[/quote]
    不知7768是什么数。

    liang60301 发表:1、应该是0.3mm/1nm=300000倍。如果按0.38mm/1nm=380000计算,就会出现显示器分辨率设置越低有效放大倍率越高的结果。应该说有效放大倍率只取决于束斑尺寸。
    2、基本上是这样,显示器扫描和电子束在样品表面的扫描是同步的,但电子束在样品表面的行扫描是连续的。成像系统每行取1024个像素,每帧取样768行。

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  • liang60301

    第6楼2009/07/08

    对不起,是768.
    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的768行?

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  • wildonkey

    第7楼2009/07/08

    不是的。分辨率和电子束扫描的方式是严格对应的,分辨率3072 x 2304扫描一遍的时间远大于分辨率1024*768的,你自己实践一次就知道了。

    liang60301 发表:对不起,是768.
    这是否意味着电子束在样品表面的扫描是每帧2304行,而显示器是间隔取其中的768行?

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  • fengyonghe

    第8楼2009/07/09

    wildonkey 说的很好。怎么可能是768

    wildonkey 发表:不是的。分辨率和电子束扫描的方式是严格对应的,分辨率3072 x 2304扫描一遍的时间远大于分辨率1024*768的,你自己实践一次就知道了。

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  • liang60301

    第9楼2009/07/09

    感谢wildonkey的指导,我试了一次是这样的.我将这些归纳如下:
    电子束在样品表面的扫描是由选择的电镜的图象存储分辨率决定的,而不是由显示器的分辨率决定的.

    wildonkey 发表:不是的。分辨率和电子束扫描的方式是严格对应的,分辨率3072 x 2304扫描一遍的时间远大于分辨率1024*768的,你自己实践一次就知道了。

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  • fengyonghe

    第10楼2009/07/09

    祝贺你在这方面已经OK了,也感谢网站给大家提供了讨论的平台。

    liang60301 发表:感谢wildonkey的指导,我试了一次是这样的.我将这些归纳如下:
    电子束在样品表面的扫描是由选择的电镜的图象存储分辨率决定的,而不是由显示器的分辨率决定的.

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